本发明属于光刻技术领域，涉及一种用于光刻设备的真空释气装置。背景技术当前，真空技术和真空设备在社会生产和科学研究中应用越来越普遍，高真空超高真空设备的应用范围越来越广，尤其是在半导体行业，很多处理晶圆的生产工艺都需要在真空环境中进行，所需

本发明涉及垃圾收运处理技术领域，具体涉及一种智慧垃圾收运系统。背景技术垃圾分类投放是指居民将生活垃圾按不同的成分进行分类后，投放至不同的容器内进行处理的方法。分类投放为有效地实现废弃物的重新利用和最大程度地废品回收提供了重条件，是实现垃圾减

本发明涉及光刻技术领域，特别是涉及一种多光束控制的多电子束光刻设备和光刻方法。背景技术半导体集成电路制造最重要过程是光复印或光刻工艺，即将预先设计的电路图形转移到涂覆在半导体晶片上的光刻胶层上，再通过刻蚀工艺将光刻胶图形转移到半导体晶片上。

本发明涉及光刻技术领域，特别是涉及一种多电子束的光刻设备和光刻方法。背景技术半导体集成电路制造最重要过程是光复印或光刻工艺，即将预先设计的电路图形转移到涂覆在半导体晶片上的光刻胶层上，再通过刻蚀工艺将光刻胶图形转移到半导体晶片上。随着集成电

本发明涉及大蒜收获机械技术领域，具体涉及一种便于停放的双驱大蒜收获机。背景技术大蒜起源于中亚和地中海地区，汉朝时期被引种到中国，9世纪传入日本和南亚地区，16世纪前叶在非洲和南美洲出现栽培，18世纪传入北美洲，现已在世界各地广泛栽培。近年来

本发明涉及垃圾运输的技术领域，具体涉及一种垃圾运送箱、基于区块链的垃圾管理系统。背景技术在城市，垃圾回收已经逐步由机械操作替代人力操作了，其过程是利用垃圾车上的装置抬起垃圾桶并将垃圾倾倒在垃圾车内。垃圾桶的桶口具有向下翻折的边沿，垃圾车上安

本公开涉及一种基板处理装置和空气供给方法。背景技术在专利文献1中公开有一种基板处理装置，该基板处理装置具有第1处理单元部和第2处理单元部在装置正面侧沿一方向并列设置而成的处理站。在第1处理单元部中，3层抗蚀剂涂敷处理单元和两层形成防反射膜的

本发明涉及厨余垃圾收集的技术领域，具体涉及一种厨余垃圾车、基于区块链的垃圾管理系统。背景技术目前，厨余垃圾车都普遍采用的结构是：利用金属板材和管材焊接成箱体，在箱体底部安装滚轮，箱体设置箱门，箱体内放置垃圾桶，箱体顶部开设对准垃圾桶的投放口

本公开涉及基板处理装置用过滤器装置和清洁空气供给方法。背景技术在专利文献1记载有：将来自于设在涂布显影处理装置外的空调器的清洁的空气经由管向设于液供给系统单元部的上方的过滤器单元供给，而向各液供给系统单元部供给。专利文献1：日本特开2007

本发明涉及一种回收车，尤其涉及一种便于收取的医疗废物回收车。背景技术医疗废物是指医疗卫生机构在医疗、预防、保健以及其他相关活动中产生的具有直接或者间接感染性、毒性以及其他危害性的废物，医疗废物共分五类：感染性废物、病理性废物、损伤性废物、药

本发明涉及微纳加工的光刻成型对准技术领域，具体说，涉及一种将曝光平面对准成像平面的方法。背景技术在微纳加工的光刻成型技术领域，其中光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，随着器件特征尺寸的不断缩小，对光刻机的工作误差及稳定性的要求极为苛刻，对

本发明涉及环保设备领域，具体是一种环保垃圾车。背景技术随着我国城市化发展的推进，日常生活中所排放的垃圾数量逐年上升，城市垃圾处理问题给国家的城市化发展进程带来了严峻的挑战，当前的城市垃圾在多数采用垃圾桶进行区域存放，然后经垃圾车进行收集转运

本发明涉及微纳加工领域的光刻机对准技术领域，具体来说，本发明涉及一种用于光刻机的深蚀刻轮廓限缩对准方法背景技术在半导体制造工艺中，光刻机是集成电路制程中技术难度最高,价格最昂贵的关键设备,它的设备研发进展对集成电路产业和信息产业的发展具有主

本发明涉及环卫车技术领域，具体为一种小型便于清理垃圾的电动环卫车。背景技术环卫车是给城市、小区卫生、各类公共场所带来清洁、卫生和环保的专用车辆，小型环卫车由于体型较小，常用于街道路面或人行道处的垃圾清理，一般情况下垃圾都是装入垃圾桶内，因此

本发明涉及安装部结构以及图像形成装置。背景技术在日本国特开2007-050972号公报中示出了一种手动供纸装置。该手动供纸装置的托盘由第1和第2臂以能够转动的方式支承于单元壳体。在关闭托盘时，托盘底面收敛于与主体装置的外装面相同的面上。此外