本技术涉及镀膜或刻蚀等设备，特别涉及一种加热盘。
背景技术：
1、用于加工晶圆等基材的腔体的内部一般具有加热盘，该加热盘上设置有顶针，用于取出或放置基材基片。在顶针通过上下移动将基材基片取出或放置的过程中，顶针可能会发生周向上的转动，从而使基材基片发生偏移，进而导致机械手取片不顺利，或者导致基材基片放置时偏离基材槽，产生搭片的情况，使基材基片不能正常加热。顶针在下降时还可能会出现不顺畅的情况，甚至直接出现卡滞现象，从而造成机械手碰碎基材基片、将顶针扫断的情况，直接影响生产。
技术实现思路
1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种加热盘，使顶针在上下移动时不易发生周向上的转动，且下降顺畅。
2、根据本实用新型的实施例的加热盘，包括盘组件、顶针、弹性件和顶升组件，所述盘组件具有通孔和设于所述通孔孔壁的限位槽，所述通孔和所述限位槽均沿上下方向延伸；所述顶针沿上下方向滑动配合于所述通孔，所述顶针的侧壁设有第一限位块，所述第一限位块限位配合于所述限位槽，以限制所述顶针沿所述顶针的周向转动，所述顶针远离所述盘组件的一端设有第二限位块；所述弹性件设于所述盘组件和所述第二限位块之间；所述顶升组件包括顶升杆，所述顶升杆能够沿上下方向移动，并能够抵接于所述第二限位块，以驱动所述顶针向上移动。
3、根据本实用新型实施例的加热盘，至少具有如下有益效果：顶升组件能够驱动顶针向上移动，顶针在向上移动的过程中，第二限位块和盘组件之间的距离缩小，弹性件被压缩，顶升组件不再驱动顶针向上移动时，被压缩的弹性件通过自身的弹力带动顶针向下复位，第二限位块也通过自身的重力带动顶针向下复位，即通过弹性件和第二限位块的配合，会使顶针向下运行顺畅，无卡滞。同时，由于限位槽沿上下方向延伸，第一限位块设于顶针的侧壁，第一限位块限位配合于限位槽，以限制顶针沿顶针的周向转动。故在顶针上下移动时，通过第一限位块和限位槽的限位配合，顶针不易发生周向上的转动。
4、根据本实用新型的一种实施例，所述限位槽设有两个，两个所述限位槽沿所述通孔的径向相对设置，所述第一限位块设有两个，两个所述第一限位块沿所述顶针的径向相背设置，两个所述第一限位块与两个所述限位槽一一对应限位配合。
5、根据本实用新型的一种实施例，所述盘组件包括盘体和导向限位件，所述盘体设有安装孔，所述导向限位件可拆卸安装于所述安装孔内，所述通孔和所述限位槽设于所述导向限位件。
6、根据本实用新型的一种实施例，所述第二限位块设有第一连接孔，所述顶针远离所述盘组件的一端与所述第一连接孔可拆卸连接。
7、根据本实用新型的一种实施例，所述顶针的侧壁设有第二连接孔，所述第二连接孔沿水平方向设置，并位于所述第一连接孔内，所述第二限位块还设有第三连接孔，所述第三连接孔沿水平方向设置，并与所述第一连接孔连通，所述加热盘还包括紧固件，所述紧固件连接于所述第三连接孔和所述第二连接孔。
8、根据本实用新型的一种实施例，所述紧固件为销钉，所述销钉与所述第三连接孔间隙配合，并插设于所述第二连接孔。
9、根据本实用新型的一种实施例，所述紧固件为螺钉，所述第三连接孔内设有第一螺纹结构，所述螺钉与所述第一螺纹结构螺纹连接，并插设于所述第二连接孔内。
10、根据本实用新型的一种实施例，所述第一连接孔内设有第二螺纹结构，所述顶针远离所述盘组件的一端设有第三螺纹结构，所述第二螺纹结构与所述第三螺纹结构螺纹连接。
11、根据本实用新型的一种实施例，所述通孔的上端设有第一导向锥面，所述顶针的上端设有第二导向锥面，所述第一导向锥面能够与所述第二导向锥面导向配合。
12、根据本实用新型的一种实施例，所述第二限位块的下端设有第三导向锥面，所述顶升杆的上端设有第四导向锥面，所述第四导向锥面能够与所述第三导向锥面导向配合。
13、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
1.加热盘，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述限位槽设有两个，两个所述限位槽沿所述通孔的径向相对设置，所述第一限位块设有两个，两个所述第一限位块沿所述顶针的径向相背设置，两个所述第一限位块与两个所述限位槽一一对应限位配合。
3.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述盘组件包括盘体和导向限位件，所述盘体设有安装孔，所述导向限位件可拆卸安装于所述安装孔内，所述通孔和所述限位槽设于所述导向限位件。
4.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述第二限位块设有第一连接孔，所述顶针远离所述盘组件的一端与所述第一连接孔可拆卸连接。
5.根据权利要求4所述的加热盘，其特征在于，所述顶针的侧壁设有第二连接孔，所述第二连接孔沿水平方向设置，并位于所述第一连接孔内，所述第二限位块还设有第三连接孔，所述第三连接孔沿水平方向设置，并与所述第一连接孔连通，所述加热盘还包括紧固件，所述紧固件连接于所述第三连接孔和所述第二连接孔。
6.根据权利要求5所述的加热盘，其特征在于，所述紧固件为销钉，所述销钉与所述第三连接孔间隙配合，并插设于所述第二连接孔。
7.根据权利要求5所述的加热盘，其特征在于，所述紧固件为螺钉，所述第三连接孔内设有第一螺纹结构，所述螺钉与所述第一螺纹结构螺纹连接，并插设于所述第二连接孔内。
8.根据权利要求4所述的加热盘，其特征在于，所述第一连接孔内设有第二螺纹结构，所述顶针远离所述盘组件的一端设有第三螺纹结构，所述第二螺纹结构与所述第三螺纹结构螺纹连接。
9.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述通孔的上端设有第一导向锥面，所述顶针的上端设有第二导向锥面，所述第一导向锥面能够与所述第二导向锥面导向配合。
10.根据权利要求1所述的加热盘，其特征在于，所述第二限位块的下端设有第三导向锥面，所述顶升杆的上端设有第四导向锥面，所述第四导向锥面能够与所述第三导向锥面导向配合。
