本公开涉及送电设备、送电设备的控制方法、受电设备和受电设备的控制方法。
背景技术：
1、存在向马达供电以驱动马达的系统。例如，在半导体曝光设备中，用于精细移动晶圆以在晶圆上形成图案的微动台和用于使微动台移动的马达被安装在用于将晶圆移动到曝光位置的粗动台上。用于供电以驱动马达的供电线缆连接到粗动台上所安装的马达。由于线缆与粗动台的移动一起移动，因而，线缆的张力影响台的定位的精度。因此，已经研究了实现用于驱动马达的无线送电。
2、有必要向用于移动台的马达施加交流电压。这是因为例如需要施加正电压以在一个轴上在正方向上移动台，并且需要施加负电压以在一个轴上在负方向上移动台。为了移动微动台，需要向粗动台上所安装的马达施加交流电压。
3、通常，要施加到马达上的交流电压由被称为马达驱动器的电路生成。通过向马达驱动器供给直流电压和控制信号，生成要施加到马达的交流电压。专利文献1描述了马达无线驱动系统的配置，其中在该配置中，马达驱动器被布置在粗动台上并且使用无线送电将交流电压施加到粗动台上所安装的马达。粗动台是无线送电的受电侧，并且用于无线送电的受电单元布置在粗动台上。直流电压被无线地发送到粗动台上的受电单元，并被施加到粗动台上的马达驱动器，由此生成要施加到粗动台上所安装的马达的交流电压，并驱动马达。
4、引文列表
5、专利文献
6、专利文献1：日本专利申请公开2018-54847
技术实现思路
1、发明要解决的问题
2、然而，由于出现针对在无线送电的受电侧布置马达驱动器的空间的需求，因此粗动台的大小增大。因此，有必要实现用于粗动台的大规模控制系统。
3、本公开涉及将交流电力从送电单元无线地发送到受电单元的控制系统以及能够减小受电单元的大小的技术。
4、用于解决问题的方案
5、根据本发明的方面，一种送电设备，其被配置为向受电设备无线地发送交流电力，所述受电设备被配置为能够相对于所述送电设备移动，所述送电设备包括：时钟生成电路，其被配置为生成时钟信号；校正电路，其被配置为对所生成的时钟信号的相位进行校正；开关电路，其被配置为在基于校正后的时钟信号的定时处切换所述交流电力；送电天线，其被配置为无线地发送所切换后的交流电力；以及发送天线，其被配置为无线地发送所述时钟信号，其中，所述校正电路被配置为在所述送电设备和所述受电设备之间的位置关系是第一位置关系的情况与所述位置关系是不同于所述第一位置关系的第二位置关系的情况之间，使所生成的时钟信号的相位的校正量有所不同。
6、发明的效果
7、根据本公开，提供了将交流电力从送电单元无线地发送到受电单元的控制系统，并且能够减小受电单元的大小。
1.一种送电设备，其被配置为向受电设备无线地发送交流电力，所述受电设备被配置为能够相对于所述送电设备移动，所述送电设备包括：
2.根据权利要求1所述的送电设备，还包括时钟发送电路，所述时钟发送电路被配置为经由所述发送天线无线地发送所述时钟生成电路所生成的时钟信号。
3.根据权利要求1或2所述的送电设备，其中，所述校正电路所进行的校正量是基于包括所述送电设备和所述受电设备的控制系统的规定操作序列而预先确定的。
4.根据权利要求1或2所述的送电设备，其中，所述校正电路所进行的校正量是基于所述受电设备的位置而确定的。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的送电设备，其中，所述开关电路被配置为使用双向开关来进行切换。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的送电设备，
7.一种受电设备，其被配置为从送电设备无线地接收交流电力，所述送电设备被配置为能够相对于所述受电设备移动，所述受电设备包括：
8.根据权利要求7所述的受电设备，还包括时钟接收电路，所述时钟接收电路被配置为经由所述接收天线无线地接收所述时钟信号。
9.根据权利要求7或8所述的受电设备，其中，所述校正电路被配置为对被输入到所述整流电路的交流电力的相位进行检测，并对所接收的时钟信号的相位进行校正，以减小被输入到所述整流电路的交流电力的相位与被输入到所述整流电路的时钟信号的相位之间的相位偏移。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的受电设备，其中，所述校正电路所进行的校正量是基于包括所述送电设备和所述受电设备的控制系统的规定操作序列而预先确定的。
11.根据权利要求7至9中任一项所述的受电设备，其中，所述校正电路所进行的校正量是基于所述受电设备的位置而确定的。
12.根据权利要求7至9中任一项所述的受电设备，其中，所述校正电路所进行的校正量是基于所接收的时钟信号的相位的变化量而确定的。
13.根据权利要求7至12中任一项所述的受电设备，其中，所述整流电路被配置为使用双向开关来进行切换。
14.根据权利要求7至13中任一项所述的受电设备，
15.一种送电设备的控制方法，所述送电设备被配置为向受电设备无线地发送交流电力，所述受电设备被配置为能够相对于所述送电设备移动，所述控制方法包括：
16.一种受电设备的控制方法，所述受电设备被配置为从送电设备无线地接收交流电力，所述送电设备被配置为能够相对于所述受电设备移动，所述控制方法包括：
