一种半导体加工用输送装置的制作方法

    专利2026-07-16  17


    本技术涉及输送装置领域,更具体地说,本技术涉及一种半导体加工用输送装置。


    背景技术:

    1、半导体输送装置是一种用于在半导体制造过程中移动、操控和定位半导体材料的装置,它在半导体工业中起到了至关重要的作用。但是在实际使用中,仍旧存在一些缺点,如:在半导体加工输送中,不同的加工过程,对应半导体的位置不同,独立的操控夹持装置很难控制半导体进行所有的加工,影响半导体的生产流畅性,并且在半导体加工过程中会存在一定碎屑,不及时清理影响其他加工步骤。


    技术实现思路

    1、为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型的实施例提供一种半导体加工用输送装置,以解决现有的问题。

    2、为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体加工用输送装置,包括,

    3、输送台,所述输送台作用在支撑其他组件;

    4、固定夹持组件,所述固定夹持组件可拆卸安装在输送台底部外表面,所述固定夹持组件作用在承载半导体并输送;

    5、清洁组件,所述清洁组件可拆卸安装在固定夹持组件侧表面,所述清洁组件作用在对半导体清洁;

    6、吸附组件,所述吸附组件可拆卸安装在输送台顶部,所述吸附组件作用在吸附半导体使其便于加工。

    7、其中,所述输送台包括输送支撑板、输送底座、输送槽,所述输送底座可拆卸安装在输送支撑板底部外表面,所述输送槽开设在输送底座顶部表面。

    8、其中,所述固定夹持组件包括移动座、旋转轴、底座块、弹簧、卡扣,所述移动座可拆卸安装在输送槽内部,所述旋转轴可拆卸安装在移动座顶部,所述底座块可拆卸安装在旋转轴顶部,所述弹簧可拆卸安装在底座块侧表面,所述卡扣可拆卸安装在弹簧顶部,所述移动座作用在输送半导体,所述卡扣作用在夹持固定半导体。

    9、其中,所述清洁组件包括连接杆、双层夹持块、伸缩杆、清洁头,所述连接杆可拆卸安装在底座块侧表面,所述双层夹持块可拆卸安装在连接杆顶部,所述伸缩杆可拆卸安装在双层夹持块顶部,所述清洁头可拆卸安装在伸缩杆顶部,所述清洁头作用在对加工的半导体进行清洁。

    10、其中,所述吸附组件包括吸附底座、活动块、长度调节杆、活动球、吸附盘,所述吸附底座可拆卸安装在输送支撑板顶部,所述活动块可拆卸安装在吸附底座内部,所述长度调节杆可拆卸安装在活动块外表面,所述活动球可拆卸安装在长度调节杆底部,所述吸附盘可拆卸安装在活动球外表面,所述吸附盘作用在吸附半导体。

    11、本实用新型的上述技术方案的有益效果如下:

    12、上述方案中,在半导体加工输送中,不同的加工过程,对应半导体的位置不同,独立的操控夹持装置很难控制半导体进行所有的加工,影响半导体的生产流畅性,设有固定夹持组件和吸附组件,共同对半导体进行输送过程中的夹持固定,使得半导体能够能全面的被加工;

    13、在半导体加工过程中会存在一定碎屑,不及时清理影响其他加工步骤,设有清洁组件,能够在半导体进行完一次加工后进行清洁,随后输送,避免下一个加工过程受到影响。



    技术特征:

    1.一种半导体加工用输送装置,其特征在于,包括,

    2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送装置,其特征在于,所述输送台(1)包括输送支撑板(11)、输送底座(12)、输送槽(13),所述输送底座(12)可拆卸安装在输送支撑板(11)底部外表面,所述输送槽(13)开设在输送底座(12)顶部表面。

    3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送装置,其特征在于,所述固定夹持组件(2)包括移动座(21)、旋转轴(22)、底座块(23)、弹簧(24)、卡扣(25),所述移动座(21)可拆卸安装在输送槽(13)内部,所述旋转轴(22)可拆卸安装在移动座(21)顶部,所述底座块(23)可拆卸安装在旋转轴(22)顶部,所述弹簧(24)可拆卸安装在底座块(23)侧表面,所述卡扣(25)可拆卸安装在弹簧(24)顶部,所述移动座(21)作用在输送半导体,所述卡扣(25)作用在夹持固定半导体。

    4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送装置,其特征在于,所述清洁组件(3)包括连接杆(31)、双层夹持块(32)、伸缩杆(33)、清洁头(34),所述连接杆(31)可拆卸安装在底座块(23)侧表面,所述双层夹持块(32)可拆卸安装在连接杆(31)顶部,所述伸缩杆(33)可拆卸安装在双层夹持块(32)顶部,所述清洁头(34)可拆卸安装在伸缩杆(33)顶部,所述清洁头(34)作用在对加工的半导体进行清洁。

    5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用输送装置,其特征在于,所述吸附组件(4)包括吸附底座(41)、活动块(42)、长度调节杆(43)、活动球(44)、吸附盘(45),所述吸附底座(41)可拆卸安装在输送支撑板(11)顶部,所述活动块(42)可拆卸安装在吸附底座(41)内部,所述长度调节杆(43)可拆卸安装在活动块(42)外表面,所述活动球(44)可拆卸安装在长度调节杆(43)底部,所述吸附盘(45)可拆卸安装在活动球(44)外表面,所述吸附盘(45)作用在吸附半导体。


    技术总结
    本技术公开了一种半导体加工用输送装置,包括,输送台,输送台作用在支撑其他组件;固定夹持组件,固定夹持组件可拆卸安装在输送台底部外表面;清洁组件,清洁组件可拆卸安装在固定夹持组件侧表面;吸附组件,吸附组件可拆卸安装在输送台顶部。上述方案中,在半导体加工输送中,不同的加工过程,独立的操控夹持装置很难控制半导体进行所有的加工,影响半导体的生产流畅性,设有固定夹持组件和吸附组件,共同对半导体进行输送过程中的夹持固定,使得半导体能够能全面的被加工;在半导体加工过程中会存在一定碎屑,不及时清理影响其他加工步骤,设有清洁组件,能够在半导体进行完一次加工后进行清洁,随后输送,避免下一个加工过程受到影响。

    技术研发人员:陆翔
    受保护的技术使用者:海太半导体(无锡)有限公司
    技术研发日:20230822
    技术公布日:2024/4/29
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