本发明涉及光罩盒智能货柜，具体为一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜及其管理系统。
背景技术：
1、光罩盒货柜主要应用于半导体行业，用来存储光罩盒，提高光罩盒的周转率并减少产线人力投入；现有的光罩盒智能货柜在存储过程中，无法精确的提供光罩盒的存储为光罩盒提供稳定及精准的定位存储和查询，使得在光罩盒货柜移动过程中，光罩盒发生晃动，造成光罩盒损坏以及采用人工查找费时和容易出现错用等问题；为防止光罩盒在货柜内部存放的过程中出现阴霾的情况，多在货柜内部填充足量的惰性气体对光罩盒进行防护，工作人员在进行货柜内部对应位置处的光罩盒取出时，易将货柜内部的惰性气体向外泄露，使货柜内部用于保护的惰性气体量不足，需继续填充惰性气体进行保护，且扩散的惰性气体造成浪费；
2、针对上述技术问题，本申请提出一种解决方案。
技术实现思路
1、本发明的目的在于解决现有的光罩盒货柜无法精确的提供光罩盒的存储为光罩盒提供稳定及精准的定位存储和查询的问题，而提出一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜及其管理系统。
2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜，包括货柜本体，所述货柜本体外侧壁一侧通过机械臂安装有工控机，所述货柜本体内侧壁连接有若干个均匀分布的分层板，所述分层板上表面通过货位模组连接有若干个均匀分布的货位模组；
4、所述货位模组包括主控制芯片及与主控制芯片通信连接的rfid读卡模块、电控锁和行程开关；
5、其中，rfid读卡模块用于读取光罩盒标签绑定的mask id和rfid号码并将其传输至主控制芯片，主控制芯片接收到光罩盒标签绑定的mask id和rfid号码后将其发送至工控机；
6、所述主控制芯片还用于接收工控机发送的入库指令和出库指令并处理，具体处理过程为：当接收到入库指令后，将光罩盒正确放入货位，触发行程开关，同时行程开关生成触发指令并反馈至主控制芯片，主控制芯片控制rfid读卡模块进行信息读取，读取成功后，控制绿色对应的led灯亮，并将读取的数据发送至工控机；当接收到出库指令后，主控制芯片控制对应电控锁进行解锁对应的led灯变为绿色闪烁状态，取出光罩盒后，控制led灯由绿色变为黄色，当led灯入库或出库失败时，主控制芯片控制led灯由绿色变为红色并生成出入库失败日志并反馈到工控机内；
7、所述工控机与服务端通信连接并进行数据传输；
8、作为本发明的一种优选实施方式，所述货位模组还包括外壳，所述外壳内侧壁一侧拐角处开设有安装槽，安装槽的内部安装有连接有电磁锁，所述外壳的一侧外侧壁开设有与电磁锁配合使用的定位孔，外壳远离所述电磁锁的一侧侧壁一端通过铰链安装有转动门，所述转动门上安装有与电磁锁配合使用的锁扣；外壳的前侧壁位于转动门的正上方安装有led灯和lock按钮；
9、所述外壳的后侧壁中部开设有矩形支架槽，矩形支架槽上固定安装有l型支架，所述外壳的后侧壁位于矩形支架槽的上方安装有pcb安装板；所述外壳的后侧壁位于pcb安装板的上方一侧开设有穿线孔；主控制芯片安装在pcb安装板。
10、作为本发明的一种优选实施方式，所述货柜本体内部底壁安装有电池模块，电池模块用于为工控机和主控制芯片供电。
11、作为本发明的一种优选实施方式，分层板对应若干个所述货位模组下方均连接有拼接板，所述拼接板上表面靠近所述外壳两侧连接有滑动框架，所述滑动框架内部下表面开设有若干个均匀分布的嵌合齿槽，所述拼接板前端连接有封堵板，所述封堵板前表面两侧对应所述滑动框架位置处开设有孔洞，孔洞内侧壁通过铰链转动连接有，所述滑动框架内侧壁对应所述位置处开设有转门槽。
12、作为本发明的一种优选实施方式，滑动框架外侧壁一侧对应所述位置处设有封隔板，所述封隔板外侧壁中间位置处开设有滑板槽，所述滑板槽内侧滑动连接有活动板，所述活动板上下表面均一体成型有限位滑板，所述封隔板外侧壁远离所述活动板位置处开设有通风孔，通风孔内部连接有风扇，所述风扇扇叶转轴上连接有传动转轮，通风孔内部下表面对应传动转轮位置处开设有空腔，所述空腔内部转动连接有转动齿轮一，所述转动齿轮一连接转轴上也连接有传动转轮，两个所述传动转轮通过传动带传动连接，所述活动板下方的限位滑板位置处连接有软齿条，所述空腔内部对应软齿条位置处转动连接有转动齿轮二。
13、一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜管理系统，包括上述的光罩盒智能货柜、服务端和客户端；服务端分别与客户端和工控机通信连接；
14、服务端用于采集和存储货柜数据；并将接收到的出库指令和入库指令发送至对应光罩盒智能货柜；其中，货柜数据包括货柜信息和光罩盒信息；光罩盒信息包括光罩盒的rfid号码、序列编码、存储位置、光罩盒状态以及光罩盒标签绑定的mask id；货柜信息包括货柜的位置、对应货位存储状态以及光罩盒出入库失败日志，货位存储状态包括待料状态、异常状态、正常存状态；
15、客户端用于登录服务端，显示和查询服务端内存储的货柜数据以及发送出库指令和入库指令给服务端。
16、作为本发明的一种优选实施方式，服务端具体包括：
17、指令接收模块，用于接收出库指令和入库指令并对其进行解析以得到对应光罩盒智能货柜，将出库指令和入库指令发送至对应光罩盒智能货柜的工控机上；
18、采集模块，用于实时采集光罩盒智能货柜对应的货柜数据；
19、存储模块，用于存储货柜数据。
20、与现有技术相比，本发明的有益效果是：
21、1、通过光罩盒智能货柜内货位模组对光罩盒进行存储，使其不易发生晃动，同时工控机采集光罩盒的存储状态，以便于实时了解光罩盒的存储信息；通过服务端提供实时的光罩盒状态和位置信息，方便使用时快速查找，以解决产线人工查找费时及容易出现错用等问题；
22、2、通过将分层板上各个货位模组上的调节传输带同步进行转动传输，使调节传输带上的嵌合槽调节至货柜前方，便于工作人员进行光罩盒的安装，并在完成安装后，使传输至前方的调节传输带在复位的涡卷弹簧作用下回到原来的位置处；
23、3、通过封隔板对待取走光罩盒位置处空间的封隔，后再风扇的作用下将封隔空间内部的惰性气体向相邻空间进行传输，使进行光罩盒的取出时，不会造成货柜内部惰性气体的大量流失。
1.一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜，包括货柜本体(1)，所述货柜本体(1)外侧壁一侧通过机械臂安装有工控机(2)，其特征在于，所述货柜本体(1)内侧壁连接有若干个均匀分布的分层板(12)，所述分层板(12)上表面通过货位模组连接有若干个均匀分布的货位模组(3)；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜，其特征在于，所述货位模组(3)还包括外壳(5)，所述外壳(5)内侧壁一侧拐角处开设有安装槽(65)，安装槽(65)的内部安装有连接有电磁锁(7)，所述外壳(5)的一侧外侧壁开设有与电磁锁(7)配合使用的定位孔(61)，外壳(5)远离所述电磁锁(7)的一侧侧壁一端通过铰链安装有转动门(9)，所述转动门(9)上安装有与电磁锁(7)配合使用的锁扣(8)；外壳(5)的前侧壁位于转动门(9)的正上方安装有led灯(63)和lock按钮(62)；
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜，其特征在于，所述货柜本体(1)内部底壁安装有电池模块(11)，电池模块(11)用于为工控机(2)和主控制芯片供电。
4.根据权利要求2所述的一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜，其特征在于，所述分层板(12)对应若干个所述货位模组(3)下方均连接有拼接板(42)，所述拼接板(42)上表面靠近所述外壳(5)两侧连接有滑动框架(41)，所述滑动框架(41)内部下表面开设有若干个均匀分布的嵌合齿槽(43)，所述拼接板(42)前端连接有封堵板(48)，所述封堵板(48)前表面两侧对应所述滑动框架(41)位置处开设有孔洞，孔洞内侧壁通过铰链转动连接有转动门(47)，所述滑动框架(41)内侧壁对应所述转动门(47)位置处开设有转门槽(49)。
5.根据权利要求4所述的一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜，其特征在于，所述滑动框架(41)外侧壁一侧对应所述转动门(47)位置处设有封隔板(44)，所述封隔板(44)外侧壁中间位置处开设有滑板槽(410)，所述滑板槽(410)内侧滑动连接有活动板(45)，所述活动板(45)上下表面均一体成型有限位滑板(46)，所述封隔板(44)外侧壁远离所述活动板(45)位置处开设有通风孔，通风孔内部连接有风扇(412)，所述风扇(412)扇叶转轴上连接有传动转轮(413)，通风孔内部下表面对应传动转轮(413)位置处开设有空腔(414)，所述空腔(414)内部转动连接有转动齿轮一(415)，所述转动齿轮一(415)连接转轴上也连接有传动转轮(413)，两个所述传动转轮(413)通过传动带(411)传动连接，所述活动板(45)下方的限位滑板(46)位置处连接有软齿条，所述空腔(414)内部对应软齿条位置处转动连接有转动齿轮二。
6.一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜管理系统，其特征在于，包括权利要求1-3任一项所述的一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜、服务端和客户端；服务端分别与客户端和工控机(2)通信连接；
7.根据权利要求6所述的一种用于半导体行业的光罩盒智能货柜管理系统，其特征在于，服务端具体包括：
