本技术涉及半导体，尤其涉及一种rps腔体保养操作装置。
背景技术：
1、远程等离子体源(rps)具有很长的设计使用寿命，是腔体清洁的理想之选。远程等离子体源(rps)系统通过传输高浓度反应气体，深度清除氟化气体。远程等离子体源(rps)的清洁方式符合监管或绿色倡议目标的蚀刻气体清除解决方案，还可以减少沉积过程中的微粒，提高设备的使用寿命。
2、远程等离子体源(rps)本身也具备腔体，同样需要清洁和保养，然而rps腔体的保养存在着多方面问题：其一：腔体清洗完成后，腔体中残留的水渍会导致腔体的二次污染；其二：对腔体内部进行干燥处理时，腔体内温度难以控制，温度过高容易损坏腔体；其三：难以控制清洗腔体的水量，水量过小会导致水与污渍之间的留白太多，污渍难以溶于水，水量过大又会压缩污渍的震动空间，不仅清洁效果差还会对超声波模块造成负担。所以，如何更高效、全面的解决问题成了工程师困状的难题。
技术实现思路
1、为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种rps腔体保养操作装置，包括rps设备，所述rps设备外围还设置有吹扫模块、控温模块和水量控制模块，所述吹扫模块、所述控温模块和所述水量控制模块均通过管道与所述rps设备的腔体相连，所述吹扫模块设有气动阀，所述控温模块设置有温度传感设定器，所述水量控制模块设置有流量计。
2、进一步的，所述水量控制模块还配套设置有抽水模块，所述抽水模块设置有抽水泵、出水口球阀开关、气动阀和一号压力计，所述抽水泵、所述出水口球阀开关、所述气动阀和所述一号压力计之间通过管道依次相连，所述一号压力计通过管道与所述rps设备的腔体相连。
3、进一步的，所述吹扫模块设置有一号支路和二号支路，所述一号支路上设置有抽气泵和真空压力计，所述抽气泵和所述真空压力计之间通过管道相连，所述二号支路上设置有二号气动阀和一号流量计，所述二号气动阀和所述流量计之间通过管路相连，所述一号支路和所述二号支路通过管路相会并与所述rps设备的腔体相连。
4、进一步的，所述吹扫模块与所述rps设备之间还设置有三号气动阀，所述三号气动阀通过管道分别与所述吹扫模块和所述rps设备相连。
5、进一步的，所述水量控制模块包括有冰水机、进水口球阀开关和二号流量计，所述冰水机、所述进水口球阀开关和所述二号流量计之间通过管道依次相连，所述二号流量计还连接有压力调节阀和二号压力计，所述二号流量计、所述压力调节阀和所述二号压力计之间相连，并且所述二号压力计通过管道与所述rps设备相连。
6、进一步的，所述二号流量计和所述压力调节阀之间还设置有四号气动阀。
7、进一步的，所述控温模块包括有温度传感设定器，所述温度传感设定器通过管道与所述rps设备相连。
8、进一步的，所述控温模块还包括有风扇和电机，所述风扇与所述温度传感设定器之间电性相连，所述风扇与所述电机之间电性相连。
9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
10、1、本实用新型设计有吹扫模块，吹扫模块中设计有气动阀，将压缩空气通入气动阀，气动阀打开，压缩空气通过气动阀进入腔体，对腔体表面残余水渍进行吹扫，使得rps腔体保持干净，解决了残留水渍二次污染的问题。
11、2、本实用新型设计有水量控制模块，水量控制模块中设置有二号压力计和压力调节阀，压力计监测水流压力，压力调节阀按照压力计的参数调节水流大小，达到控制水量的目的，解决了控制水量的问题。
12、3、本实用新型还设计有控温模块，控温模块设计有温度传感设定器、风扇和电机，温度传感设定器检测rps腔体内的温度，控制风扇的停转，从而达到控温的目的，解决了腔体内温度控制的难题。
13、4、另外本实用新型还设置有抽水模块，抽水模块与水量控制模块搭配使用，将rps腔体中清洁后的污水排出，抽水模块中还设计了压力计和一号气动阀，压力计和出水口球阀开关配合使用控制出水口腔体内的水流压力，保证水压不会破坏腔体，一号气动阀向管道内通入压缩空气，平衡管道内和管道外的大气压，减轻腔体壁的压力，保护腔体的机械结构强度。
1.一种rps腔体保养操作装置，其特征在于：包括rps设备，所述rps设备外围还设置有吹扫模块、控温模块和水量控制模块，所述吹扫模块、所述控温模块和所述水量控制模块均通过管道与所述rps设备的腔体相连，所述吹扫模块设置有气动阀，所述控温模块设置有温度传感设定器，所述水量控制模块设置有流量计。
2.根据权利要求1所述的rps腔体保养操作装置，其特征在于：所述水量控制模块还配套设置有抽水模块，所述抽水模块设置有抽水泵、出水口球阀开关、气动阀和一号压力计，所述抽水泵、所述出水口球阀开关、所述气动阀和所述一号压力计之间通过管道依次相连，所述一号压力计通过管道与所述rps设备的腔体相连。
3.根据权利要求1所述的rps腔体保养操作装置，其特征在于：所述吹扫模块设置有一号支路和二号支路，所述一号支路上设置有抽气泵和真空压力计，所述抽气泵和所述真空压力计之间通过管道相连，所述二号支路上设置有二号气动阀和一号流量计，所述二号气动阀和所述流量计之间通过管路相连，所述一号支路和所述二号支路通过管路相会并与所述rps设备的腔体相连。
4.根据权利要求3所述的rps腔体保养操作装置，其特征在于：所述吹扫模块与所述rps设备之间还设置有三号气动阀，所述三号气动阀通过管道分别与所述吹扫模块和所述rps设备相连。
5.根据权利要求1所述的rps腔体保养操作装置，其特征在于：所述水量控制模块包括有冰水机、进水口球阀开关和二号流量计，所述冰水机、所述进水口球阀开关和所述二号流量计之间通过管道依次相连，所述二号流量计还连接有压力调节阀和二号压力计，所述二号流量计、所述压力调节阀和所述二号压力计之间相连，并且所述二号压力计通过管道与所述rps设备相连。
6.根据权利要求5所述的rps腔体保养操作装置，其特征在于：所述二号流量计和所述压力调节阀之间还设置有四号气动阀。
7.根据权利要求1所述的rps腔体保养操作装置，其特征在于：所述控温模块包括有温度传感设定器，所述温度传感设定器通过管道与所述rps设备相连。
8.根据权利要求1所述的rps腔体保养操作装置，其特征在于：所述控温模块还包括有风扇和电机，所述风扇与所述温度传感设定器之间电性相连，所述风扇与所述电机之间电性相连。
