本技术涉及真空原子沉积包覆领域，具体涉及一种用于ald流化床磁耦合搅拌装置。
背景技术：
1、为防止高压搅拌内的介质泄漏，目前常用具有内外磁转子磁力搅拌装置，通过电机转动驱动外磁转子转动，通过外磁转子驱动内磁转子转动，内磁转子和外磁转子通过隔离套分隔，隔离套与高压反应釜密封连接，内磁转子被封闭在高压反应釜及隔离套的空间内，避免高压反应釜内的介质通过轴封或螺纹孔泄漏。
2、但目前技术中电机以及内外磁转子的安装拆卸不便，往往是一拆卸就引起其他装置的拆卸，并且拆卸时还会破坏反应釜的真空环境。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本实用新型提供了一种用于ald流化床磁耦合搅拌装置，装置可以在300℃真空环境下通过人机界面实时控制下位机plc启动减速电机，减速电机为驱动源，不锈钢同步带胀套轮内部为强磁体，转子为纯铁，通过磁耦合原理驱动转子上连接的搅拌杆搅拌反应釜腔体内的粉尘，电机通过螺钉安装在支撑板上，并通过同步带与外磁胀套轮连接，反应釜安装在法兰下端与转子和外磁胀套轮分离，拆卸式可通过拆卸固定螺钉以及轴承组件来实现电机和内外磁转子的拆卸方便，并且保持反应釜的真空环境。
2、为了实现上述目的，本实用新型采取如下技术方案：
3、一种用于ald流化床磁耦合搅拌装置，包括减速电机、外磁胀套轮、转子、搅拌杆、反应釜、密封套，所述减速电机通过支撑板与密封固定连接，外磁胀套轮可转动套装在密封套的上部，减速电机的输出轴通过同步带驱动外磁胀套轮转动；所述转子可转动的安装在密封套内，转子的下端通过联轴器与搅拌杆可拆卸连接；所述反应釜上端密封连接法兰，法兰上设有一个中心孔及一个连通真空发生器的通孔，密封套下端与法兰中心孔的边缘密封连接，搅拌杆位于反应釜内，反应釜底部通过进气管连通用于原子层沉积设备进气管路。
4、所述支撑板的第一端与外磁胀套轮的下部之间安装有固定挡圈，支撑板的第一端与固定挡圈通过螺钉a连接；支撑板的第二端与减速电机通过螺钉a连接，所述减速电机的输出轴通过平键与同步带轮连接，同步带轮、外磁胀套轮共同被同步带环绕。
5、所述法兰的中心孔边缘与连接套a下端连接，连接套a上端与密封套下端通过密封连接，所述转子选用纯铁，外磁胀套轮内部含有磁铁，密封套选用无磁不锈钢；所述转子上下端通过轴承a转动连接密封套。
6、外磁胀套轮上端连接有轴承组，轴承组包括轴承b和轴承盖，外磁胀套轮与轴承盖通过螺钉b连接，轴承盖的中心孔与密封套间隙配合，外磁胀套轮通过轴承b与密封套转动连接。
7、所述反应釜上端边缘连接固定有连接套b，法兰和连接套b通过紧固连接，法兰与连接套b之间设有被压紧的金属垫片b。
8、本实用新型与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：
9、本实用新型提供的一种用于ald流化床磁耦合搅拌装置，根据实际需求获得具有不同特性薄膜包覆的粉末，通过支撑板以及轴承组和螺钉的锁紧安装可实现外磁胀套轮以及转子的便捷拆卸，反应釜安装在法兰下端与转子和外磁胀套轮分离，电机、转子和外磁套轮拆卸时可不破环反应釜的真空环境。
1.一种用于ald流化床磁耦合搅拌装置，包括减速电机(1)、外磁胀套轮(12)、转子(13)、搅拌杆(23)、反应釜(24)、密封套(25)，其特征在于，所述减速电机(1)通过支撑板(2)与密封套(25)固定连接，外磁胀套轮(12)可转动套装在密封套(25)的上部，减速电机(1)的输出轴通过同步带(6)驱动外磁胀套轮(12)转动；所述转子(13)可转动的安装在密封套(25)内，转子(13)的下端通过联轴器(22)与搅拌杆(23)可拆卸连接；所述反应釜(24)上端密封连接法兰(26)，法兰(26)上设有一个中心孔及一个连通真空发生器的通孔，密封套(25)下端与法兰(26)中心孔的边缘密封连接，搅拌杆(23)位于反应釜(24)内，反应釜(24)底部通过进气管连通用于原子层沉积设备进气管路。
2.根据权利要求1所述的一种用于ald流化床磁耦合搅拌装置，其特征在于，所述支撑板(2)的第一端与外磁胀套轮(12)的下部之间安装有固定挡圈(14)，支撑板(2)的第一端与固定挡圈(14)通过螺钉a(3)连接；支撑板(2)的第二端与减速电机(1)通过螺钉a(3)连接，所述减速电机(1)的输出轴通过平键(5)与同步带轮(4)连接，同步带轮(4)、外磁胀套轮(12)共同被同步带(6)环绕。
3.根据权利要求1所述的一种用于ald流化床磁耦合搅拌装置，其特征在于，所述法兰(26)的中心孔边缘与连接套a(16)下端连接，连接套a(16)上端与密封套(25)下端通过密封连接，所述转子(13)选用纯铁，外磁胀套轮(12)内部含有磁铁，密封套(25)选用无磁不锈钢；所述转子(13)上下端通过轴承a(8)转动连接密封套(25)。
4.根据权利要求1所述的一种用于ald流化床磁耦合搅拌装置，其特征在于，外磁胀套轮(12)上端连接有轴承组，轴承组包括轴承b(10)和轴承盖(11)，外磁胀套轮(12)与轴承盖(11)通过螺钉b(7)连接，轴承盖(11)的中心孔与密封套(25)间隙配合，外磁胀套轮(12)通过轴承b(10)与密封套(25)转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于ald流化床磁耦合搅拌装置，其特征在于，所述反应釜(24)上端边缘连接固定有连接套b(27)，法兰(26)和连接套b(27)通过紧固连接，法兰(26)与连接套b(27)之间设有被压紧的金属垫片b(20)。
