CIS探针卡进光调节结构及CIS探针卡的制作方法

    专利2025-11-17  3


    本技术涉及cis探针卡,具体涉及一种cis探针卡进光调节结构及cis探针卡。


    背景技术:

    1、现有cis探针无相关装置对光源的光线进行有效调节,光线先射到探针卡上面,再会被其它相关物件遮挡或折射,造成光线散射和阴影,尤其是阴影会遮挡了射向镜头的光线,影响芯片测试。

    2、应该注意,上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明,并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。


    技术实现思路

    1、为克服上述缺点,本实用新型的目的在于提供一种cis探针卡进光调节结构及cis探针卡,通过聚光孔对光源的光线进行聚拢,同时通过调节聚光孔和光源的距离来控制进光量,从而解决上述技术问题。

    2、为了达到以上目的,本实用新型采用的技术方案是:一种cis探针卡进光调节结构,所述进光调节结构包括:

    3、支撑座,所述支撑座上安装光源;

    4、光圈架,所述光圈架上开设有聚光孔,所述聚光孔可对光源发射的光进行聚拢,使所述光源射出的光线穿过所述聚光孔后直接引导至芯片感光区域上方的镜头上;

    5、所述支撑座和所述光圈架之间设置有高度调节机构,所述高度调节机构用于调节所述光圈架在所述支撑座上的安装高度。

    6、本实用新型的有益效果为:本方案设计的一种cis探针卡进光调节结构,通过在光源和镜头之间设置光圈架,并在光圈架上开设聚光孔,通过聚光孔将限制光源发出的光方向进行聚拢,将光直接引导到芯片感光区域上方的镜头上;同时,通过高度调节机构调节光圈架的高度,从而调整聚光孔与光源之间的距离,控制并调节进光量,从而有效地提高芯片的测试精度

    7、进一步地,所述高度调节机构包括开设在所述光圈架上的螺纹孔、穿过所述螺纹孔且底端固定于所述支撑座上的调节螺丝;高度调节机构的调节原理为:光圈架上的螺纹孔与调节螺丝的螺纹面形成配合,而调节螺丝底端插入支撑座的深度时固定不变的,所以当在转动调节螺丝时,调节螺丝上下位置不会发生变动,而相对的光圈架会进行上下升降,从而调节光圈架在支撑座上的安装高度,以此来调整光圈架上聚光孔与光源之间的距离,离光源越近,通过聚光孔的光量越多;离光源越远,通过聚光孔的光量越少,以此控制并调节进光量;

    8、进一步地,所述聚光孔为阶梯型沉孔,所述聚光孔的孔径随与光源的距离增大而逐渐变小;通过大到小的阶梯型沉孔,将限制光源发出的光方向进行聚拢,并消除影响镜头的阴影。

    9、进一步地,所述光圈架为矩形框架结构,且在所述光源架上均匀开设有若干个聚光孔;根据被测芯片感光面域和同时测试的芯片数量及相应的布局来确定光圈架上开设的聚光孔数量。

    10、进一步地,所述支撑座上开设有安装槽,所述光圈架安装在所述安装槽内,所述光源位于所述光圈架的上方;光圈架安装在安装槽内更加稳固。

    11、本方案还公开了一种cis探针卡,包括上述的cis探针卡进光调节结构。

    12、进一步地,所述进光调节结构的支撑座上安装有pcb板,所述pcb板上开设有过孔,所述镜头穿过所述过孔后安装在探针测试头组合体上。

    13、进一步地,所述探针测试头组合体上开设有检测孔,所述镜头插入所述检测孔内,芯片在所述检测孔区域进行感光检测。



    技术特征:

    1.一种cis探针卡进光调节结构,其特征在于:所述进光调节结构包括:

    2.根据权利要求1所述的cis探针卡进光调节结构,其特征在于:所述高度调节机构包括开设在所述光圈架上的螺纹孔、穿过所述螺纹孔且底端固定于所述支撑座上的调节螺丝。

    3.根据权利要求1所述的cis探针卡进光调节结构,其特征在于:所述聚光孔为阶梯型沉孔,所述聚光孔的孔径随与光源的距离增大而逐渐变小。

    4.根据权利要求1所述的cis探针卡进光调节结构,其特征在于:所述光圈架为矩形框架结构,且在所述光源架上均匀开设有若干个聚光孔。

    5.根据权利要求1所述的cis探针卡进光调节结构,其特征在于:所述支撑座上开设有安装槽,所述光圈架安装在所述安装槽内,所述光源位于所述光圈架的上方。

    6.一种cis探针卡,其特征在于:包括上述权利要求1~5中任一项所述的cis探针卡进光调节结构。

    7.根据权利要求6所述的cis探针卡,其特征在于:所述进光调节结构的支撑座上安装有pcb板,所述pcb板上开设有过孔,所述镜头穿过所述过孔后安装在探针测试头组合体上。

    8.根据权利要求7所述的cis探针卡,其特征在于:所述探针测试头组合体上开设有检测孔,所述镜头插入所述检测孔内,芯片在所述检测孔区域进行感光检测。


    技术总结
    本技术公开了一种CIS探针卡进光调节结构及CIS探针卡,包括支撑座,支撑座上安装光源;光圈架,光圈架上开设有聚光孔,聚光孔可对光源发射的光进行聚拢,使光源射出的光线穿过聚光孔后直接引导至芯片感光区域上方的镜头上;支撑座和光圈架之间设置有高度调节机构,高度调节机构用于调节光圈架在支撑座上的安装高度;本方案设计的一种CIS探针卡进光调节结构,通过在光源和镜头之间设置光圈架,并在光圈架上开设聚光孔,通过聚光孔将限制光源发出的光方向进行聚拢,将光直接引导到芯片感光区域上方的镜头上;同时,通过高度调节机构调节光圈架的高度,从而调整聚光孔与光源之间的距离,控制并调节进光量,从而有效地提高芯片的测试精度。

    技术研发人员:蒋元芬
    受保护的技术使用者:苏州矽利康测试系统有限公司
    技术研发日:20230825
    技术公布日:2024/4/29
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