本发明涉及一种压电振动器件的频率调整方法及压电振动器件。
背景技术：
1、以往，晶体谐振器等压电振动器件的制造工序中包含有频率调整工序，通过该频率调整工序，晶体谐振器的频率被调整到规定的目标频率范围内(例如，参照专利文献1)。
2、在用密封构件将晶体振动片的振动部密封之后实施频率调整工序的情况下，从晶体谐振器的外部照射激光等光束。在此情况下，如果光束的输出功率太大，则振动部的激励电极有可能被损坏。另外，在晶体谐振器的内部空间中有可能产生飞散物、气体。
3、【专利文献1】：日本专利第5762811号公报
技术实现思路
1、鉴于上述情况，本发明的目的在于：提供一种在用密封构件将压电振动片的振动部密封之后也能不使压电振动器件的特性降低地容易地进行频率调整的压电振动器件的频率调整方法；另外，提供一种能够抑制频率特性的经年劣化的压电振动器件。
2、为了解决上述技术问题，本发明采用下述技术方案。即，本发明是一种压电振动器件的频率调整方法，所述压电振动器件中，压电振动片具有形成有激励电极的振动部，所述压电振动片的至少所述振动部被密封构件气密密封，其特征在于：在所述密封构件的与所述激励电极相向的主面上，形成有由基底金属层和层叠在其上的金属层构成的频率调整用金属膜；形成有所述频率调整用金属膜的所述密封构件的至少一部分由透光性材料构成；通过从所述密封构件的外部对所述频率调整用金属膜照射光束，使所述光束透射到所述密封构件的内部将所述基底金属层加热，而使所述金属层的至少一部分融化并蒸发(气化)后附着在所述激励电极上，来进行频率调整。
3、基于上述压电振动器件的频率调整方法，通过使基底金属层的上侧的金属层融化后蒸发，蒸发后的金属附着在激励电极上，能够使激励电极的质量增加、频率向低侧移动。在此情况下，通过控制光束的输出功率、照射时间等，能够获得所期的频率调整量。并且，通过使光束不穿透频率调整用金属膜，能够防止激励电极被损伤。由此，用密封构件将压电振动片的振动部密封之后，也能够不使压电振动器件的特性明显降低地进行频率调整。
4、上述压电振动器件的频率调整方法中，较佳为，通过使所述光束不穿透所述基底金属层地进行照射，使所述金属层融化。这样，由于光束不穿透频率调整用金属膜，所以能够切实地避免激励电极被损伤。由此，用密封构件将压电振动片的振动部密封之后，也能够不使压电振动器件的特性降低地容易地进行频率调整。
5、上述压电振动器件的频率调整方法中，较佳为，所述频率调整用金属膜的所述基底金属层的融化温度(融点)高于所述金属层的融化温度。在此情况下，较佳为，所述基底金属层的融化温度与所述金属层的融化温度之差在350k以上。另外，在所述金属层由多层金属构成的情况下，较佳为，所述基底金属层的融化温度与最上层的金属的融化温度之差在350k以上。如此，由于基底金属层的融化温度与金属层的融化温度之间有差别，所以，通过光束照射而将基底金属层加热到金属层的融化温度以上且基底金属层的融化温度以下的温度，能够使基底金属层不融化、只是金属层融化、并使融化后的金属的一部分蒸发。通过使蒸发后的金属附着在激励电极上，能够使激励电极的质量增加、频率向低侧移动。由此，用密封构件将压电振动片的振动部密封之后，也能够不使压电振动器件的特性降低地容易地进行频率调整。
6、上述压电振动器件的频率调整方法中，较佳为，形成有所述频率调整用金属膜的所述密封构件的第一主面、及该第一主面的相反侧的第二主面为平滑面。这样，能够防止光束从密封构件的第二主面射入时、及光束从密封构件的第一主面射出时发生光束的反射和折射，从而能够减少光束的能量损失。由此，用密封构件将压电振动片的振动部密封之后，也能够进行与光束的输出功率、照射时间等相应的高精度的频率调整。
7、上述压电振动器件的频率调整方法中，较佳为，所述金属层由与构成所述激励电极的材料相同的材料构成。如此，由于金属层与激励电极为相同的材料，所以在频率调整前后特性不会变化，从而能够抑制密封后的压电振动器件的特性变动。
8、上述压电振动器件的频率调整方法中，较佳为，所述基底金属层由钛构成。这样，通过使露出在压电振动器件的内部空间内的基底金属层作为吸气材料发挥作用，能够利用基底金属层回收在压电振动器件的内部空间中产生的气体。
9、上述压电振动器件的频率调整方法中，较佳为，所述光束为可见光激光。如此，通过使用对例如由水晶或玻璃构成的密封构件而言吸收率低且透射率高的可见光激光，能够减少功率损失及对密封构件的损伤，因而有利于频率调整。
10、上述压电振动器件的频率调整方法中，较佳为，将所述压电振动片的所述振动部密封的空间为真空。这样，能够使蒸发后的金属大致呈直线状地移动，从而能够防止其向周围飞散。另外，能够使蒸发后的金属不降低温度地附着在激励电极上。
11、上述压电振动器件的频率调整方法中，较佳为，所述激励电极与所述频率调整用金属膜在竖直方向上的距离为2～200μm。如此，通过使激励电极与频率调整用金属膜之间的距离非常小，而使从频率调整用金属膜蒸发后的金属大致呈直线状地移动，能够防止其向周围飞散。由此，能够使蒸发后的金属切实地附着在激励电极上，从而在用密封构件将压电振动片的振动部密封之后，也能够容易地进行高精度的频率调整。
12、上述压电振动器件的频率调整方法中，较佳为，所述压电振动器件具备将所述压电振动片的所述振动部的第一主面侧覆盖的第一密封构件、及将所述压电振动片的所述振动部的第二主面侧覆盖的第二密封构件；所述第一密封构件与所述压电振动片相接合、且所述第二密封构件与所述压电振动片相接合，从而所述压电振动片的所述振动部被气密密封；所述第一密封构件及所述第二密封构件由水晶构成。如此，在采用三片重叠结构的压电振动器件的情况下，能够实现压电振动器件的小型化及薄型化，在这样的实现了小型化及薄型化的压电振动器件中，即便用第一密封构件、第二密封构件将压电振动片的振动部密封之后，也能够进行高精度的频率调整。
13、另外，本发明是一种压电振动器件，该压电振动器件中，压电振动片具有形成有激励电极的振动部，所述压电振动片的至少所述振动部被密封构件气密密封，其特征在于：在所述密封构件的与所述激励电极相向的主面上，形成有由基底金属层和层叠在其上的金属层构成的频率调整用金属膜；所述频率调整用金属膜的所述基底金属层的至少一部分未被所述金属层覆盖而露出。
14、基于上述压电振动器件，能够防止在受到外部冲击而振动部变形时频率调整用金属膜与激励电极相附着。例如，在基底金属层由不同于激励电极的材料构成、且基底金属层未露出的情况下，在受到外部冲击而振动部变形时，层叠在基底金属层上的金属层会与激励电极相附着(贴合)。对此，在基底金属层由不同于激励电极的材料构成、且未被所述金属层覆盖而露出的情况下，即便在受到外部冲击而振动部变形、且露出的基底金属层接触到激励电极时，也不容易附着在激励电极上。而且，通过使露出的基底金属层作为吸气材料发挥作用，能够利用基底金属层回收在压电振动器件的内部空间中产生的气体。作为这样的基底金属层的材料，例如钛等较佳。由此，能够抑制因产生气体而引起的压电振动器件的频率特性的经年劣化。
15、上述压电振动器件中，较佳为，所述压电振动片具备所述振动部、及包围所述振动部的外框部。由此，与用粘结剂将密封构件接合于基座的结构相比，能够使激励电极与频率调整用金属膜之间的距离非常小，从而能够进行高精度的频率调整。
16、上述压电振动器件中，较佳为，具备将所述压电振动片的所述振动部的第一主面侧覆盖的第一密封构件、及将所述压电振动片的所述振动部的第二主面侧覆盖的第二密封构件；所述第一密封构件与所述压电振动片相接合、且所述第二密封构件与所述压电振动片相接合，从而所述压电振动片的所述振动部被气密密封；所述第一密封构件及所述第二密封构件由水晶构成。如此，在三片重叠结构的压电振动器件中，能够实现压电振动器件的小型化及薄型化，而且在这种实现了小型化及薄型化的压电振动器件中，能够防止频率特性的经年劣化。
17、＜发明的效果＞
18、基于本发明的压电振动器件的频率调整方法，通过使基底金属层的上层的金属层融化后蒸发，并使蒸发后的金属附着在激励电极上，能够使激励电极的质量增加、频率向低侧移动。并且，通过使光束不穿透频率调整用金属膜，能够防止激励电极被损伤。由此，即使在用密封构件将压电振动片的振动部密封之后，也能够不使压电振动器件的特性显著降低地进行频率调整。另外，基于本发明的压电振动器件，能够防止在受到外部冲击而振动部变形时频率调整用金属膜与激励电极相附着。另外，通过使露出的基底金属层作为吸气材料发挥作用，能够利用基底金属层回收在压电振动器件的内部空间中产生的气体。由此，能够抑制因气体产生而引起的压电振动器件的频率特性的经年劣化。
1.一种压电振动器件的频率调整方法，所述压电振动器件中，压电振动片具有形成有激励电极的振动部，所述压电振动片的至少所述振动部被密封构件气密密封，其特征在于：
2.如权利要求1所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
3.如权利要求1或2所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
4.如权利要求3所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
5.如权利要求1或2所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
6.如权利要求1～5中任一项所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
7.如权利要求1～6中任一项所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
8.如权利要求1～7中任一项所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
9.如权利要求1～8中任一项所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
10.如权利要求1～9中任一项所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
11.如权利要求1～10中任一项所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
12.如权利要求1～11中任一项所述的压电振动器件的频率调整方法，其特征在于：
13.一种压电振动器件，该压电振动器件中，压电振动片具有形成有激励电极的振动部，所述压电振动片的至少所述振动部被密封构件气密密封，其特征在于：
14.如权利要求13所述的压电振动器件，其特征在于：
15.如权利要求13或14所述的压电振动器件，其特征在于：
