一种用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片及其制备方法

    专利2025-12-15  3


    本发明涉及半导体器件,具体涉及一种用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片及其制备方法。


    背景技术:

    1、由于地势复杂,同一地区可能同时兼具多种地形地貌。不同的地域特征所需的光学瞄准镜会有差异:比如沙漠或山地环境绿点会更清晰,丛林红点会更清晰;再比如有的城市中背景环境适合红色,有些城市中背景环境适合绿点。如果为每一种使用场景单独配备一种颜色的光学瞄准镜,会大大增加成本。

    2、现有的多色切换的光学瞄准镜通过不同颜色的光源切换来实现图形颜色的切换,而光源的切换需要机械切换装置来实现,机械切换装置的设置不但使得枪械体积及成本均增大,也无法保证切换的快速性和稳定性。


    技术实现思路

    1、针对现有光学瞄准镜使用场景单一和多色切换难度高的问题,本发明提供一种用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片及其制备方法,可在无机械切换装置的情况下实现图形颜色的无阻切换。

    2、本发明通过以下技术方案实现:

    3、一种用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片,包括外延片;所述外延片自下而上依次包括衬底、底层外延层、有源层和顶层外延层;所述外延片的表面设置有刻蚀区和若干个同心布置的发射不同颜色光的一级发光区,所述刻蚀区铺设有绝缘介质层,所述绝缘介质层自顶层外延层延伸至底层外延层;各一级发光区之间由绝缘介质层隔开,对应每个一级发光区在顶层外延层上设置有电极;设一级发光区的个数为m,至少m-1个一级发光区对应位置的顶层外延层上设置有与一级发光区的发射光颜色对应的荧光膜层。

    4、优选的,若干个一级发光区的形状均为圆环形且各圆环形的直径相同;各一级发光区分别沿周向设置有多个二级发光区,发射不同颜色光的二级发光区交替布置,相邻两个二级发光区之间通过绝缘介质层隔开,对应每个二级发光区在顶层外延层上设置有电极。

    5、优选的,所述一级发光区的形状为圆形、圆环形或十字形。

    6、优选的,各一级发光区中,发射光的波长最短的一级发光区对应位置的顶层外延层上不设置荧光膜层,其余一级发光区对应位置的顶层外延层上设置有与一级发光区的发射光颜色对应的荧光膜层。

    7、优选的,所述有源层的材料为ingan、algan和gan中的一种或多种。

    8、优选的,所述电极为金属电极,所述金属电极的材料为金、银、镍、铝、铬、钛和铜中的一种或多种。

    9、所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片的制备方法,包括:

    10、s1,在外延片上涂覆光刻胶,通过光刻定义出刻蚀区和非刻蚀区,所述非刻蚀区与一级发光区位置对应;

    11、s2,刻蚀掉刻蚀区的顶层外延层、有源层及部分底层外延层,去除剩余的光刻胶;

    12、s3,在s2得到的外延片上刻蚀区制备绝缘介质层;

    13、s4,在s3得到的外延片上涂覆光刻胶,根据一级发光区,通过光刻定义出电极覆盖区域,并在电极覆盖区域制备电极,去除剩余的光刻胶;

    14、s5,设一级发光区的个数为m,在至少m-1个一级发光区对应位置的顶层外延层上制备与一级发光区的发射光颜色对应的荧光膜层。

    15、优选的,s5中,所述制备与一级发光区的发射光颜色对应的荧光膜层,具体为:

    16、将荧光粉混入硅胶或光刻胶中,得到的混合液涂覆在s4得到的外延片上,通过光刻在一级发光区对应位置的顶层外延层上制备与一级发光区的发射光颜色对应的荧光膜层。

    17、优选的,所述荧光粉为yag荧光粉或量子点荧光粉。

    18、一种光学瞄准镜,包括光源,所述光源为所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片。

    19、与现有技术相比,本发明具有如下的有益效果:

    20、本发明在发光芯片中同心设置了若干个发射不同颜色光的发光区,该发光芯片作为光源应用于光学瞄准镜中时,通过控制不同发光区发光即可切换图形颜色,从而可以在无需设置机械切换装置的情况下实现不同颜色光的无阻切换,解决了受传统分光镜对光源位置的限制(必须与光轴重合),需要复杂的机械切换装置才能实现不同颜色光切换带来的问题。

    21、进一步的,各一级发光区分别沿周向设置有多个二级发光区,发射不同颜色光的二级发光区交替布置,从而能在不改变图形尺寸的情形下,实现图形颜色的变化。

    22、进一步的,各一级发光区的形状为圆形、圆环形或十字形,从而能在改变颜色的同时改变图形形状及尺寸。

    23、本发明用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片的制备方法,工艺简单,制备效率高。



    技术特征:

    1.一种用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片,其特征在于,包括外延片(1);所述外延片(1)自下而上依次包括衬底(11)、底层外延层(12)、有源层(13)和顶层外延层(14);所述外延片(1)的表面设置有刻蚀区和若干个同心布置的发射不同颜色光的一级发光区,所述刻蚀区铺设有绝缘介质层(3),所述绝缘介质层(3)自顶层外延层(14)延伸至底层外延层(12);各一级发光区之间由绝缘介质层(3)隔开,对应每个一级发光区在顶层外延层(14)上设置有电极(4);设一级发光区的个数为m,至少m-1个一级发光区对应位置的顶层外延层(14)上设置有与一级发光区的发射光颜色对应的荧光膜层(5)。

    2.根据权利要求1所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片,其特征在于,若干个一级发光区的形状均为圆环形且各圆环形的直径相同;各一级发光区分别沿周向设置有多个二级发光区,发射不同颜色光的二级发光区交替布置,相邻两个二级发光区之间通过绝缘介质层(3)隔开,对应每个二级发光区在顶层外延层(14)上设置有电极(4)。

    3.根据权利要求1所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片,其特征在于,所述一级发光区的形状为圆形、圆环形或十字形。

    4.根据权利要求1所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片,其特征在于,各一级发光区中,发射光的波长最短的一级发光区对应位置的顶层外延层(14)上不设置荧光膜层(5),其余一级发光区对应位置的顶层外延层(14)上设置有与一级发光区的发射光颜色对应的荧光膜层(5)。

    5.根据权利要求1所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片,其特征在于,所述有源层(13)的材料为ingan、algan和gan中的一种或多种。

    6.根据权利要求1所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片,其特征在于,所述电极(4)为金属电极,所述金属电极的材料为金、银、镍、铝、铬、钛和铜中的一种或多种。

    7.权利要求1所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片的制备方法,其特征在于,包括:

    8.根据权利要求7所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片的制备方法,其特征在于,s5中,所述制备与一级发光区的发射光颜色对应的荧光膜层(5),具体为:

    9.根据权利要求8所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片的制备方法,其特征在于,所述荧光粉为yag荧光粉或量子点荧光粉。

    10.一种光学瞄准镜,其特征在于,包括光源,所述光源为权利要求1-6任一项所述的用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片。


    技术总结
    本发明属于半导体器件技术领域,提供一种用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片及其制备方法,所述发光芯片包括外延片;外延片自下而上依次包括衬底、底层外延层、有源层和顶层外延层;外延片的表面设置有刻蚀区和若干个同心布置的发射不同颜色光的一级发光区,刻蚀区铺设有绝缘介质层;各一级发光区之间由绝缘介质层隔开,对应每个一级发光区在顶层外延层上设置有电极;设一级发光区的个数为m,至少m‑1个一级发光区对应位置的顶层外延层上设置有对应颜色光的荧光膜层。本发明发光芯片作为光源应用于光学瞄准镜中时,通过控制不同发光区发光即可切换图形颜色,在无需设置机械切换装置的情况下实现不同颜色光的无阻切换。

    技术研发人员:田振寰,云峰,许创铖,孙秦悦,户峰,李峰,朱建,刘甫,王旭正,张佳栋,于昂肃,韦杰铭
    受保护的技术使用者:西安交通大学
    技术研发日:
    技术公布日:2024/4/29
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