本发明属于铝合金制造，具体为一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺。
背景技术：
1、al-mg-si合金具有较高的强度和良好的耐蚀性，被广泛应用于航空航天、汽车制造、建筑和电子器件等领域。其中半导体精密零部件如腔室、内衬和卡盘等的工作环境一般为真空和酸性腐蚀气体环境，对铝合金板材的耐蚀性要求更高，因此表面通常需要进行包括硬质氧化、清洗等类型的表面处理。此外，该类型产品普遍要求低的fe元素含量，原因是合金中fe元素富集形成的富fe相在热处理过程中较难回溶至基体内，呈针状或骨骼状聚集在晶界处，会显著降低合金的耐蚀性。
2、但目前国内传统工艺生产的低fe含量al-mg-si合金硬质氧化后表面容易出现氧化花斑，导致板材的耐腐蚀时间缩短，降低零部件的使用寿命。且存在局部点异常腐蚀的可能，导致零部件提前报废，影响产线的稳定性和可靠性。
技术实现思路
1、有鉴于此，本发明为了解决低fe含量al-mg-si合金硬质氧化后容易出现氧化花斑的问题，提供了一种fe含量≤0.09wt％的al-mg-si合金的厚板生产工艺，可有效消除硬质氧化表面花斑，保证采用该板材生产零部件的外观颜色均匀无色差，提高其可靠性和使用寿命，为半导体生产设备国产化开发提供支持。
2、为解决上述问题，本发明提供了一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，包括以下步骤：
3、a、配料：配制al-mg-si合金各组分原料；
4、b、熔铸：将各组分原料按难熔到易熔顺序加入到熔炼炉中熔炼，经搅拌、扒渣、精炼、静置、除气、过滤后铸成合金铸锭；其中细化剂al-5ti-1b的添加量为1.5-2.0kg/t；
5、c、均热：铸锭升温至555-575℃，保温24-28h，风冷3-6h后出炉；
6、d、锯切铣面：对铸锭进行切头尾，并铣除表面凝壳层；
7、e、热轧：将锯铣后的铸锭加热至540-570℃，保温5-10h，然后出炉轧制，板材终轧温度控制为490-530℃；
8、f、固溶淬火：切除板材头尾及宽度废料后进行固溶处理，板材升温至500-530℃，保温90-120min后出炉淬火；
9、g、拉伸：板材淬火完成后进行拉伸处理，拉伸率控制范围为1.5-2.5％；
10、h、时效：板材随炉升温至160-180℃，保温12-14h。
11、进一步地，al-mg-si合金厚板为150-250mm厚的al-mg-si板材。
12、进一步地，步骤a中al-mg-si合金按照质量百分比由以下元素组分组成，si：0.60％-0.70％、fe：≤0.09％、cu：0.15％-0.30％、mn：≤0.10％、mg：0.95％-1.15％、cr：0.23％-0.35％、zn：≤0.04％、ti：0.020％-0.030％、单个杂质≤0.05％、杂质合计≤0.15％，余量为铝。
13、进一步地，步骤b熔铸过程过滤采用40+50ppi的陶瓷过滤板。
14、进一步地，步骤b熔铸过程细化剂al-5ti-1b的添加量为1.6-1.8kg/t。
15、进一步地，步骤c均热过程铸锭升温速率控制为35-45℃/min。
16、进一步地，步骤e热轧过程中铸锭温度全程保持不低于490℃。
17、进一步地，步骤e轧制过程中所有道次压下量≤35mm，优选≤30mm，轧制速度≥1.8mm/s。
18、与现有技术相比，本发明的有益效果为：
19、本发明主要对150-250mm厚低fe含量al-mg-si板材组织进行工艺优化，具体为控制细化剂添加量、高温小变形量轧制和低温固溶的工艺组合，制备出的fe含量≤0.09wt％的al-mg-si合金厚板可保证硬质氧化后表面呈均匀黑色，无氧化花斑。熔铸工艺控制合适的细化剂添加量，可以有效细化铸态晶粒组织，保证较小的原始晶粒尺寸。热轧工艺采用高温小变形量轧制，减少变形抗力，控制较小的晶格畸变和较低的储能状态。固溶工艺采用低温固溶，减少过程中晶粒的再结晶及长大。多工序的工艺组合保证板材晶粒呈现均匀细小的状态，硬质氧化后表面可避免出现氧化花斑，颜色呈均匀黑色，同时可优化合金的延伸率和耐腐蚀性能。
1.一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，al-mg-si合金厚板为150-250mm厚的al-mg-si板材。
3.根据权利要求1所述的一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，步骤a中al-mg-si合金按照质量百分比由以下元素组分组成，si：0.60％-0.70％、fe：≤0.09％、cu：0.15％-0.30％、mn：≤0.10％、mg：0.95％-1.15％、cr：0.23％-0.35％、zn：≤0.04％、ti：0.020％-0.030％、单个杂质≤0.05％、杂质合计≤0.15％，余量为铝。
4.根据权利要求1所述的一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，步骤b熔铸过程中过滤采用40+50ppi的陶瓷过滤板。
5.根据权利要求1所述的一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，步骤b熔铸过程中细化剂al-5ti-1b的添加量为1.6-1.8kg/t。
6.根据权利要求1所述的一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，步骤c均热过程铸锭升温速率控制为35-45℃/min。
7.根据权利要求1所述的一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，步骤e热轧过程中铸锭温度全程保持不低于490℃。
8.根据权利要求1所述的一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，步骤e轧制过程中所有道次压下量≤35mm，轧制速度≥1.8mm/s。
9.根据权利要求7所述的一种消除al-mg-si合金厚板表面氧化花斑的生产工艺，其特征在于，步骤e轧制过程中所有道次压下量≤30mm。
