本技术涉及加工设备，具体涉及一种定位装置及包括该定位装置的倒角机。
背景技术：
1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。
2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有倒角机对晶圆进行倒角加工的过程中，需要通过取料装置将料盒中的晶圆转移至检测装置上，通过检测装置来检测晶圆的中心点位置。为了保证对晶圆的加工质量，每隔一段时间需要对取料装置的料叉的伸出长度进行校准，以避免料叉的实际伸出长度与设定伸出长度具有较大误差，在进行校准时，需要将晶圆放置到晶圆定位装置上，通过晶圆定位装置对晶圆进行定位，然而，现有的晶圆定位装置仅能够对一种固定尺寸的晶圆进行定位，导致晶圆定位装置的适用范围较小，影响用户的使用体验。
3、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。
技术实现思路
1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有倒角机的晶圆定位装置的适用范围小的技术问题。
2、在第一方面，本技术提供了一种定位装置，所述定位装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一夹紧组件、第二夹紧组件和驱动组件，
3、所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件沿第一水平方向相对设置，所述驱动组件与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件驱动连接且能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向相向移动以将晶圆夹紧，所述驱动组件还能够驱动所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件同步沿所述第一水平方向反向移动。
4、在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一夹紧组件朝向所述第二夹紧组件的一侧设有第一定位槽，所述第二夹紧组件朝向所述第一夹紧组件的一侧设有第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。
5、在上述定位装置的优选技术方案中，所述驱动组件包括驱动机构、沿所述第一水平方向延伸的第一齿条、沿所述第一水平方向延伸的第二齿条和齿轮，
6、所述驱动机构与所述第一夹紧组件连接且能够驱动所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向移动，所述第一齿条和所述第二齿条分别与所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件连接，所述第一齿条和所述第二齿条沿第二水平方向间隔分布，所述第二水平方向与所述第一水平方向垂直，所述齿轮可转动的安装在所述固定构件上且位于所述第一齿条和所述第二齿条之间且与所述第一齿条和所述第二齿条啮合。
7、在上述定位装置的优选技术方案中，所述驱动机构包括驱动气缸、沿所述第一水平方向延伸的弹性复位构件以及与所述第一夹紧组件连接的推动构件，
8、所述驱动气缸与所述推动构件连接且能够驱动所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向远离所述第二夹紧组件移动，所述弹性复位构件的两端分别与所述固定构件和所述推动构件连接，所述弹性复位构件在所述驱动气缸解除驱动后能够使所述推动构件带着所述第一夹紧组件沿所述第一水平方向靠近所述第二夹紧组件移动。
9、在上述定位装置的优选技术方案中，所述固定构件上设有第一连接结构，所述推动构件上设有第二连接结构，所述弹性复位构件的两端分别与所述第一连接结构和所述第二连接结构连接，所述第一连接结构与所述第二连接结构沿所述第一水平方向之间的初始距离可调节。
10、在上述定位装置的优选技术方案中，所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述安装孔沿所述第一水平方向贯穿所述推动构件，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述螺纹段穿过所述安装孔且所述螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母，所述调节螺母靠近所述连接杆的第一端的一侧抵靠于所述推动构件；或者
11、所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述安装孔的内壁上设有与所述螺纹段相适配的螺纹，所述螺纹段通过所述螺纹与所述安装孔螺接固定。
12、在上述定位装置的优选技术方案中，所述固定构件包括水平设置的底板、水平设置的承载板以及竖直设置的支撑柱，
13、所述底板和所述承载板沿竖直方向间隔分布且所述底板位于所述承载板的下方，所述支撑柱的底端和顶端分别与所述底板和所述承载板固定连接或一体设置，所述承载板用于承载晶圆，所述第一定位槽和所述第二定位槽位于所述承载板的上方，所述驱动机构安装在所述底板上，所述第一齿条、所述第二齿条和所述齿轮位于所述底板与所述承载板之间。
14、在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一夹紧组件包括第一夹紧构件和第一连接构件，所述第一夹紧构件位于所述承载板的上方，所述第一定位槽设于所述第一夹紧构件，所述第一连接构件用于将所述第一夹紧构件与所述第一齿条固定连接，所述驱动机构与所述第一连接构件连接；所述第二夹紧组件包括第二夹紧构件和第二连接构件，所述第二夹紧构件位于所述承载板的上方，所述第二定位槽设于所述第二夹紧构件，所述第二连接构件用于将所述第二夹紧构件与所述第二齿条固定连接。
15、在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一连接构件包括水平设置的第一连接板和竖直设置的第一连接柱，所述第一连接板位于所述底板与所述承载板之间且与所述第一齿条固定连接，所述承载板在与所述第一连接柱对应的位置设有沿所述第一水平方向延伸的第一通孔，所述第一连接柱的底端与所述第一连接板固定连接或一体设置，所述第一连接柱的顶端穿过所述第一通孔与所述第一夹紧构件固定连接或一体设置，所述驱动机构与所述第一连接板连接；所述第二连接构件包括水平设置的第二连接板和竖直设置的第二连接柱，所述第二连接板位于所述底板与所述承载板之间且与所述第二齿条固定连接，所述承载板在与所述第二连接柱对应的位置设有沿所述第一水平方向延伸的第二通孔，所述第二连接柱的底端与所述第二连接板固定连接或一体设置，所述第二连接柱的顶端穿过所述第二通孔与所述第二夹紧构件固定连接或一体设置。
16、在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一夹紧构件上设有第一孔位，所述第一孔位的数量至少为两个且沿所述第一水平方向间隔分布，所述第一连接柱的顶端与所述第一孔位固定连接；所述第二夹紧构件上设有第二孔位，所述第二孔位的数量至少为两个且沿所述第一水平方向间隔分布，所述第二连接柱的顶端与所述第二孔位固定连接。
17、在上述定位装置的优选技术方案中，所述定位装置还包括设于所述固定构件与所述第一夹紧组件之间的第一导向机构以及设于所述固定构件与所述第二夹紧组件之间的第二导向机构，所述第一导向机构和所述第二导向机构分别在所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件移动时对所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件进行导向。
18、在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一导向机构包括相配合第一导向构件和第二导向构件，所述第一导向构件与所述固定构件连接，所述第二导向构件与所述第一夹紧组件连接；所述第二导向机构包括相配合第三导向构件和第四导向构件，所述第三导向构件与所述固定构件连接，所述第四导向构件与所述第二夹紧组件连接。
19、在上述定位装置的优选技术方案中，所述第一导向构件和所述第三导向构件均为沿所述第一水平方向延伸的导轨，所述第二导向构件和所述第四导向构件均为与所述导轨相适配的导向块。
20、在第二方面，本技术还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的定位装置。
21、在采用上述技术方案的情况下，本实用新型的定位装置通过采用两组相对设置且能够同步相向移动和同步反向移动的夹紧组件来对晶圆夹紧定位，能够适用多种不同尺寸的晶圆，极大地提升了定位装置的适用范围。
22、进一步地，本实用新型的定位装置通过在第一夹紧组件和第二夹紧组件上分别设置第一定位槽和第二定位槽对晶圆进行夹紧定位，能够提高定位的准确性。
23、又进一步地，本实用新型的定位装置通过采用弹性复位构件的弹性恢复力使第一夹紧组件和第二夹紧组件将晶圆夹紧，能够避免出现因为夹紧力过大而导致晶圆受损的情况出现。
24、又进一步地，本实用新型的定位装置通过将第一连接结构与第二连接结构沿x方向之间的初始距离设置为可调节的，使得本实用新型的定位装置能够适用更多不同尺寸的晶圆，从而进一步提高定位装置的适用范围。
25、又进一步地，本实用新型的定位装置通过设置沿竖直方向间隔分布的底板和承载板将竖向空间划分为三层安装空间，便于各结构的安装布置。
26、又进一步地，本实用新型的定位装置通过在第一夹紧构件和第二夹紧构件上分别设置至少两个间隔分布的第一孔位和第二孔位，使得本实用新型的定位装置能够适用更多不同尺寸的晶圆，从而进一步提高定位装置的适用范围。
1.一种定位装置，其特征在于，所述定位装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的第一夹紧组件、第二夹紧组件和驱动组件，
2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述第一夹紧组件朝向所述第二夹紧组件的一侧设有第一定位槽，所述第二夹紧组件朝向所述第一夹紧组件的一侧设有第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽分别与晶圆两侧的边缘抵接以将晶圆夹紧。
3.根据权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动机构、沿所述第一水平方向延伸的第一齿条、沿所述第一水平方向延伸的第二齿条和齿轮，
4.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动气缸、沿所述第一水平方向延伸的弹性复位构件以及与所述第一夹紧组件连接的推动构件，
5.根据权利要求4所述的定位装置，其特征在于，所述固定构件上设有第一连接结构，所述推动构件上设有第二连接结构，所述弹性复位构件的两端分别与所述第一连接结构和所述第二连接结构连接，所述第一连接结构与所述第二连接结构沿所述第一水平方向之间的初始距离可调节。
6.根据权利要求5所述的定位装置，其特征在于，所述第二连接结构为沿所述第一水平方向设置的连接杆，所述推动构件上设有安装孔，所述安装孔沿所述第一水平方向贯穿所述推动构件，所述连接杆的第一端与所述弹性复位构件连接，所述连接杆在靠近其第二端的位置设有螺纹段，所述螺纹段穿过所述安装孔，所述螺纹段上安装有与其螺接配合的调节螺母，所述调节螺母靠近所述连接杆的第一端的一侧抵靠于所述推动构件；或者
7.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述固定构件包括水平设置的底板、水平设置的承载板以及竖直设置的支撑柱，
8.根据权利要求7所述的定位装置，其特征在于，所述第一夹紧组件包括第一夹紧构件和第一连接构件，所述第一夹紧构件位于所述承载板的上方，所述第一定位槽设于所述第一夹紧构件，所述第一连接构件用于将所述第一夹紧构件与所述第一齿条固定连接，所述驱动机构与所述第一连接构件连接；
9.根据权利要求8所述的定位装置，其特征在于，所述第一连接构件包括水平设置的第一连接板和竖直设置的第一连接柱，所述第一连接板位于所述底板与所述承载板之间且与所述第一齿条固定连接，所述承载板在与所述第一连接柱对应的位置设有沿所述第一水平方向延伸的第一通孔，所述第一连接柱的底端与所述第一连接板固定连接或一体设置，所述第一连接柱的顶端穿过所述第一通孔与所述第一夹紧构件固定连接或一体设置，所述驱动机构与所述第一连接板连接；
10.根据权利要求9所述的定位装置，其特征在于，所述第一夹紧构件上设有第一孔位，所述第一孔位的数量至少为两个且沿所述第一水平方向间隔分布，所述第一连接柱的顶端与所述第一孔位固定连接；
11.根据权利要求1至10中任一项所述的定位装置，其特征在于，所述定位装置还包括设于所述固定构件与所述第一夹紧组件之间的第一导向机构以及设于所述固定构件与所述第二夹紧组件之间的第二导向机构，所述第一导向机构和所述第二导向机构分别用于对所述第一夹紧组件和所述第二夹紧组件进行导向。
12.根据权利要求11所述的定位装置，其特征在于，所述第一导向机构包括相配合第一导向构件和第二导向构件，所述第一导向构件与所述固定构件连接，所述第二导向构件与所述第一夹紧组件连接；
13.根据权利要求12所述的定位装置，其特征在于，所述第一导向构件和所述第三导向构件均为沿所述第一水平方向延伸的导轨，所述第二导向构件和所述第四导向构件均为与所述导轨相适配的导向块。
14.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至13中任一项所述的定位装置。
