本技术涉及真空镀膜的,特别是涉及一种使用卤素灯为加热源的加热装置。
背景技术:
1、真空镀膜设备中,为了加速真空环境的获得和镀膜的稳定性,常常需要一定的温度环境加以辅助,真空腔体内的加热机构是一种常用的机构。其设计时需要考虑温度提升效率和应对镀膜污染等方面的性能要求,还要满足日常清洁的便利性,现有技术中的加热源结构较为复杂,热量不集中,升温效率有待提高。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题,本实用新型提供一种使用卤素灯为加热源的加热装置,其结构简单紧凑,热量集中、升温效率高制造和维护成本低。
2、本实用新型的一种使用卤素灯为加热源的加热装置,包括外护板、透明玻璃、内护板、灯座、反射板和挡板,外护板为内部中空且顶部开口的箱体,内护板为内部中空且顶部开口的箱体,透明玻璃设置在内护板的开口处,内护板紧贴外护板的内壁,并在内护板一个侧壁安装挡板,挡板另一侧与外护板内壁接触;
3、内护板内底部两侧均固定有安装柱,灯座为两个,灯座设置在安装柱上,灯座设置有一定数量的接口,接口用于安装卤素灯,反射板固定在内护板内,反射板为内部中空且顶部开口的箱体,且反射板内底部处于卤素灯下方。
4、进一步地,内护板内部固定有定位板,所述透明玻璃搭在定位板上,并且内护板固定有固定片,固定片与透明玻璃顶部接触。
5、进一步地,内护板处于外护板外部一端设置有倾斜反射面。
6、进一步地,反射板沿长度方向的两个侧面为倾斜状。
7、进一步地,反射板与内护板的连接处设置有削减热量传递的陶瓷垫片。
8、进一步地,反射板内底部开设通孔。
9、进一步地,灯座与内护板的安装位上设置有绝缘层。
10、进一步地,反射板内底部为平面。
11、与现有技术相比本实用新型的有益效果为:本装置结构简单,叠加倾斜反射面以及反射板的倾斜面,使得热量更加集中,升温更快,并且整个外护板为整个加热机构提供防污染保护,使得本装置不易受到环境影响。
1.一种使用卤素灯为加热源的加热装置,其特征在于,包括外护板(1)、透明玻璃(2)、内护板(3)、灯座(4)、反射板(5)和挡板(6),外护板(1)为内部中空且顶部开口的箱体,内护板(3)为内部中空且顶部开口的箱体,透明玻璃(2)设置在内护板(3)的开口处,内护板(3)紧贴外护板(1)的内壁,并在内护板(3)一个侧壁安装挡板(6),挡板(6)另一侧与外护板(1)内壁接触;
2.如权利要求1所述的一种使用卤素灯为加热源的加热装置,其特征在于,内护板(3)内部固定有定位板(8),所述透明玻璃(2)搭在定位板(8)上,并且内护板(3)固定有固定片(9),固定片(9)与透明玻璃(2)顶部接触。
3.如权利要求2所述的一种使用卤素灯为加热源的加热装置,其特征在于,内护板(3)处于外护板(1)外部一端设置有倾斜反射面。
4.如权利要求3所述的一种使用卤素灯为加热源的加热装置,其特征在于,反射板(5)沿长度方向的两个侧面为倾斜状。
5.如权利要求4所述的一种使用卤素灯为加热源的加热装置,其特征在于,反射板(5)与内护板(3)的连接处设置有削减热量传递的陶瓷垫片。
6.如权利要求5所述的一种使用卤素灯为加热源的加热装置,其特征在于,反射板(5)内底部开设通孔。
7.如权利要求6所述的一种使用卤素灯为加热源的加热装置,其特征在于,灯座(4)与内护板(3)的安装位上设置有绝缘层。
8.如权利要求7所述的一种使用卤素灯为加热源的加热装置,其特征在于,反射板(5)内底部为平面。
