【】本案是关于一种微型流体泵，尤指一种通过半导体制程来制作的微型流体泵。
背景技术
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背景技术：
1、随着科技的日新月异，流体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的泵已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势，而微机电泵能够将流体输送装置的尺寸大幅度地缩小，故微机电泵明显为当下微型化的流体输送装置的主要发展方向。
2、请参考图1所示，图1为先前技术微型流体泵90，包含第一基板901、第一接着层902、第二基板903及压电组件904。第一基板901为硅基材，具有多个第一流体通道9011，该多个第一流体通道9011呈锥形；第一接着层902为氧化硅，定义出第二流体通道9021，并叠设于第一基板901上；第二基板903叠设第一接着层902上，包含由下而上依序堆栈的硅结构层9031、第二接着层9035及硅薄化层9037；硅结构层9031具有一个穿孔9032、振动部9033及固定部9034；第二接着层9035为氧化硅，具有共振腔室9036；硅薄化层9037具有一个致动部9038、外周部9039、连接部903a以及第三流体通道903b，其中致动部9038的外环之外周部9039与连接部903a连接，并具有第三流体通道903b；压电组件904叠设于硅薄化层9037的致动部9038上，包含依序堆栈于致动部9038上方的下电极层9041、压电层9042、绝缘层9043及上电极层9044。
3、先前技术在第一流体通道9011制程上，由于晶圆的晶向造成锥状的湿蚀刻角度太大，且改用干蚀刻也有深宽比太高的问题，其制程难度高，且流阻又大；再者，第一接着层902所定义出的第二流体通道9021要够厚，然而要生成较厚的氧化硅并不容易，且会有明显的应力问题，造成与第二基板903接合时较易发生剥离(peeling)。
技术实现思路
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技术实现要素：
1、本案的主要目的在于提供一种微机电泵，是以半导体制程所制造的微米等级的微机电泵，俾改善先前技术中微机电泵结构上造成的流阻与剥离的问题。
2、为达上述目的，本案的较广义实施态样为提供一种微型流体泵，包含：一第一基板，设有一流体通槽，以及至少一第一流体通道，其中该流体通槽为深槽状；一第一接着层；一第二基板，其中该第一基板、该第一接着层、该第二基板依序由下而上叠设，并定义出一第二流体通道，该第二流体通道顶端设有一穿孔；一第二接着层；一第三基板，其中该第二基板、该第二接着层、该第三基板依序由下而上叠设，并定义出一共振腔室，该第三基板更包含至少一第三流体通道、一致动部、一连接部与一外周部，其中该外周部环设于该致动部的外围，该外周部并通过该连接部耦接该致动部，该第三流体通道则贯通该第三基板，使该第三流体通道、该共振腔室得通过该穿孔依序连通该第二流体通道、该第一流体通道、该流体通槽；以及一压电组件，叠设于该致动部之上。
1.一种微型流体泵，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该第一基板为硅基材。
3.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该第二接着层覆盖于作为硅芯片的该第二基板上，使该第二接着层、该第二基板成为绝缘层上覆硅的芯片结构(soi wafer)。
4.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该第二基板更包含：
5.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该压电组件更包含：
6.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该第一接着层为氧化硅，且厚度等于该第二接着层的厚度。
7.如权利要求6所述的微型流体泵，其特征在于，该第一接着层为氧化硅，且厚度范围为0.5～2μm。
8.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该第二接着层是为氧化硅-多晶硅-氧化硅的复合结构，其厚度范围为0.5～10μm。
9.如权利要求6所述的微型流体泵，其特征在于，该第二接着层是为氧化硅，且厚度范围为0.5～2μm。
10.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该第三基板的厚度为3～15μm。
11.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该第一基板的厚度为270～430μm。
12.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该第二基板的厚度为2～5μm。
13.如权利要求5所述的微型流体泵，其特征在于，该压电层为圆形且设置于该第三基板的该致动部上方，该致动部亦呈圆形。
14.如权利要求13所述的微型流体泵，其特征在于，该致动部的直径为400～550μm。
15.如权利要求13所述的微型流体泵，其特征在于，该压电层的直径为140～500μm。
16.如权利要求13所述的微型流体泵，其特征在于，该压电层与该致动部的直径比例范围为1：1.3～1：3.6。
17.如权利要求1所述的微型流体泵，其特征在于，该微型流体泵的工作电压为2～12v。
18.如权利要求17所述的微型流体泵，其特征在于，该致动部的作动频率为0.1～1.5mhz。
19.如权利要求4所述的微型流体泵，其特征在于，该振动部的作动频率为0.1～1.5mhz。
