本发明例如涉及一种能够算出在载置装置与头中的至少一者的移动中产生的移动误差的移动误差计算系统及计算装置、具备移动误差计算系统的机床(machine tool)、能够测量物体的光测量装置的。
背景技术：
1、专利文献1中记载了一种算出在第一机械零件及第二机械零件的并进移动及旋转移动中产生的移动误差的机床。此种机床中，适当地算出移动误差成为技术课题。
2、[现有技术文献]
3、[专利文献]
4、专利文献1：美国专利公开第2018/0174317号公报
技术实现思路
1、根据第一形态，提供一种移动误差计算系统，算出在机床的载置装置与加工头的至少一者的移动中产生的移动误差，所述机床一边使载置工件的所述载置装置与所述加工头中的至少一者移动，一边利用能够装卸地安装于所述加工头的主轴的工具来加工所述工件，所述移动误差计算系统包括：与所述工件不同的基准构件，被载置于所述载置装置；光检测装置，包括对物光学系统及检测器，且取代所述工具而安装于所述主轴，其中，所述对物光学系统朝向所述基准构件照射第一光，所述检测器经由所述对物光学系统来接收通过所述第一光的照射而产生的来自所述基准构件的光中的、沿着所述第一光的光路行进的第二光；以及运算部，基于所述光检测装置所得出的检测结果来算出所述移动误差。
2、根据第二形态，提供一种机床，包括：通过第一形态而提供的移动误差计算系统；所述加工头；所述载置装置；以及驱动装置，使所述加工头与所述载置装置中的至少一者移动。
3、根据第三形态，提供一种计算装置，算出在载置装置与头中的至少一者的移动中产生的移动误差，所述载置装置能够载置工件，所述头能够安装用于进行所述工件的处理的处理部，其中，所述计算装置包括运算部，所述运算部基于光检测装置所得出的检测结果来算出所述移动误差，所述光检测装置包括：对物光学系统，朝向被载置于所述载置装置的基准构件照射第一光；以及检测器，经由所述对物光学系统来接收通过所述第一光的照射而产生的来自所述基准构件的第二光，且安装于所述头。
4、根据第四形态，提供一种校准方法，包括：从被安装于头的光检测装置的对物光学系统朝向被载置于载置装置的基准构件照射第一光，所述头能够安装用于进行工件的处理的处理部；经由所述对物光学系统，使用所述光检测装置的检测器来接收通过所述第一光的照射而产生的来自所述基准构件的第二光；以及基于所述光检测装置所得出的检测结果，对用于所述载置装置与所述头中的至少一者的移动控制的信息进行校准。
5、根据第五形态，提供一种光测量装置，包括：对物光学系统；测量部，经由所述对物光学系统朝向物体照射第一光，并经由所述对物光学系统来接收通过所述第一光的照射而产生的来自所述物体的第二光；聚光光学系统，设在所述对物光学系统与所述测量部之间的光路中，且在所述对物光学系统的所述测量部侧的焦点位置形成所述第一光的聚光点；以及运算部，基于所述测量部所得出的受光结果，来测量所述物体的至少一部分。
6、根据第六形态，提供一种计算装置，算出在载置装置与头中的至少一者的移动中产生的移动误差，所述载置装置能够载置工件，所述头能够安装用于进行所述工件的处理的处理部，其中，所述计算装置包括运算部，所述运算部基于光检测装置所得出的检测结果来算出所述移动误差，所述光检测装置包括朝向被载置于所述载置装置的基准构件照射第一光的对物光学系统，经由所述对物光学系统来接收通过所述第一光的照射而产生的来自所述基准构件的第二光，且被安装于所述头。
7、本发明的作用及其他利益将根据接下来说明的具体实施方式而明确。
1.一种移动误差计算系统，算出在机床的载置装置与加工头的至少一者的移动中产生的移动误差，所述机床一边使载置工件的所述载置装置与所述加工头中的至少一者移动，一边利用能够装卸地安装于所述加工头的主轴的工具来加工所述工件，所述移动误差计算系统的特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的移动误差计算系统，其特征在于，
3.根据权利要求1或2所述的移动误差计算系统，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的移动误差计算系统，其特征在于，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的移动误差计算系统，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的移动误差计算系统，其特征在于，
9.根据权利要求1至8中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
10.根据权利要求2或从属于权利要求2的权利要求3至7中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
11.根据权利要求7至10中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
12.根据权利要求1至11中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
13.根据权利要求1至12中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
14.根据权利要求13所述的移动误差计算系统，其特征在于，
15.根据权利要求13所述的移动误差计算系统，其特征在于，
16.根据权利要求1至15中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
17.根据权利要求13至16中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
18.根据权利要求13至17中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
19.根据权利要求13至18中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
20.根据权利要求19所述的移动误差计算系统，其特征在于，
21.根据权利要求1至20中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
22.根据权利要求21所述的移动误差计算系统，其特征在于，
23.根据权利要求1至22中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
24.根据权利要求23所述的移动误差计算系统，其特征在于，
25.根据权利要求1至24中任一项所述的移动误差计算系统，其特征在于，
26.根据权利要求25所述的移动误差计算系统，其特征在于，
27.一种机床，其特征在于，包括：
28.一种计算装置，算出在载置装置与头中的至少一者的移动中产生的移动误差，所述载置装置能够载置工件，所述头能够安装用于进行所述工件的处理的处理部，其特征在于，
29.一种校准方法，其特征在于，包括：
30.一种光测量装置，其特征在于，包括：
31.一种计算装置，算出在载置装置与头中的至少一者的移动中产生的移动误差，所述载置装置能够载置工件，所述头能够安装用于进行所述工件的处理的处理部，其特征在于，
