本发明涉及垃圾箱技术领域，具体为一种设有有害物回收机构的垃圾分类收集箱。背景技术垃圾箱，又名废物箱或垃圾筒，是指装放垃圾的地方,多数以金属或塑胶制，用时放入塑料袋，当垃圾一多便可扎起袋丢掉；但一般的垃圾回收箱没有设置专门存放有害垃圾的回收单

本发明涉及光源技术领域，特别涉及一种曝光机及均光光源。背景技术曝光机需要用到均光光源。目前的曝光机使用的均光光源是基于复眼透镜而搭建的；然而，复眼透镜具有多个子透镜，需要经过很多计算才能设计出光路，这样得到均光光源的光路十分复杂，所需的元件

本发明涉及智能垃圾桶领域，尤其是涉及一种防止意外打开的生态型垃圾桶。背景技术人们在景区游玩时大多会自带食物，为了避免人们乱扔垃圾对环境造成污染，景区内都会设置垃圾桶，目前的垃圾桶起到的还只是传统的储存作用，虽然有些垃圾桶能实现固液分离，但后

本发明涉及节能环保技术领域，具体为一种固液分离垃圾车。背景技术目前，城市生活垃圾处理通过垃圾车进行垃圾的收集，将城市各处的生活垃圾统一运送到城市内的垃圾收集站，再通过大型垃圾车将垃圾清运到垃圾中转站进行多次压缩分离渗滤液等处理，最后将垃圾运

本发明属于光刻技术领域，涉及一种用于光刻设备的真空释气装置。背景技术当前，真空技术和真空设备在社会生产和科学研究中应用越来越普遍，高真空超高真空设备的应用范围越来越广，尤其是在半导体行业，很多处理晶圆的生产工艺都需要在真空环境中进行，所需

本发明涉及垃圾收运处理技术领域，具体涉及一种智慧垃圾收运系统。背景技术垃圾分类投放是指居民将生活垃圾按不同的成分进行分类后，投放至不同的容器内进行处理的方法。分类投放为有效地实现废弃物的重新利用和最大程度地废品回收提供了重条件，是实现垃圾减

本发明涉及光刻技术领域，特别是涉及一种多光束控制的多电子束光刻设备和光刻方法。背景技术半导体集成电路制造最重要过程是光复印或光刻工艺，即将预先设计的电路图形转移到涂覆在半导体晶片上的光刻胶层上，再通过刻蚀工艺将光刻胶图形转移到半导体晶片上。

本发明涉及光刻技术领域，特别是涉及一种多电子束的光刻设备和光刻方法。背景技术半导体集成电路制造最重要过程是光复印或光刻工艺，即将预先设计的电路图形转移到涂覆在半导体晶片上的光刻胶层上，再通过刻蚀工艺将光刻胶图形转移到半导体晶片上。随着集成电

本发明涉及大蒜收获机械技术领域，具体涉及一种便于停放的双驱大蒜收获机。背景技术大蒜起源于中亚和地中海地区，汉朝时期被引种到中国，9世纪传入日本和南亚地区，16世纪前叶在非洲和南美洲出现栽培，18世纪传入北美洲，现已在世界各地广泛栽培。近年来

本发明涉及垃圾运输的技术领域，具体涉及一种垃圾运送箱、基于区块链的垃圾管理系统。背景技术在城市，垃圾回收已经逐步由机械操作替代人力操作了，其过程是利用垃圾车上的装置抬起垃圾桶并将垃圾倾倒在垃圾车内。垃圾桶的桶口具有向下翻折的边沿，垃圾车上安

本公开涉及一种基板处理装置和空气供给方法。背景技术在专利文献1中公开有一种基板处理装置，该基板处理装置具有第1处理单元部和第2处理单元部在装置正面侧沿一方向并列设置而成的处理站。在第1处理单元部中，3层抗蚀剂涂敷处理单元和两层形成防反射膜的

本发明涉及厨余垃圾收集的技术领域，具体涉及一种厨余垃圾车、基于区块链的垃圾管理系统。背景技术目前，厨余垃圾车都普遍采用的结构是：利用金属板材和管材焊接成箱体，在箱体底部安装滚轮，箱体设置箱门，箱体内放置垃圾桶，箱体顶部开设对准垃圾桶的投放口

本公开涉及基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法。背景技术在专利文献1记载有：将来自于设在涂布显影处理装置外的空调器的清洁的空气经由管向设于液供给系统单元部的上方的过滤器单元供给，而向各液供给系统单元部供给。专利文献1：日本特开2007

本发明涉及一种回收车，尤其涉及一种便于收取的医疗废物回收车。背景技术医疗废物是指医疗卫生机构在医疗、预防、保健以及其他相关活动中产生的具有直接或者间接感染性、毒性以及其他危害性的废物，医疗废物共分五类：感染性废物、病理性废物、损伤性废物、药

本发明涉及微纳加工的光刻成型对准技术领域，具体说，涉及一种将曝光平面对准成像平面的方法。背景技术在微纳加工的光刻成型技术领域，其中光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，随着器件特征尺寸的不断缩小，对光刻机的工作误差及稳定性的要求极为苛刻，对