本技术涉及热处理炉，具体为一种半自动高温快速退火设备。
背景技术：
1、在半导体领域，半导体产品加工过程中有一必备工序，那就是退火，在退火过程中，晶圆的位置尤为重要。
2、公开号为cn217361520u公开了一种晶圆烘烤托盘，通过多个垫块构造一个限位区来放置晶圆，再通过滑动垫块改变限位区的尺寸，来适应不同尺寸晶圆的安装。
3、上述现有技术通过垫块滑动来适应不同尺寸晶圆的安装，但各滑块相对独立，在滑动时无法保证每个滑块的移动距离一致，实际使用时需要进行多次调试，且位置确定时需对多组滑块进行固定，固定时存在滑块移动的风险，操作不便，调节效率低，调节结果存在偏差。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种半自动高温快速退火设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
3、一种半自动高温快速退火设备，包括退火炉、门板、石英支架、限位组件和底座，所述门板通过直线驱动装置设置在退火炉的侧面，石英支架安装在门板上且正对着退火炉的退火腔室，石英支架上设有限位组件，其特征在于：
4、所述限位组件包括盖板、联动组件和伸缩杆，盖板位于石英支架上，盖板的内壁径向等角度开设有至少三个径向孔，至少三个联动组件设置在盖板上，伸缩杆一端穿过径向孔与联动组件传动连接，另一端设有底座，其中联动组件用于驱动伸缩杆在盖板的径向上相互靠近或相互远离。
5、优选的，所述限位组件还包括底盘和圆环，所述底盘设置在石英支架上，底盘上设有通孔、弧形槽和支撑柱，其中弧形槽的数量与径向孔相同，盖板设置在支撑柱上，圆环设置在底盘和盖板之间且转动安装在底盘上。
6、优选的，所述盖板一端开设有与径向孔数量相同的直槽，且直槽的中心轴线与径向孔的中心轴线共线，其中一个直槽为贯穿式，其余直槽均为非贯穿式，为贯穿式的直槽的一侧设有限位槽。
7、优选的，所述联动组件包括滑块ⅰ、连接臂、滑块ⅱ和连接杆，其中滑块ⅰ滑动安装在弧形槽内，滑块ⅱ滑动安装在直槽内，连接臂一端与滑块ⅰ相连，另一端与滑块ⅱ相连，伸缩杆穿过孔与滑块ⅱ连接，连接杆一端与滑块ⅰ相连，另一端与圆环的内壁相连。
8、优选的，所述限位组件还包括控制杆，控制杆转动安装在滑块ⅱ上且与限位槽契合。
9、优选的，所述支撑柱设置在连接臂的转动范围之外。
10、优选的，所述底座上设有凸台。
11、优选的，所述石英支架呈框架结构，所述石英支架包括固定脚，固定脚的末端固定安装在门板上，所述石英支架内设有底托，底托上设有限位凸起，其中底盘活动安装在底托上，限位凸起与通孔契合。
12、优选的，所述直线驱动装置为气缸，气缸设置在退火炉的侧面，气缸的动力输出端与门板连接。
13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14、本实用新型通过多组联动组件来实现底座的联动，调节时所有的底座一起移动，减小了调节的工作难度，同时盖板上预设有多个不同尺寸的限位槽，来实现对底座的限位，同时可以快速准确的调节到晶圆所需的限位区，操作更为简单，调节更迅速，调节结果更准确。
1.一种半自动高温快速退火设备，包括退火炉(1)、门板(2)、石英支架(3)、限位组件(4)和底座(5)，所述门板(2)通过直线驱动装置设置在退火炉(1)的侧面，石英支架(3)安装在门板(2)上且正对着退火炉(1)的退火腔室，石英支架(3)上设有限位组件(4)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种半自动高温快速退火设备，其特征在于：所述限位组件(4)还包括底盘(41)和圆环(42)，所述底盘(41)设置在石英支架(3)上，底盘(41)上设有通孔(411)、弧形槽(412)和支撑柱(413)，其中弧形槽(412)与径向孔(432)数量相同，盖板(43)设置在支撑柱(413)上，圆环(42)设置在底盘(41)和盖板(43)之间且转动安装在底盘(41)上。
3.根据权利要求2所述的一种半自动高温快速退火设备，其特征在于：所述盖板(43)一端开设有与径向孔(432)数量相同的直槽(431)，且直槽(431)的中心轴线与径向孔(432)的中心轴线共线，其中一个直槽(431)为贯穿式，其余直槽(431)均为非贯穿式，为贯穿式的直槽(431)的一侧设有限位槽(434)。
4.根据权利要求3所述的一种半自动高温快速退火设备，其特征在于：所述联动组件(44)包括滑块ⅰ(441)、连接臂(442)、滑块ⅱ(443)和连接杆(445)，其中滑块ⅰ(441)滑动安装在弧形槽(412)内，滑块ⅱ(443)滑动安装在直槽(431)内，连接臂(442)一端与滑块ⅰ(441)相连，另一端与滑块ⅱ(443)相连，伸缩杆(47)穿过径向孔(432)与滑块ⅱ(443)连接，连接杆(445)一端与滑块ⅰ(441)相连，另一端与圆环(42)的内壁相连。
5.根据权利要求4所述的一种半自动高温快速退火设备，其特征在于：所述限位组件(4)还包括控制杆(46)，控制杆(46)转动安装在滑块ⅱ(443)上且与限位槽(434)契合。
6.根据权利要求4所述的一种半自动高温快速退火设备，其特征在于：所述支撑柱(413)设置在连接臂(442)的转动范围之外。
7.根据权利要求4所述的一种半自动高温快速退火设备，其特征在于：所述底座(5)上设有凸台(51)。
8.根据权利要求4所述的一种半自动高温快速退火设备，其特征在于：所述石英支架(3)呈框架结构，所述石英支架(3)包括固定脚(31)，固定脚(31)的末端固定安装在门板(2)上，所述石英支架(3)内设有底托(32)，底托(32)上设有限位凸起(33)，其中底盘(41)活动安装在底托(32)上，限位凸起(33)与通孔(411)契合。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种半自动高温快速退火设备，其特征在于：所述直线驱动装置为气缸，气缸设置在退火炉(1)的侧面，气缸的动力输出端与门板(2)连接。
