本申请涉及集成电路，特别是涉及一种探针台t轴旋转中心确定方法、装置和电子设备。
背景技术：
1、随着集成电路技术的快速发展，芯片封装测试技术也在不断创新。探针台作为芯片测试的重要设备，其主要包括晶圆载物台、卡盘、机械手、相机等，其中，晶圆载物台将卡盘定位在x轴、y轴、z轴和theta(θ)轴上，本文中将theta轴简称为t轴。
2、在使用探针台对晶圆扎针时，为了确保扎针的准确性，需要t轴旋转到正确的位置。而晶圆在旋转之后的物理坐标产生变化，为了计算实际的晶粒位置，需要知道晶圆旋转时的旋转中心(也就是旋转轴心)所在。受制于组装精度，机械组装无法精确地将chuck(卡盘)物理中心定位到旋转轴心上，因此，t轴旋转中心并非chuck物理中心；如果直接采用chuck中心作为t轴旋转中心，那么t轴定位精度的实际旋转中心就会与理论旋转中心不一致，从而产生一定误差。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够准确确定t轴旋转中心的探针台t轴旋转中心确定方法、装置和电子设备。
2、一种探针台t轴旋转中心确定方法，包括：
3、获取置于载物台的晶圆上多个标记点的理论坐标；
4、t轴旋转后、对所述晶圆上的所述标记点进行模板匹配，得到对应t轴角度下所述标记点的匹配坐标；
5、根据各标记点的理论坐标与同一标记点的匹配坐标，分别计算对应t轴角度下各标记点的所述理论坐标与对应匹配坐标的中间位置坐标；
6、根据各标记点的理论坐标、各标记点的匹配坐标以及各标记点对应的中间位置坐标，计算对应t轴角度下的旋转中心坐标。
7、一种探针台t轴旋转中心确定装置，包括：
8、实际坐标获取模块，用于获取置于载物台的晶圆上多个标记点的理论坐标；
9、匹配坐标获取模块，用于t轴旋转后、对所述晶圆上的所述标记点进行模板匹配，得到对应t轴角度下所述标记点的匹配坐标；
10、中间位置坐标计算模块，用于根据各标记点的理论坐标与同一标记点的匹配坐标，分别计算对应t轴角度下各标记点的所述理论坐标与对应匹配坐标的中间位置坐标；
11、旋转中心坐标计算模块，用于根据各标记点的理论坐标、各标记点的匹配坐标以及各标记点对应的中间位置坐标，计算对应t轴角度下的旋转中心坐标。
12、一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如下步骤：
13、获取置于载物台的晶圆上多个标记点的理论坐标；
14、t轴旋转后、对所述晶圆上的所述标记点进行模板匹配，得到对应t轴角度下所述标记点的匹配坐标；
15、根据各标记点的理论坐标与同一标记点的匹配坐标，分别计算对应t轴角度下各标记点的所述理论坐标与对应匹配坐标的中间位置坐标；
16、根据各标记点的理论坐标、各标记点的匹配坐标以及各标记点对应的中间位置坐标，计算对应t轴角度下的旋转中心坐标。
17、上述探针台t轴旋转中心确定方法、装置和电子设备，通过根据晶圆上标记点的理论坐标，以及t轴旋转对应的t轴角度下对标记点模板匹配得到的匹配坐标，计算标记点的理论坐标对应t轴角度下匹配坐标的中间位置坐标，最后根据标记点的理论坐标、t轴角度对应的匹配坐标和中间位置坐标，计算得到对应t轴角度下的旋转中心坐标；如此，实现了t轴旋转的旋转中心坐标的计算，相比于直接采用chuck中心作为t轴旋转中心，准确性更高。
1.一种探针台t轴旋转中心确定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取置于载物台的晶圆上多个标记点的理论坐标，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述t轴旋转后、对所述晶圆上的所述标记点进行模板匹配，得到对应t轴角度下所述标记点的匹配坐标，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述当前t轴角度、所述初始标定t轴角度以及各标记点的理论坐标，获取所述晶圆上各标记点旋转后的坐标，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据各标记点的理论坐标与同一标记点的匹配坐标，分别计算对应t轴角度下各标记点的所述理论坐标与对应匹配坐标的中间位置坐标，包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据各标记点的理论坐标、各标记点的匹配坐标以及各标记点对应的中间位置坐标，计算对应t轴角度下的旋转中心坐标，包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述分别根据各标记点的理论坐标和同一标记点的匹配坐标，计算各标记点对应的斜率，包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述标记点包括第一标记点和第二标记点，所述第一标记点对应的斜率为第一斜率，所述第二标记点对应的斜率为第二斜率；所述根据各标记点的斜率和各标记点对应的中间位置坐标，计算对应t轴角度下的旋转中心坐标，包括：
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述第一标记点与所述晶圆中心的连线、和所述第二标记点与所述晶圆中心的连线呈90°。
10.根据权利要求1-9中任意一项所述的方法，其特征在于，所述根据各标记点的理论坐标、各标记点的匹配坐标以及各标记点对应的中间位置坐标，计算对应t轴角度下的旋转中心坐标之后，还包括：
11.一种探针台t轴旋转中心确定装置，其特征在于，包括：
12.一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至10中任一项所述的方法的步骤。
