本发明涉及一种使用于形状测量装置的形状测量装置用光学系统，该形状测量装置隔着被测量物体向图像传感器照射平行光，并根据投射到图像传感器的被测量物体的影像，测量被测量物体的二维形状。
背景技术：
1、例如在专利文献1中公开了一种使用于形状测量装置的形状测量装置用光学系统，该形状测量装置隔着被测量物体向图像传感器照射平行光，并根据投射到图像传感器的被测量物体的影像，测量被测量物体的二维形状。
2、该专利文献1所公开的形状测量装置用光学系统包括：平行光照射系统，对圆盘状的被测量物体的外周端缘部分即被测量部，以沿着所述被测量物体的圆形面的方式，且以所述被测量物体的所述被测量部被配置于光束中的方式，照射平行光；以及摄像光学系统，拍摄所述被测量部的影像，其中，所述平行光照射系统包括具有白色led(light emittingdiode，发光二极管)的点光源、用于使来自所述点光源的光入射而产生平行光的准直透镜(collimator lens)、以及隔着被测量物体被来自所述准直透镜的光照射的双侧远心构造(both side telecentric structure)或物方远心构造(object side telecentricstructure)的远心镜头(telecentric lens)，所述摄像光学系统包括图像传感器，由通过所述远心镜头的光产生的所述被测量部的影像被投射到该图像传感器。
3、但是，当在专利文献1所公开的形状测量装置用光学系统中使用亮度高的白色led的情况下，由于其指向性，通过针孔(pinhole)后的光会产生亮度不均，其结果，有可能导致被测量物体的外周端缘部分的轮廓形状发生畸变。
4、先前技术文献
5、专利文献
6、专利文献1：日本专利第4500157号公报
技术实现思路
1、鉴于上述情况，本发明的目的在于提供能够减少亮度不均的形状测量装置用光学系统。
2、本发明所涉及的形状测量装置用光学系统包括平行光照射系统和摄像光学系统，其中，所述平行光照射系统包括点光源、准直透镜、以及隔着被测量物体被来自所述准直透镜的光照射的双侧远心构造或物方远心构造的远心镜头，所述摄像光学系统包括图像传感器，由通过所述远心镜头的光产生的所述被测量物体的一部分的影像被投射到该图像传感器，所述点光源包括led、使来自所述led的光扩散并射出的扩散部件、以及形成有供来自所述扩散部件的光入射的针孔的针孔部件。
3、上述以及本发明的其他目的、特征及优点根据以下的详细记载和附图而变得明确。
1.一种形状测量装置用光学系统，其特征在于包括：
2.根据权利要求1所述的形状测量装置用光学系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的形状测量装置用光学系统，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的形状测量装置用光学系统，其特征在于，
