本技术属于半导体，具体涉及一种新型板式加热器。
背景技术：
1、现有的半导体和光伏ald薄膜沉积设备中所使用的加热设备多为铠装加热器、红外加热管。
2、其中，红外加热管在使用中易受环境影响，加热管表面易附着异物，影响加热效果；并且红外加热管在高温下工作易产生焦炭和漏电故障，因此使用寿命相对较短，尤其在光伏ald薄膜沉积设备这种高功率输出设备中更容易出现故障，故障频率较高，维修成本相对较高；红外加热管使用时还存在加热范围较小和运输易破损的问题。
3、铠装加热管在长期使用中加热丝外金属管易疲劳导致加热管断裂；并且铠装加热管在加工工艺中有灌粉、折弯、焊接等工序，折弯中加热管内部结构易出现问题，加热时易出现加热管断裂、高压击穿，在灌粉时灌装不均匀、灌装不实、灌装镁粉纯度较低、干燥度不够，也会对加热管造成绝缘性降低，加热时会被高压击穿金属外壳，焊接不良时也会影响加热丝的绝缘性及寿命；铠装加热管因其结构特殊性当内部加热丝熔断时无法修复，只能整体更换，造成维护成本较高；并且现有光伏ald薄膜沉积设备中所使用的加热器多为在sus304底板上盘符铠装加热丝，sus304底板固定在腔体内壁，所有连接之间均无结缘隔层，在铠装丝熔断、破裂时易造成加热丝与底板通电的风险。
4、因此，针对上述技术问题，有必要提供一种新型板式加热器。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种新型板式加热器，以解决上述的问题。
2、为了实现上述目的，本实用新型一实施例提供的技术方案如下：
3、一种新型板式加热器，包括sus304底板，所述sus304底板上设置有云母底板，所述云母底板上开设有安装槽，所述安装槽设置为由多个环形组合在一起，所述安装槽内安装有加热丝，所述加热丝设置的形状和大小与所述安装槽设置的形状和大小相匹配，所述云母底板上横向设置有多个云母上压条，多个所述云母上压条均设置于加热丝的上方，所述加热丝位于下侧的每对环形之间均设置云母双卡压片，所述加热丝的两端设置于云母底板的下侧，所述加热丝的两端均安装有接线柱。
4、作为本实用新型的进一步改进，所述加热丝选用铁烙铝和镍铬合金中的一种。
5、作为本实用新型的进一步改进，所述加热丝位于云母底板的下侧的部位横向设置，所述加热丝横向设置的部分上设置有多个云母单卡压片。
6、作为本实用新型的进一步改进，所述云母双卡压片和云母单卡压片上均安装有平头螺栓，所述平头螺栓的下端螺纹连接于云母底板上。
7、作为本实用新型的进一步改进，所述sus304底板上一体成型有多个折弯压片，所述云母底板和云母上压条上均开设有与折弯压片相匹配的贯穿孔，所述折弯压片的上端通过贯穿孔置于云母上压条的上端并压接在云母上压条上。
8、作为本实用新型的进一步改进，所述云母底板下侧壁板上开设有一对槽体，所述加热丝的两端分别置于一对槽体内。
9、作为本实用新型的进一步改进，所述加热丝的两端与接线柱之间均设置有陶瓷套，所述陶瓷套与槽体之间设置有耐高温无机胶。
10、作为本实用新型的进一步改进，所述sus304底板和云母底板上均开设有多个螺栓孔。
11、与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：
12、本实用新型可选用铁烙铝或镍铬合金作为加热丝，将加热丝安装于云母底板上，在云母底板上开设有与加热丝相匹配的安装槽，并且通过压片等对加热丝进行固定，确保加热丝使用时稳定，从而限制加热丝的移动，同时便于对加热丝进行维护更换，其在大气中使用温度高，延长了加热丝使用的寿命，并且加热丝表面负荷高、升温快、抗氧化性能好和电阻率高，还有造价低以及工艺简单的有点，具有很好的实用性，以便于进行推广使用。
1.一种新型板式加热器，包括sus304底板，其特征在于，所述sus304底板上设置有云母底板，所述云母底板上开设有安装槽，所述安装槽设置为由多个环形组合在一起，所述安装槽内安装有加热丝，所述加热丝设置的形状和大小与所述安装槽设置的形状和大小相匹配，所述云母底板上横向设置有多个云母上压条，多个所述云母上压条均设置于加热丝的上方，所述加热丝位于下侧的每对环形之间均设置云母双卡压片，所述加热丝的两端设置于云母底板的下侧，所述加热丝的两端均安装有接线柱。
2.根据权利要求1所述的一种新型板式加热器，其特征在于，所述加热丝选用铁烙铝和镍铬合金中的一种。
3.根据权利要求2所述的一种新型板式加热器，其特征在于，所述加热丝位于云母底板的下侧的部位横向设置，所述加热丝横向设置的部分上设置有多个云母单卡压片。
4.根据权利要求3所述的一种新型板式加热器，其特征在于，所述云母双卡压片和云母单卡压片上均安装有平头螺栓，所述平头螺栓的下端螺纹连接于云母底板上。
5.根据权利要求1所述的一种新型板式加热器，其特征在于，所述sus304底板上一体成型有多个折弯压片，所述云母底板和云母上压条上均开设有与折弯压片相匹配的贯穿孔，所述折弯压片的上端通过贯穿孔置于云母上压条的上端并压接在云母上压条上。
6.根据权利要求1所述的一种新型板式加热器，其特征在于，所述云母底板下侧壁板上开设有一对槽体，所述加热丝的两端分别置于一对槽体内。
7.根据权利要求6所述的一种新型板式加热器，其特征在于，所述加热丝的两端与接线柱之间均设置有陶瓷套，所述陶瓷套与槽体之间设置有耐高温无机胶。
8.根据权利要求1所述的一种新型板式加热器，其特征在于，所述sus304底板和云母底板上均开设有多个螺栓孔。
