一种用于硅部件的抛光机夹具的制作方法

    专利2026-05-17  7


    本技术涉及硅部件生产,尤其涉及一种用于硅部件的抛光机夹具。


    背景技术:

    1、在硅部件抛光的过程中,由于硅部件的材料特性硬脆,使得装夹难度大,且硅部件表面易出现损伤及崩边等缺陷。

    2、现有的在抛光机上的装夹方式为,使用木板和木块进行装夹,此装夹方式存在装夹不牢固的问题,使装夹的可靠性较低,进而使得硅部件在抛光过程中容易出现移动的现象。一定程度上影响了硅部件的加工精度,同时装卸硅部件时较为繁琐,使操作时间长。


    技术实现思路

    1、(一)要解决的技术问题

    2、鉴于现有技术的上述缺点、不足,本实用新型提供一种用于硅部件的抛光机夹具,其解决了夹具可靠性较低且装卸复杂的技术问题。

    3、(二)技术方案

    4、为了达到上述目的,本实用新型采用的主要技术方案包括:

    5、本实用新型实施例提供一种用于硅部件的抛光机夹具,包括底盘和多组夹持组件,多组夹持组件均设置在底盘上,相邻两组夹持组件之间的夹角相同;夹持组件包括夹持块、固定座、连接架和调节螺钉,固定座能够沿底盘的径向滑动连接,连接架的一端穿过固定座与夹持块连接,且连接架转动连接于调节螺钉上,调节螺钉与固定座螺纹连接,通过转动调节螺钉以使连接架相对于固定座沿底盘的径向移动,进而带动夹持块的夹持面抵接硅部件的侧壁;夹持块的夹持面上设有阻尼布。

    6、优选地,固定座为工字型结构;固定座包括第一固定板、第二固定板和连接柱;第一固定板和第二固定板相对设置,连接柱的两端分别与第一固定板和第二固定板连接且连接柱位于第一固定板和第二固定板的中部,第一固定板、第二固定板和连接柱围合形成两个滑槽,连接架穿过两个滑槽与夹持块连接。

    7、优选地,滑槽沿其滑动方向倾斜设置,且滑槽向靠近夹持块的一侧向上倾斜。

    8、优选地,夹持块、连接架和固定座的材料均为l不锈钢。

    9、优选地,夹持块的夹持面为内凹的圆弧形。

    10、优选地,底盘的顶面向下凹设形成多个导向槽,多个导向槽与多个夹持组件一一对应设置;多个导向槽沿底盘的径向设置,夹持组件至少部分位于导向槽内。

    11、优选地,导向槽沿其长度方向开设有用于固定固定座的长通槽。

    12、优选地,夹持组件还包括固定螺钉;固定座的竖直方向开设有两个连接通孔,固定螺钉穿过连接通孔和长通槽与底盘连接。

    13、优选地,固定座的水平方向开设有螺纹孔,调节螺钉与固定座的螺纹孔螺纹连接。

    14、优选地,连接架包括连接横杆和两个连接竖杆;两个连接竖杆相对设置,连接横杆分别与两个连接竖杆连接;两个连接竖杆的端部分别伸出两个滑槽与夹持块连接。

    15、(三)有益效果

    16、本实用新型的有益效果是:

    17、本实用新型的用于硅部件的抛光机夹具,由于夹持组件包括夹持块、固定座、连接架和调节螺钉,当对硅部件进行夹持时,推动固定座至适当位置后再通过转动调节螺钉对连接架的端部进行微调以使连接架端部上的夹持块与硅部件的侧壁抵接,多个夹持组件中的夹持块抵接后对硅部件进行夹持,因此该夹具操作便捷,方便拆卸工装,节省了夹持时间。同时由于夹持块的夹持面上设有阻尼布,增加了夹持块与硅部件侧壁之间摩擦力使夹持更稳定且不损伤硅部件。由于固定座与底盘滑动连接,进而可以夹持不同直径的硅部件,适用范围较广。



    技术特征:

    1.一种用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于,包括底盘(1)和多组夹持组件(2),多组所述夹持组件(2)均设置在所述底盘(1)上,相邻两组所述夹持组件(2)之间的夹角相同;

    2.如权利要求1所述的用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于:

    3.如权利要求2所述的用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于:

    4.如权利要求1所述的用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于:

    5.如权利要求1所述的用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于:

    6.如权利要求1所述的用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于:

    7.如权利要求6所述的用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于:

    8.如权利要求7所述的用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于:

    9.如权利要求1所述的用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于:

    10.如权利要求2所述的用于硅部件的抛光机夹具,其特征在于:


    技术总结
    本技术涉及硅部件生产技术领域,尤其涉及一种用于硅部件的抛光机夹具。抛光机夹具包括底盘和多组夹持组件,由于夹持组件包括夹持块、固定座、连接架和调节螺钉,当对硅部件进行夹持时,推动固定座至适当位置后再通过转动调节螺钉对连接架的端部进行微调以使连接架端部上的夹持块与硅部件的侧壁抵接,多个夹持组件中的夹持块抵接后对硅部件进行夹持,因此该夹具操作便捷,方便拆卸工装,节省了夹持时间。同时由于夹持块的夹持面上设有阻尼布,增加了夹持块与硅部件侧壁之间摩擦力使夹持更稳定且不损伤硅部件。由于固定座与底盘滑动连接,进而可以夹持不同直径的硅部件,适用范围较广。

    技术研发人员:张磊,杜洪峰,谢岩
    受保护的技术使用者:锦州精合半导体有限公司
    技术研发日:20231008
    技术公布日:2024/4/29
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