本发明大体上涉及具有等离子体源的衬底处理反应器。更具体地但非排他地，本发明涉及材料通过连续的自饱和表面反应来沉积在表面上的沉积反应器或者涉及材料通过连续的自饱和表面反应从表面去除的蚀刻反应器。
背景技术：
1、该章节图示了有用的背景信息，而不承认本文描述的代表现有技术的任何技术。
2、在化学沉积和蚀刻方法中，诸如原子层沉积(ald)和原子层蚀刻(ale)，等离子体可以被用于为表面反应提供所需的附加能量。虽然ald反应器和ale反应器已经存在了几十年，但等离子体增强反应器表示一种更年轻的技术。因此，持续需要开发改进的等离子体增强ald(peald)反应器和等离子体增强ale(peale)反应器，或者至少提供现有解决方案的备选。
3、通常，衬底处理反应器必须包括移动组件，以便至少使得能够装载和卸载衬底以及调整部分的位置。然而，反应器内部的移动组件与某些缺点相关联，一个常见的问题是反应器组件之间不必要的接触，这可能导致反应器内部生成不需要的颗粒，这些颗粒可能最终在衬底本身上导致污染。所述问题本身经常表现为在衬底的装载位置与处理位置之间移动反应器组件的挑战。因此，持续需要改进的解决方案来减少衬底处理反应器中不需要的颗粒，特别是使用等离子体源。
技术实现思路
1、本发明的某些实施例的目的是提供一种改进的衬底处理装置，或者至少提供现有技术的备选解决方案。
2、根据第一示例方面，提供了一种衬底处理装置，包括：
3、反应室，用于处理至少一个衬底；
4、可变形进料组件，包括相对于彼此可移动的上部和下部，该可变形进料组件被配置为在竖直延伸状态与竖直缩进状态之间变型，该竖直延伸状态促进反应物流流向反应室，该竖直缩进状态允许衬底装载；以及
5、弹性管状导管，被耦合到可变形进料组件的上部。
6、在某些实施例中，可变形进料组件的上部是第一部分，并且可变形进料组件的下部是第二部分，其中当可变形进料组件处于其竖直延伸状态时，第一部分更靠近反应室，并且第二部分更远离反应室。在某些实施例中，可变形进料组件被配置为从顶部(在竖直延伸状态下)封闭或密封反应室。在某些实施例中，可变形进料组件由弹性管状导管从顶部支撑。在某些实施例中，弹性管状导管被固定地附接至可变形进料组件的上部。
7、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为向可变形进料组件提供反应物流。在某些实施例中，弹性管状导管提供导管，反应物流通过该导管被提供到可变形进料组件的上部中。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在从上到下的流入可变形进料组件的上部时提供反应物。在某些实施例中，可变形进料组件的上部和下部被配置为引导或促进反应物流作为从上到下的流向反应室的移动。在某些实施例中，该装置被配置为使可变形进料组件变形到竖直缩进状态，以允许衬底卸载。
8、在某些实施例中，弹性管状导管被耦合在可变形进料组件的上部与装置的固定元件之间。在某些实施例中，固定元件是外室。在某些实施例中，弹性管状导管被耦合在至少部分围绕反应室的外室与可变形进料组件的上部之间。在某些实施例中，弹性管状导管被耦合在外室盖与可变形进料组件的上部之间，其中外室至少部分地围绕反应室。在某些实施例中，弹性管状导管被耦合在可变形进料组件的上部与密封组件之间，该密封组件以固定位置被耦合到装置的固定元件。
9、在某些实施例中，弹性管状导管相对于其与装置的固定元件的附接点布置在固定位置。在某些实施例中，弹性管状导管相对于其与外室的附接点布置在固定位置。在某些实施例中，可变形进料组件经由弹性管状导管被耦合到外室，以将反应物流提供到反应室内的容积中。
10、在某些实施例中，可变形进料组件的所有部分的位置是可调整的。
11、在某些实施例中，衬底处理装置是等离子体增强原子层沉积装置peald反应器。在某些实施例中，衬底处理装置是原子层沉积装置ald反应器。在某些其他实施例中，衬底处理装置是等离子体增强原子层蚀刻装置peale反应器。在某些实施例中，衬底处理装置是原子层蚀刻装置ale反应器。在某些实施例中，该装置包括在反应室的顶侧的等离子体源。在某些实施例中，沉积装置包括在外室的顶侧的等离子体源。在某些实施例中，等离子体源是电感耦合的等离子体源。在某些实施例中，等离子体源被配置为产生用作反应室中的反应物的自由基。
12、在某些实施例中，该装置为来自等离子体源的反应物流提供从上到下的流路，通过弹性管状导管进入可变形进料组件，并且进入反应室。在某些实施例中，反应物被配置为通过反应室底部的出口从反应室排出。
13、在某些实施例中，反应物流由包含反应物的气体组成。在某些实施例中，反应物包括流体反应物、气体反应物和/或等离子体反应物。在某些实施例中，反应物流被配置为在由弹性管状导管提供的导管内流动。在某些实施例中，包括在等离子体源中生成的激发种类的反应物被配置为通过弹性管状导管的内部导管流向反应室。在某些实施例中，包括激发种类的反应物被配置为通过可变形进料组件流到位于反应室中的(多个)衬底，以生成表面反应。
14、在某些实施例中，在反应室与至少部分围绕反应室的外室之间形成中间空间。在某些实施例中，外室完全围绕反应室。在某些实施例中，在反应室与完全部分围绕反应室的外室之间形成中间空间。在这方面，通过“完全地”表示反应室被视为完全被外室和/或中间空间围绕，因为其中处理衬底的反应室被外室围绕，不包括通向/来自反应室的任何入口和/或出口的位置。在某些实施例中，弹性管状导管和可变形进料组件被布置在同一空间内。在某些实施例中，弹性管状导管和可变形进料组件被布置在外室内部的中间空间内。
15、在某些实施例中，弹性管状导管经由例如凸缘被耦合到进料组件的上部。
16、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为利用其内部存储的机械势能向可变形进料组件生成机械力。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为利用其内部存储的弹性能向可变形进料组件生成机械力。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为向可变形进料组件的上部生成机械力。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为向可变形进料组件的上部和下部生成机械力。
17、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为向可变形进料组件生成机械力，以稳定可变形进料组件的上部。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为调整可变形进料组件的上部的位置。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为通过向可变形进料组件生成机械力来稳定和调整可变形进料组件的上部的位置。
18、在某些实施例中，弹性管状导管是被配置为存储机械势能的弹性物体。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为预张紧。在某些实施例中，预张紧的弹性管状导管被耦合到可变形进料组件的上部，被配置为向可变形进料组件提供反应物流。
19、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为调整可变形进料组件的上部的竖直和/或水平和/或角度位置。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为通过朝向弹性管状导管和/或与可变形进料组件的下部的竖直中心轴线成一直线拉动或缩进上部来调整可变形进料组件的上部的位置。
20、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为将可变形进料组件的上部从反应室拉动或缩进。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为将可变形进料组件的上部和下部从反应室拉动或缩进。
21、在某些实施例中，由弹性管状导管生成的机械力被配置为通过朝向弹性管状导管和/或与可变形进料组件的下部的竖直中心轴线成一直线拉动或缩进上部来调整可变形进料组件的上部的位置。在某些实施例中，由弹性管状导管生成的机械力未被配置为调整可变形进料组件的下部的位置。在某些实施例中，由弹性管状导管生成的机械力不足以调整可变形进料组件的下部的位置。
22、在某些实施例中，由弹性管状导管生成的机械力被配置为使可变形进料组件的上部与下部同心，从而防止可变形进料组件的下部与上部之间的不需要的接触。在这方面，通过不需要的接触表示可变形进料组件的上部与下部之间的接触类型，这可导致不需要的颗粒生成，这将作为装置的部分之间的所述接触的结果而发生。
23、在某些实施例中，弹性管状导管内的机械能被配置为在可变形进料组件的变形期间以及在竖直延伸和/或缩进状态下使可变形进料组件的上部与下部同心。在某些实施例中，同心部件、可变形进料组件的上部和下部与相同的竖直中心轴线对准，从而防止可变形进料组件的下部与上部之间的不需要的接触。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在可变形进料组件的变形期间使可变形进料组件的上部与下部同心，从而防止可变形进料组件的上部的外表面与下部的内表面之间的不需要的接触。
24、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为稳定可变形进料组件。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为稳定可变形进料组件的移动。在某些实施例中，稳定可变形进料组件的移动减少了不需要的颗粒生成。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为主要在可变形进料组件移动时防止其振动和不需要的颗粒生成。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在可变形进料组件静止时也防止其振动和不需要的颗粒生成。
25、在某些实施例中，弹性管状导管内的机械能被配置为在可变形进料组件的变形期间以及在竖直延伸和/或缩进状态下从反应室向上拉动或缩进可变形进料组件的上部。
26、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为被连续拉伸。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在可变形进料组件的竖直变形移动期间被竖直拉伸。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在可变形进料组件的下部关于可变形进料组件的上部的位移下被拉伸。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在由可变形进料组件生成的机械力作用下拉伸或压缩。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在可变形进料组件的竖直延伸状态下拉伸或压缩。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在由竖直延伸的可变形进料组件的竖直移动下拉伸或压缩。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为当处于竖直延伸状态的可变形进料组件朝向反应室移动时进一步竖直拉伸。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为当处于竖直延伸状态的可变形进料组件移动离开反应室时竖直压缩。
27、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为水平和/或竖直和/或成角度地具有弹性。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在多个轴线上具有弹性。
28、在某些实施例中，弹性管状导管是弹性管状容器。在某些实施例中，弹性管状导管是波纹管形状的物体。在某些实施例中，弹性管状导管是管状金属波纹管。在某些实施例中，弹性管状导管是管状弹簧形状的物体。在某些实施例中，弹性管状导管由镍基合金(诸如aisi 304、aisi 304l、aisi 316或aisi 316l)和/或铬镍铁合金和/或钛组成。在某些实施例中，弹性管状导管由具有与周围组件的材料类似的热膨胀系数的材料组成。
29、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在向其施加机械力时变形。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在向其施加机械力时被压缩和/或缩进和/或被拉伸。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为当所施加的力被释放或去除时返回到其起始位置。
30、在某些实施例中，热膨胀或收缩不会引起构成弹性管状导管的组件之间的显著相对移动。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为不响应于温度变化而显著变形。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为不响应于周围空间中的压力变化而显著变形。
31、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在其内部导管容积与从外部围绕弹性管状导管的空间之间形成密封屏障，该空间通常是外室内的中间空间。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为与可变形进料组件的上部以及与装置的固定元件(诸如外室)形成密封连接。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为防止反应物从弹性管状导管泄漏到周围空间中，诸如外室内的中间空间。在某些实施例中，弹性管状导管还被配置为防止气体从外部周围空间泄漏到弹性管状导管的内部容积中。
32、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为防止可变形进料组件在可变形进料组件的上部与下部之间的接头处泄漏。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为防止可变形进料组件也在可变形进料组件的远端处、在耦合到装置的其他部分的接头处泄漏。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为变形以防止可变形进料组件的部分或模块之间的泄漏。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为变形以防止竖直延伸状态下可变形进料组件的泄漏。
33、在某些实施例中，可变形进料组件的下部包括多于一个部分。
34、在某些实施例中，可变形进料组件的下部被配置为在可变形进料组件的竖直延伸状态下抵靠反应室密封，以向反应室提供反应物流。在某些实施例中，竖直延伸的可变形进料组件被配置为抵靠反应室定位，以形成反应室容积，从而为反应室提供用于衬底处理的反应物流。在某些实施例中，可变形进料组件的下部被配置为采用抵靠反应室的所述位置，该位置是防漏(leak-tight)的位置。在某些实施例中，可变形进料组件的下边沿被配置为在可变形进料组件的竖直延伸状态下抵靠反应室的开口的边缘密封。
35、在某些实施例中，在可变形进料组件的竖直延伸状态下，在可变形进料组件与反应室之间提供表面抵靠表面密封。在某些实施例中，反应室包括凸缘或套环，它在竖直延伸状态下抵靠可变形进料组件的下部装配。在某些实施例中，可变形进料组件被耦合到进料组件凸缘，该进料组件凸缘在可变形进料组件的竖直延伸状态下抵靠反应室凸缘装配。
36、在某些实施例中，可变形进料组件朝向反应室变宽。在某些实施例中，可变形进料组件在竖直延伸状态下朝向反应室变宽。在某些实施例中，可变形进料组件以其圆柱形的上部和下部界定加宽或膨胀的容积，该容积朝向反应室加宽或膨胀。
37、在某些实施例中，该装置包括在可变形进料组件的竖直延伸状态下在可变形进料组件的下部与上部之间的密封界面。在某些实施例中，所述密封界面被配置为防止可变形进料组件泄漏。
38、在某些实施例中，可变形进料组件的上部的下边沿和下部的上边沿包括水平套环(collar)，在可变形进料组件的延伸状态下，上部和下部的所述水平套环彼此重叠。在某些实施例中，这些重叠套环形成钩状结构，允许下部的重叠套环挂在上部的套环上或从上部的套环悬挂。在某些实施例中，这些重叠套环被配置为防止竖直延伸的可变形进料组件泄漏。
39、在某些实施例中，在可变形进料组件的上部与下部之间提供密封，从而防止上部与下部之间的不需要的接触，并且防止可变形进料组件泄漏。在某些实施例中，密封防止气体从周围空间泄漏到可变形进料组件内部的容积中。在某些实施例中，密封防止反应物从可变形进料组件泄漏到周围空间中。
40、在某些实施例中，可变形进料组件的部分被配置为在可变形进料组件的竖直缩进状态下嵌套在彼此内部。
41、在某些实施例中，可变形进料组件的下部被配置为在可变形进料组件的上部上方滑动。在某些实施例中，可变形进料组件的上部被配置为在进料组件的竖直缩进状态下嵌套在可变形进料组件的下部内部。在某些实施例中，可变形进料组件由圆柱体、截头圆锥体或环状构件形成，这些圆柱体、截头圆锥体或环状构件被配置为在彼此内部滑动和/或嵌套。在某些实施例中，可变形进料组件形成具有中空内部容积的伸缩结构。
42、在某些实施例中，可变形进料组件的部分被配置为在缩进和延伸期间移动的竖直距离取决于装置和可变形进料组件的部分的大小。在某些实施例中，可变形进料组件的上部被配置为仅在可变形进料组件的竖直延伸状态下竖直移动，以允许可变形进料组件抵靠反应室密封。在某些实施例中，可变形进料组件的上部被配置为在可变形进料组件的竖直延伸状态下竖直向上和/或向下移动3至20毫米，优选地向上和/或向下移动5至10毫米。在某些实施例中，可变形进料组件的下部被配置为在竖直延伸状态下以及当组件在竖直缩进与延伸状态之间变形时竖直移动。在某些实施例中，可变形进料组件的下部被配置为移动的竖直距离为100至300毫米。
43、在某些实施例中，该装置包括预张紧机构，该预张紧机构通过防止弹性管状导管返回到未拉伸位置来预张紧弹性管状导管。在某些实施例中，该装置包括围绕弹性管状导管的预张紧机构，被配置为通过防止弹性管状导管返回到未拉伸/松弛位置来向弹性管状导管生成机械力。在某些实施例中，预张紧机构在弹性管状导管的周边周围。在某些实施例中，预张紧机构被配置为向弹性管状导管连续生成预张力，该预张紧机构连续地防止弹性管状导管返回到未拉伸/松弛位置。
44、在某些实施例中，预张紧机构被配置为经由弹性管状导管向可变形进料组件生成机械力。在某些实施例中，预张紧机构被配置为向可变形进料组件的上部生成机械力。在某些实施例中，预张紧机构被配置为向可变形进料组件的上部和下部生成机械力。
45、在某些实施例中，预张紧机构被配置为调整弹性管状导管的位置。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在构成预张紧机构的部分之间的调整下变形。
46、在某些实施例中，弹性管状导管和预张紧机构被配置为通过向可变形进料组件生成机械力来稳定可变形进料组件并且防止可变形进料组件的泄漏。在某些实施例中，由预张紧机构生成的机械力被配置为在可变形进料组件的变形期间以及在竖直延伸和/或缩进状态下，将可变形进料组件的上部从反应室向上和/或与可变形进料组件的下部的竖直中心轴线成直线连续地拉动或缩进。在某些实施例中，由预张紧机构生成的机械力被配置为在可变形进料组件的变形期间以及在竖直延伸和/或缩进状态下连续地使可变形进料组件的上部与下部同心。
47、在某些实施例中，弹性管状导管和/或预张紧机构被配置为稳定可变形进料组件的移动。
48、在某些实施例中，弹性管状导管和/或预张紧机构被配置为防止可变形进料组件的振动和不需要的颗粒生成，特别是在可变形进料组件被移动时。在某些实施例中，弹性管状导管和/或预张紧机构被配置为在可变形进料组件未被移动因此基本静止时，防止可变形进料组件的振动和不需要的颗粒生成。
49、在某些实施例中，弹性管状导管和/或预张紧机构被配置为防止包含反应物种类的气体在上部与下部之间的接头处从可变形进料组件泄漏。在某些实施例中，弹性管状导管和/或预张紧机构被配置为防止包含反应物种类的气体也在可变形进料组件的远端处、在耦合到装置的其他部分的接头处泄漏。在某些实施例中，预张紧机构被配置为防止包含反应物种类的气体在上部与下部之间的接头处从可变形进料组件泄漏。在某些实施例中，预张紧机构被配置为防止可变形进料组件也在可变形进料组件的远端处、在耦合到装置的其他部分的接头处泄漏。
50、在某些实施例中，弹性管状导管和/或预张紧机构被配置为防止周围空间或中间空间中的任何气体泄漏到竖直延伸的可变形进料组件和反应室中。在某些实施例中，弹性管状导管和/或预张紧机构被配置为防止竖直延伸的可变形进料组件中的任何反应物泄漏到周围空间或中间空间中。
51、在某些实施例中，预张紧机构被固定在弹性管状导管的下边缘或边沿的周边周围，弹性管状导管的下边缘或边沿被配置为通过预张紧机构拉伸或者压缩。在某些实施例中，弹性管状导管的下边缘或边沿通过预张紧机构的拉伸或压缩被配置为受到限制。在某些实施例中，预张紧机构被刚性地耦合到弹性管状导管的上边缘或边沿。在某些实施例中，预张紧机构被间接地耦合到弹性管状导管，一个或多个部分将预张紧机构和弹性管状导管彼此分离。
52、在某些实施例中，预张紧机构被配置为可以竖直和/或水平和/或对角和/或成角度地调整。在某些实施例中，预张紧机构被配置为易于接近和可调整。
53、在某些实施例中，热膨胀不会引起构成预张紧机构的组件之间的显著相对移动。在某些实施例中，预张紧机构由镍基合金(诸如aisi 304、aisi 304l、aisi 316或aisi316l)和铬镍铁合金和/或钛组成。在某些实施例中，预张紧机构由具有与周围组件的材料类似的热膨胀系数的材料组成。
54、在某些实施例中，弹性管状导管被布置在预张紧机构之间或内部的拉伸位置。在某些实施例中，预张紧机构防止弹性管状导管处于其平衡、松弛和/或未拉伸状态。在某些实施例中，驱动弹性管状导管的向上定向变形移动的恢复力被配置为在可变形进料组件的延伸和缩进移动期间以及在可变形进料组件处于竖直缩进或延伸状态时被预张紧机构阻挡或防止。
55、在某些实施例中，可变形进料组件的上部被配置为与预张紧机构接触。在某些实施例中，可变形进料组件的上部包括突起，诸如凸缘形、环形或圆柱形物体，该突起被耦合到其面向外部空间或中间空间的侧部，被配置为阻挡或防止弹性管状导管返回到其平衡、休眠或未拉伸状态。在某些实施例中，突起被配置为抵靠预张紧机构的下平面被阻挡或停止。在某些实施例中，一旦所述突起与预张紧机构的下平面相遇，弹性管状导管就无法竖直向上进一步返回到其未拉伸状态。在某些实施例中，突起被配置为预张紧弹性管状导管。
56、在某些实施例中，耦合到可变形进料组件的上部的侧面的所述突起被配置为使由于抵靠预张紧机构的其表面之间的接触而产生的不需要的颗粒生成最小化。在某些实施例中，突起由允许抵靠预张紧机构的其表面之间的摩擦引起的最小颗粒生成的材料制成或涂覆有该材料。在某些实施例中，突起由具有低摩擦系数和高温耐受性的材料制成或涂覆有该材料。在某些实施例中，该材料包括碳氟化合物或含氟聚合物，诸如聚四氟乙烯(ptfe)或全氟烷氧基烷烃(pfa)。在某些实施例中，该材料包括高性能塑料，诸如聚酰亚胺(例如卡普顿)。在某些实施例中，该材料包括热塑性聚合物，诸如聚芳醚酮(例如paek)。
57、在某些实施例中，耦合到上部的侧面的突起被配置为使可变形进料组件的上部与下部同心，从而防止可变形进料组件的上部与下部之间的不需要的接触。在某些实施例中，耦合到上部的侧面的突起被配置为在可变形进料组件的变形期间以及在竖直延伸和/或缩进状态下使可变形进料组件的上部与下部同心。
58、在某些实施例中，可变形进料组件的移动被配置为使上部从预张紧机构分开。在某些实施例中，其中在可变形进料组件的竖直延伸状态下，进料组件抵靠反应室密封，与在可变形进料组件的竖直延伸状态下相比，弹性管状导管被布置在更拉伸的位置，其中进料组件不抵靠反应室密封。在某些实施例中，在其中进料组件抵靠反应室密封的所述位置中，与可变形进料组件的竖直缩进状态期间相比，弹性管状导管被布置在更拉伸的位置。在某些实施例中，在其中进料组件抵靠反应室密封的所述位置中，可变形进料组件的上部中的突起被朝向反应室从预张紧机构拉开。该布置被配置为补偿在使用装置期间发生的装置部分的热膨胀。
59、在某些实施例中，在可变形进料组件的竖直延伸状态下，其中进料组件抵靠反应室密封并且弹性管状导管被进一步拉伸，耦合到可变形进料组件的上部的侧面的突起被配置为不抵靠预张紧机构的下平面被阻挡。在这种实施例中，突起被配置为与预张紧机构的下平面分开，在它们之间留下间隙。
60、在某些实施例中，该装置包括附接至可变形进料组件的下部的移动致动机构，被配置为使可变形进料组件在竖直延伸状态与竖直缩进状态之间变形。在某些实施例中，移动致动机构被配置为将可变形进料组件移动到竖直缩进状态，其中进料组件相对于反应室处于开启位置。在某些实施例中，移动致动机构能够将至少一个衬底从反应室的顶侧装载到反应室中。在某些实施例中，移动致动机构也能够从反应室的顶侧从反应室卸载至少一个衬底。在某些实施例中，移动致动机构被配置为将可变形进料组件移动到竖直延伸状态，其中进料组件相对于反应室处于闭合位置，抵靠反应室密封。
61、在某些实施例中，移动致动机构被配置为可逆地改变可变形进料组件的尺寸。
62、在某些实施例中，移动致动机构利用弹簧装载附接件被附接至可变形进料组件的下部。在某些实施例中，移动致动机构包括利用弹簧装载附接件耦合到可变形进料组件的下部的至少一个移动轴。在某些实施例中，移动致动机构包括利用弹簧装载附接件耦合到可变形进料组件的下部的至少两个移动轴。在某些实施例中，移动轴的数量是两个。在某些其他实施例中，移动轴的数量是三个或四个。在某些实施例中，(多个)移动轴被耦合到可变形进料组件的下部的上半部。在某些实施例中，(多个)移动轴被耦合到可变形进料组件的下部的上边缘或边沿。
63、在某些实施例中，移动致动机构包括至少一个致动器。如本文使用的，致动器是被配置为通过至少一个移动轴生成装置的运动的设备。在某些其他实施例中，移动致动机构包括至少两个、三个或四个致动器。在某些实施例中，移动致动机构包括多个致动器。在某些实施例中，致动器或每个致动器仅被耦合到一个(相应的)移动轴。在某些实施例中，致动器或每个致动器被耦合到两个(相应的)移动轴。在某些实施例中，所有轴和耦合到轴的致动器关于可变形进料线的周边对称地布置。在某些实施例中，移动致动机构包括两个致动器，每个致动器被耦合到它自己的轴。在某些实施例中，移动致动机构包括耦合到两个轴的一个致动器。
64、在某些实施例中，可变形进料组件被配置为利用由(多个)致动器和(多个)轴生成的力变形。
65、在某些实施例中，移动致动机构还被配置为使耦合到可变形进料组件的上部的弹性管状导管变形。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在由(多个)致动器和(多个)移动轴生成的机械力作用下变形。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为在由(多个)移动轴在竖直延伸状态与竖直缩进状态之间可逆地推动或拉动进料组件所生成的机械力作用下变形。在某些实施例中，在可变形进料组件的竖直延伸状态下，其中进料组件抵靠反应室装配，施加在弹性管状导管和可变形进料组件的上部上的机械力被配置为大于在可变形进料组件的竖直延伸和/或缩进状态期间的机械力，其中进料组件未抵靠反应室装配。
66、在某些实施例中，(多个)移动轴与可变形进料组件的下部的上半部的耦合被配置为减少振动并且稳定可变形进料组件的移动。在某些实施例中，(多个)移动轴与可变形进料组件的下部的上边缘或边沿的平面的耦合被配置为减少振动并且稳定可变形进料组件的移动。在某些实施例中，(多个)移动轴与下部的质心上方的下半部的耦合被配置为减少振动并且稳定可变形进料组件的移动。
67、在某些实施例中，(多个)移动轴被配置为将可变形进料组件从竖直延伸状态可逆地移动到竖直缩进状态，从而允许将至少一个衬底装载到反应室中。在某些实施例中，(多个)移动轴被配置为将进料组件从竖直缩进状态可逆地移动到竖直延伸状态，从而允许在反应室中处理至少一个衬底。
68、在某些实施例中，该装置包括多个移动轴，这些移动轴被对称地耦合到可变形进料组件的周边。在某些实施例中，移动轴的数量是两个，这两个轴被放置在可变形进料组件的相对侧。在某些其他实施例中，移动轴的数量是三个、四个或多个，但在每种情况下，移动轴相对于可变形进料组件的周边对称地定位。
69、在某些实施例中，弹簧装载附接件被配置为将移动致动机构弹性地耦合到可变形进料组件中，以稳定可变形进料组件的移动。在某些实施例中，弹簧装载附接件将可变形进料组件的下部和(多个)移动轴耦合在一起。在某些实施例中，弹簧装载附接件被配置为调整可变形进料组件的下部的角度和/或竖直和/或水平位置。在某些实施例中，弹簧装载附接件有助于整个可变形进料组件的竖直调整。
70、在某些实施例中，弹簧装载附接件包括多个弹性组件，优选地至少三个弹性组件(诸如三个或四个弹性组件)。在某些实施例中，(多个)移动轴通过弹性组件被耦合到可变形进料组件的下部。在某些实施例中，弹簧装载附接件内的每个弹性组件被配置为抵抗可变形进料组件的竖直移动，以稳定可变形进料组件的移动。在某些实施例中，移动轴的数量是两个，并且弹性组件的数量是三个或四个。
71、在某些实施例中，每个弹性组件是被配置为存储机械势能的弹性物体。在某些实施例中，每个弹性组件被配置为预张紧。在某些实施例中，每个弹性组件被配置为在构成弹簧装载附接件的组件之间预张紧。在某些实施例中，每个弹性组件都是弹簧。在某些实施例中，每个弹性组件被配置为用其内部存储的机械势能来抵抗可变形进料组件的竖直、水平和对角移动，从而稳定所述移动。在某些实施例中，每个弹性组件被配置为利用其内部存储的机械势能来抵抗从而稳定可变形进料组件进入竖直延伸状态的移动。在某些实施例中，每个弹性组件被配置为利用其内部存储的机械能来抵抗从而稳定可变形进料组件进入竖直缩进状态的移动。在某些实施例中，在可变形进料组件的竖直延伸状态下，每个弹性组件被配置为抵靠反应室调整可变形进料线的角度位置。
72、在某些实施例中，当弹簧装载附接件内的每个弹性组件与可变形进料组件的面向中间空间的表面的距离在水平平面中增加时，可变形进料组件的下部的位置调整的准确性得到提高。
73、在某些实施例中，在可变形进料组件的竖直延伸状态下，竖直间隙被配置为将可变形进料组件的下部与反应室分离。在某些实施例中，可变形进料组件的下部与反应室之间的所述间隙被配置为通过进一步压缩弹性组件中的每个弹性组件的移动致动机构来闭合。在某些实施例中，可变形进料组件的下部与反应室之间的所述间隙被配置为通过进一步拉伸弹性管状导管的移动致动机构来闭合。
74、在某些实施例中，移动致动机构被配置为通过进一步竖直地拉伸弹性管状导管，将竖直延伸的可变形进料组件竖直地朝向反应室进一步挤压，以抵靠反应室密封。在某些实施例中，移动致动机构被配置为通过进一步压缩每个弹性组件，将竖直延伸的可变形进料组件朝向反应室进一步挤压，以抵靠反应室密封。在某些实施例中，每个弹性组件被配置为与可变形进料组件进入竖直延伸状态的移动相比，在可变形进料组件的竖直延伸状态下更多地抵抗所述进一步压缩。在某些实施例中，每个弹性组件被配置为在可变形进料组件的竖直延伸状态下，最大程度地抵抗可变形进料组件的竖直移动。在某些实施例中，每个弹性组件在可变形进料组件的竖直延伸状态下对进一步压缩的抵抗被配置为稳定可变形进料组件的移动并且防止不需要的颗粒生成。
75、在某些实施例中，弹性管状导管被耦合在可变形进料组件的下部与装置的固定元件之间。在某些实施例中，装置的固定元件是可变形进料组件的上部。在这种实施例中，可变形进料组件的上部是可变形进料组件的静态部分，被固定地附接至装置。在某些实施例中，可变形进料组件的上部被耦合到外室的内表面或具有固定位置的装置的另一固定元件，诸如被耦合到外室的凸缘。在某些实施例中，弹性管状导管直接地或者通过装置的另一固定部分(诸如外室)间接地被耦合到可变形进料组件的上部。
76、在某些实施例中，可变形进料组件的上部被嵌套在弹性管状导管内部。在某些实施例中，在可变形进料组件的竖直延伸状态下，弹性管状导管围绕可变形进料组件的上部的整个竖直长度。在某些实施例中，在可变形进料组件的竖直缩进状态下，弹性管状导管仅围绕可变形进料组件的上部的竖直长度的一部分，而上部的一部分被嵌套在可变形进料组件的下部的内部。
77、在某些实施例中，弹性管状导管被配置为调整可变形进料组件的下部的位置，并且可变形进料组件的上部被配置为向所述下部提供反应物流。在某些实施例中，弹性管状导管被配置为抵靠可变形进料组件的上部调整下部的位置，以提供防漏的可变形进料组件。
78、根据第二示例方面，提供了一种方法，包括：
79、提供用于处理至少一个衬底的反应室和可变形进料组件，该可变形进料组件包括相对于彼此可移动的上部和下部；
80、使可变形进料组件变形到竖直缩进状态，并且将衬底装载到反应室中；
81、使可变形进料组件变形到竖直延伸状态，并且使反应物流过耦合到可变形进料组件的上部的弹性管状导管并且由此通过可变形进料组件流向反应室。
82、根据第三示例方面，提供了一种方法，包括：
83、提供用于处理至少一个衬底的反应室和可变形进料组件，该可变形进料组件包括相对于彼此可移动的上部和下部；
84、使可变形进料组件变形到竖直缩进状态，并且将衬底装载到反应室中；
85、使可变形进料组件变形到竖直延伸状态，并且使反应物流过嵌套在弹性管状导管内部的可变形进料组件的上部并且由此通过可变形进料组件的下部流向反应室。
86、不同的非约束性的示例方面和实施例已经在前述内容中图示。以上实施例仅被用于解释可以在实施本发明时使用的所选方面或步骤。一些实施例可以仅参照某些示例方面呈现。应该了解，对应实施例也适用于其他示例方面。具体地，在第一方面的上下文中描述的实施例适用于每个其他方面。可以形成实施例的任何适当组合。
1.一种衬底处理装置(100)，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为向所述可变形进料组件(85)提供所述反应物流。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被耦合在所述可变形进料组件(85)的所述上部(70)与所述装置(100)的固定元件之间。
4.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为利用其内部存储的机械势能向所述可变形进料组件(85)生成机械力。
5.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为：通过向所述可变形进料组件(85)生成机械力，来稳定并调整所述可变形进料组件(85)的所述上部(70)的位置。
6.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被配置为在由所述可变形进料组件(85)生成的机械力作用下拉伸或压缩。
7.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)被配置为：在所述可变形进料组件(85)的所述竖直延伸状态下抵靠所述反应室(20)被密封，以向所述反应室(20)提供所述反应物流。
8.根据任何前述权利要求所述的装置，包括：在所述可变形进料组件(85)的所述竖直延伸状态下，在所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)与所述上部(70)之间的密封界面。
9.根据任何前述权利要求所述的装置，其中所述可变形进料组件(85)的所述部(70、80)被配置为在所述可变形进料组件(85)的所述竖直缩进状态下嵌套在彼此内部。
10.根据任何前述权利要求所述的装置，包括：预张紧机构(130)，用以通过防止所述弹性管状导管(150)返回到未拉伸位置来预张紧所述弹性管状导管(150)。
11.根据权利要求10所述的装置，其中所述预张紧机构(130)被配置为：经由所述弹性管状导管(150)向所述可变形进料组件(85)生成机械力。
12.根据权利要求10或11所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)和所述预张紧机构(130)被配置为：通过向所述可变形进料组件(85)生成机械力，来使所述可变形进料组件(85)稳定并且防止所述可变形进料组件(85)的泄漏。
13.根据任何前述权利要求所述的装置，包括：移动致动机构，所述移动致动机构被附接至所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)，被配置为使所述可变形进料组件(85)在所述竖直延伸状态与所述竖直缩进状态之间变形。
14.根据权利要求13所述的装置，其中所述移动致动机构利用弹簧装载附接件(90)被附接至所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)。
15.根据权利要求14所述的装置，其中所述移动致动机构包括：利用所述弹簧装载附接件(90)耦合到所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)的至少一个移动轴(120)。
16.根据权利要求1所述的装置，其中所述弹性管状导管(150)被耦合在所述可变形进料组件(85)的所述下部(80)与所述装置(100)的固定元件之间。
17.根据权利要求16所述的装置，其中所述装置(100)的所述固定元件是所述可变形进料组件(85)的所述上部(70)。
18.一种方法，包括：
19.一种方法，包括：
