本发明涉及真空镀膜，尤其涉及一种真空腔体。
背景技术：
1、真空镀膜设备在对腔体内的硅片、玻璃基片等产品进行镀膜时，腔体需要为产品提供真空环境，而现有技术中，待镀膜产品需要通过装载腔和卸载腔传进和传出腔体，因此，装载腔和卸载腔需要在真空环境和标准大气环境之间循环转换，以便使得待镀膜产品能够传进装载腔，以及传出卸载腔。具体的，如待镀膜产品进入真空镀膜设备之前，要对装载腔进行破真空操作，以使装载腔腔体内的真空环境转化为标准大气环境，以便于将待镀膜的产品输送至装载腔中，然后装载腔需要进行抽真空操作，待镀膜产品传送至工艺腔进行镀膜工艺。另外，当产品完成镀膜工艺，通过卸载腔传至真空镀膜设备外，此时需要对卸载腔进行破真空操作，以使卸载腔内的真空环境转化为标准大气环境，以便于将镀膜完成的产品输送出腔体，然后再对卸载腔进行抽真空操作，如此反复循环，以实现连续生产。然而，在通过破真空机构对腔体破真空时，真空环境下，装载腔和卸载腔对气流的流动非常敏感，若气流的流速或者冲击力较大时，容易使内部的粉尘扬起，污染产品及承载产品的载板，尤其是卸载腔在破真空时，气流直接接触载板和产品表面，容易在产品的表面造成气孔印甚至导致产品碎片，影响生产质量。
2、随着技术的发展，现有技术中存在设置分流组件对进入的气流进行分流，但是分流组件上需要设置多条分流通道，使得分流组件的结构比较复杂，大大增加了进行加工生产的难度。
3、因此，亟需一种真空腔体，以解决上述破真空问题。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种真空腔体，能够减少破真空时气流的流速以及气流对真空腔体内部的冲击，并且结构简单，便于进行加工生产。
2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：
3、一种真空腔体，包括：
4、腔体本体；
5、腔盖，所述腔盖盖设于所述腔体本体上，所述腔盖上开设有第一进气口；
6、至少一个第一破真空机构，设置于所述腔盖上，所述第一破真空机构与所述第一进气口连通，所述第一破真空机构包括第一进气板以及第二进气板，所述第一进气板上间隔开设有多个第一进气孔，所述第二进气板上间隔开设有多个第二进气孔，多个所述第二进气孔与多个所述第一进气孔沿水平方向错位排布；
7、和/或，
8、所述腔体本体上开设有第二进气口，所述真空腔体还包括至少一个第二破真空机构，所述第二破真空机构设置于所述腔体本体的底壁内侧上，所述第二破真空机构与所述第二进气口连通，所述第二破真空机构包括第三进气板以及第四进气板，所述第三进气板上间隔开设有多个第三进气孔，所述第四进气板上间隔开设有多个第四进气孔，多个所述第三进气孔与多个所述第四进气孔沿所述水平方向错位排布。
9、作为可选方案，所述第一破真空机构还包括：
10、第一安装围板，所述第一安装围板设置于所述腔盖上，所述第一进气板以及所述第二进气板均与所述第一安装围板相连接，并且所述第一进气板、所述第一安装围板以及所述腔盖共同围设形成第一进气空间，所述第一进气板、所述第二进气板以及所述第一安装围板共同围设形成第二进气空间，所述第一进气口、所述第一进气空间以及所述第二进气空间依次连通。
11、作为可选方案，所述第二破真空机构还包括：
12、第二安装围板，所述第二安装围板设置于所述底壁上，所述第三进气板以及所述第四进气板均与所述第二安装围板相连接，并且所述第三进气板、所述第二安装围板以及所述底壁共同围设形成第三进气空间，所述第三进气板、所述第四进气板以及所述第二安装围板共同围设形成第四进气空间，所述第二进气口、所述第三进气空间以及所述第四进气空间依次连通。
13、作为可选方案，所述第二破真空机构还包括第二安装围板、进气通道和破真空背板，所述进气通道的一端连接在所述第二进气口上，另一端连接在所述破真空背板上，所述第三进气板、所述第四进气板以及所述破真空背板均与所述第二安装围板相连接，并且所述第三进气板、所述第二安装围板以及所述破真空背板共同围设形成第三进气空间，所述第三进气板、所述第四进气板以及所述第二安装围板共同围设形成第四进气空间，所述第二进气口、所述进气通道、所述第三进气空间以及所述第四进气空间依次连通。
14、作为可选方案，所述底壁上开设有抽气口，所述真空腔体包括多个间隔排布的所述第二破真空机构，相邻两个所述第二破真空机构之间形成有抽气通道，所述抽气通道与所述抽气口相连通。
15、作为可选方案，所述真空腔体包括四个间隔排布的所述第二破真空机构，四个所述第二破真空机构之间形成有呈十字型的所述抽气通道，并且所述第二破真空机构的外周壁与所述腔体本体的侧壁之间形成有与抽气通道连通的流通通道，所述抽气通道的中心交汇区域与位于所述底壁中心的所述抽气口正对。
16、作为可选方案，呈十字型的所述抽气通道的高度为30mm～200mm。
17、作为可选方案，所述第一破真空机构还包括第一锁紧连接件，所述第一锁紧连接件被配置为将所述第一进气板和所述第二进气板与所述第一安装围板可拆卸连接。
18、作为可选方案，所述第一安装围板与所述第二进气板为一体成型件。
19、作为可选方案，所述第二破真空机构还包括第二锁紧连接件，所述第二锁紧连接件被配置为将所述第三进气板和所述第四进气板与所述第二安装围板可拆卸连接。
20、作为可选方案，所述第二安装围板与所述第四进气板为一体成型件。
21、作为可选方案，所述第一破真空机构还包括第一支撑连接件，所述第一支撑连接件支撑连接于所述第一进气板和所述第二进气板之间；
22、和/或，
23、所述第二破真空机构还包括第二支撑连接件，所述第二支撑连接件支撑连接于所述第三进气板和所述第四进气板之间。
24、作为可选方案，所述第一进气孔和所述第三进气孔为直孔或喇叭孔；所述第二进气孔和所述第四进气孔为直孔或喇叭孔。
25、作为可选方案，所述第一进气孔和所述第三进气孔为圆孔，所述第二进气孔和所述第四进气孔为长条孔。
26、作为可选方案，所述第一破真空机构的数量为一个，所述第二破真空机构的数量为四个。
27、作为可选方案，所述第一破真空机构的数量为四个，所述第二破真空机构的数量为四个。
28、本发明的有益效果：
29、本发明提供了一种真空腔体，该真空腔体包括腔体本体和腔盖，腔盖盖设于腔体本体上，该真空腔体还包括至少一个第一破真空机构和/或至少一个第二破真空机构，第一破真空机构设置于腔盖上，第一破真空机构与腔盖上的第一进气口连通，第一破真空机构包括第一进气板和第二进气板，第一进气板上间隔开设的多个第一进气孔与第二进气板上间隔开设的多个第二进气孔沿水平方向错位排布，第二破真空机构设置于腔体本体的底壁内侧上，第二破真空机构与腔体本体上的第二进气口连通，第二破真空机构包括第三进气板和第四进气板，第三进气板上间隔开设的多个第三进气孔与第四进气板上间隔开设的多个第四进气孔沿水平方向错位排布。
30、本发明提供的真空腔体，当通过第一破真空机构对真空腔体进行破真空时，经过第一进气板上的各个第一进气孔出来的气流会受到第二进气板的阻挡然后再通过第二进气板上的各个第二进气孔进入腔体本体内，迫使气流进行了横向偏转流动，有效减少了气流的流速以及气流对真空腔体内部的冲击，从而减小了上方气流对真空腔体内载板以及产品的影响，保证了生产质量。当通过第二破真空机构对真空腔体进行破真空时，经过第三进气板上的各个第三进气孔出来的气流会受到第四进气板的阻挡然后再通过第四进气板上的各个第四进气孔进入腔体本体内，迫使气流进行了横向偏转流动，有效减少了气流的流速以及气流对真空腔体内部的冲击，从而减小了下方气流对真空腔体内载板以及产品的影响，保证了生产质量。此外，上述破真空机构只要保证两个进气板上的进气孔沿水平方向错位排布即可，使得结构简单，并且也便于进行加工生产。
1.一种真空腔体，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空腔体，其特征在于，所述第一破真空机构(3)还包括：
3.根据权利要求1所述的真空腔体，其特征在于，所述第二破真空机构(4)还包括：
4.根据权利要求1所述的真空腔体，其特征在于，所述第二破真空机构(4)还包括第二安装围板(43)、进气通道(44)和破真空背板(45)，所述进气通道(44)的一端连接在所述第二进气口(15)上，另一端连接在所述破真空背板(45)上，所述第三进气板(41)、所述第四进气板(42)以及所述破真空背板(45)均与所述第二安装围板(43)相连接，并且所述第三进气板(41)、所述第二安装围板(43)以及所述破真空背板(45)共同围设形成第三进气空间(46)，所述第三进气板(41)、所述第四进气板(42)以及所述第二安装围板(43)共同围设形成第四进气空间(47)，所述第二进气口(15)、所述进气通道(44)、所述第三进气空间(46)以及所述第四进气空间(47)依次连通。
5.根据权利要求3或4所述的真空腔体，其特征在于，所述底壁(13)上开设有抽气口(11)，所述真空腔体包括多个间隔排布的所述第二破真空机构(4)，相邻两个所述第二破真空机构(4)之间形成有抽气通道(12)，所述抽气通道(12)与所述抽气口(11)相连通。
6.根据权利要求5所述的真空腔体，其特征在于，所述真空腔体包括四个间隔排布的所述第二破真空机构(4)，四个所述第二破真空机构(4)之间形成有呈十字型的所述抽气通道(12)，并且所述第二破真空机构(4)的外周壁与所述腔体本体(1)的侧壁(14)之间形成有与抽气通道(12)连通的流通通道，所述抽气通道(12)的中心交汇区域与位于所述底壁(13)中心的所述抽气口(11)正对。
7.根据权利要求6所述的真空腔体，其特征在于，呈十字型的所述抽气通道(12)的高度为30mm～200mm。
8.根据权利要求2所述的真空腔体，其特征在于，所述第一破真空机构(3)还包括第一锁紧连接件(34)，所述第一锁紧连接件(34)被配置为将所述第一进气板(31)和所述第二进气板(32)与所述第一安装围板(33)可拆卸连接。
9.根据权利要求2所述的真空腔体，其特征在于，所述第一安装围板(33)与所述第二进气板(32)为一体成型件。
10.根据权利要求3或4所述的真空腔体，其特征在于，所述第二破真空机构(4)还包括第二锁紧连接件(48)，所述第二锁紧连接件(48)被配置为将所述第三进气板(41)和所述第四进气板(42)与所述第二安装围板(43)可拆卸连接。
11.根据权利要求3或4所述的真空腔体，其特征在于，所述第二安装围板(43)与所述第四进气板(42)为一体成型件。
12.根据权利要求1所述的真空腔体，其特征在于，所述第一破真空机构(3)还包括第一支撑连接件(35)，所述第一支撑连接件(35)支撑连接于所述第一进气板(31)和所述第二进气板(32)之间；
13.根据权利要求1～4任一项所述的真空腔体，其特征在于，所述第一进气孔(311)和所述第三进气孔(411)为直孔或喇叭孔；所述第二进气孔(321)和所述第四进气孔(421)为直孔或喇叭孔。
14.根据权利要求1～4任一项所述的真空腔体，其特征在于，所述第一进气孔(311)和所述第三进气孔(411)为圆孔，所述第二进气孔(321)和所述第四进气孔(421)为长条孔。
15.根据权利要求1～4任一项所述的真空腔体，其特征在于，所述第一破真空机构(3)的数量为一个，所述第二破真空机构(4)的数量为四个；或者，所述第一破真空机构(3)的数量为四个，所述第二破真空机构(4)的数量为四个。
