本发明涉及聚酰亚胺前体树脂组合物和聚酰亚胺树脂组合物、以及它们的制造方法。本发明也涉及使用了该聚酰亚胺前体树脂组合物和聚酰亚胺树脂组合物的聚酰亚胺薄膜、显示器、层叠体以及柔性装置的制造方法。
背景技术：
1、聚酰亚胺树脂为不溶、不熔的超耐热性树脂，具有耐热氧化性、耐热特性、耐辐射线性、耐低温性、耐化学试剂性等优异的特性。因此聚酰亚胺树脂被用于包括电子材料的宽范围的领域。作为电子材料领域中的聚酰亚胺树脂的适用例，可列举出例如绝缘涂覆材料、绝缘膜、半导体、薄膜晶体管液晶显示器(tft-lcd)的电极保护膜等。最近，也研究利用聚酰亚胺薄膜的轻量、柔软性而用作柔性基板来替代以往使用于显示器材料的领域中的玻璃基板。
2、例如专利文献1中记载了由双(二氨基二苯基)砜(以下也称为das)聚合而成、具有硅氧烷单元的树脂前体(重均分子量3万～9万)。专利文献1记载了对于将该前体固化而得到的聚酰亚胺而言，与玻璃等支承体之间产生的残余应力低、耐化学试剂性优异，固化工序时的氧浓度导致对黄色度(yi值)和总透光率的影响小。另外，专利文献2记载了由2,2’-双(三氟甲基)联苯胺(以下也称为tfmb)聚合而成、具有硅氧烷单元的树脂前体。专利文献2记载了将该前体固化而得到的聚酰亚胺薄膜具有特定的玻璃化转变温度、与无机膜之间产生的残余应力低、机械物性和热稳定性优异。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：国际公开第2014/148441号
6、专利文献2：国际公开第2014/098235号
7、专利文献3：日本特开2016-029126号公报
8、专利文献4：日本特开2006-028533号公报
9、专利文献5：日本特开2002-012666号公报
10、专利文献6：日本特表2007-512568号公报
11、专利文献7：日本特表2012-511173号公报
12、专利文献8：日本特开2010-067957号公报
13、专利文献9：日本特开2013-179306号公报
14、专利文献10：国际公开第2005/068535号
15、非专利文献
16、非专利文献1：信越化学工业株式会社主页、“q&a”、“关于硅脂·油复合物(シリコーングリース·オイルコンパウンドについて)”、[online]、[2020年4月24日检索]、互联网〈url:https://www.silicone.jp/contact/qa/qa103.shtml〉
技术实现思路
1、发明要解决的问题
2、专利文献1及2中，作为聚酰亚胺前体的单体，使用含有硅氧烷的化合物，这种含有硅氧烷的化合物含有低分子量的环状硅氧烷(以下也称为低分子环状硅氧烷)。已知该低分子环状硅氧烷由于为挥发性的，因此产生脱气，由此有可能产生工艺的制造装置的接触点不良。例如参照非专利文献1。
3、作为关于通过纯化降低了该低分子环状硅氧烷的聚酰亚胺前体的现有技术文献，可列举出专利文献3～5。专利文献3中记载了，通过将含有硅氧烷的化合物添加到丙酮后进行离心分离、倾析而去除低分子环状硅氧烷，所得到的聚酰亚胺具有透明性、脱气的产生少。专利文献4及5中记载了，通过将含有硅氧烷的化合物在特定条件下汽提、或者将含有硅氧烷的化合物溶解于2-丁酮后利用甲醇再沉淀，由此将含有硅氧烷的化合物纯化，所得到的聚酰亚胺的粘接性得到改善。
4、本发明人等使用通过与上述专利文献3～5中记载的方法相同的纯化法纯化而成的含有硅氧烷的化合物来合成聚酰亚胺前体和聚酰亚胺，并使用它们制造聚酰亚胺薄膜。其结果发现，聚酰亚胺薄膜制造工艺中处理大量的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺时的聚酰亚胺树脂膜的缺陷评价差、以及由未纯化品变更为纯化品时的黄色度(yi值)的改善程度不充分。因此，本发明的目的在于，提供与使用未纯化的硅氧烷化合物的情况相比yi值得到进一步改善，能够降低聚酰亚胺薄膜制造工艺中产生的聚酰亚胺树脂膜表面的缺陷的、聚酰亚胺前体树脂组合物及聚酰亚胺树脂组合物。
5、用于解决问题的方案
6、本发明人等进行深入研究，结果发现，利用上述现有技术文献中记载的纯化方法时，通式(3)中的一部分化合物没有充分降低。并且发现，通过将含硅化合物进一步纯化、将通式(3)的一部分的化合物降低到特定量，可以解决上述问题。以下[1]～[35]中列举出本发明的实施方式的例子。
7、[1]一种树脂组合物，其包含：
8、含有下述通式(1-1)和/或(1-2)所示的结构单元、且含有下述通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺；和
9、下述通式(3)所示的化合物，
10、将上述树脂组合物的质量作为基准，下述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为70ppm以下，或者
11、将上述树脂组合物的质量作为基准，下述通式(3)中n为5的化合物的总量多于0ppm且为30ppm以下。
12、
13、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
14、
15、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
16、
17、{式中，p3及p4各自独立地为碳数1～5的一价脂肪族烃、或碳数6～10的一价芳香族基团，q为1～200的整数。}
18、
19、{式中，n为2以上的整数。}
20、[2]根据项目1所述的树脂组合物，其中，将上述树脂组合物的质量作为基准，上述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为30ppm以下，或者
21、将上述树脂组合物的质量作为基准，上述通式(3)中n为5的化合物的总量多于0ppm且为15ppm以下。
22、[3]一种树脂组合物，其包含：
23、含有下述通式(1-1)和/或(1-2)所示的结构单元、且含有下述通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺；和
24、下述通式(3)所示的化合物，
25、将上述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，下述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为500ppm以下，或者
26、将上述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，上述通式(3)中n为5的化合物的总量多于0ppm且为200ppm以下。
27、
28、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
29、
30、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
31、
32、{式中，p3及p4各自独立地为碳数1～5的一价脂肪族烃、或碳数6～10的一价芳香族基团，q为1～200的整数。}
33、
34、{式中，n为2以上的整数。}
35、[4]根据项目3所述的树脂组合物，其中，将上述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，上述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为300ppm以下，或者
36、将上述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，上述通式(3)中n为5的化合物的总量多于0ppm且为100ppm以下。
37、[5]根据项目3所述的树脂组合物，其中，将上述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，上述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为10ppm以下，或者
38、将上述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，上述通式(3)中n为5的化合物的总量多于0ppm且为5ppm以下。
39、[6]一种树脂组合物，其包含：
40、含有下述通式(1-1)和/或(1-2)所示的结构单元、且含有下述通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺；和
41、下述通式(3)所示的化合物，
42、上述树脂组合物通过以下的方法制造，该方法包括：
43、使含有下述通式(4)所示的含硅化合物、和下述通式(3)所示的化合物的原料组合物，与四羧酸二酐及二胺进行缩聚反应而提供聚酰亚胺前体；或者将上述聚酰亚胺前体进行酰亚胺化而提供聚酰亚胺，
44、将下述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的下述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为1300ppm以下，或者
45、将上述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的下述通式(3)中n为5的化合物的总量多于0ppm且为500ppm以下。
46、
47、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
48、
49、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
50、
51、{式中，p3及p4各自独立地为碳数1～5的一价脂肪族烃、或碳数6～10的一价芳香族基团，q为1～200的整数。}
52、
53、{式中，n为2以上的整数。}
54、
55、{式中，r1各自独立地为单键或碳数1～10的二价有机基团，r2及r3各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数1～5的一价脂肪族烃基，r4及r5各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数6～10的一价芳香族基团，r6及r7各自独立地为碳数1～10的一价有机基团，l1及l2各自独立地为氨基、酸酐基、异氰酸酯基、羧基、酸酯基、酰卤基、羟基、环氧基或巯基，i为1～200的整数，j及k各自独立地为0～200的整数，0≤j/(i+j+k)≤0.50。}
56、[7]根据项目6所述的树脂组合物，其中，将上述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的上述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为800ppm以下，或者
57、将上述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的上述通式(3)中n为5的化合物的总量多于0ppm且为300ppm以下。
58、[8]根据项目6所述的树脂组合物，其中，将上述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的上述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为30ppm以下，或者
59、将上述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的上述通式(3)中n为5的化合物的总量多于0ppm且为15ppm以下。
60、[9]一种树脂组合物，其包含：
61、含有下述通式(1-1)和/或(1-2)所示的结构单元、且含有下述通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺；和
62、下述通式(3)所示的化合物，
63、将上述树脂组合物的质量作为基准，下述通式(3)中n为3以上且8以下的化合物的总量多于0ppm且为150ppm以下。
64、
65、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
66、
67、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
68、
69、{式中，p3及p4各自独立地为碳数1～5的一价脂肪族烃、或碳数6～10的一价芳香族基团，q为1～200的整数。}
70、
71、{式中，n为2以上的整数。}
72、[10]一种树脂组合物，其包含：
73、含有下述通式(1-1)和/或(1-2)所示的结构单元、且含有下述通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺；和
74、下述通式(3)所示的化合物，
75、将上述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，下述通式(3)中n为3以上且8以下的化合物的总量多于0ppm且为900ppm以下。
76、
77、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
78、
79、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
80、
81、{式中，p3及p4各自独立地为碳数1～5的一价脂肪族烃、或碳数6～10的一价芳香族基团，q为1～200的整数。}
82、
83、{式中，n为2以上的整数。}
84、[11]一种树脂组合物，其包含：
85、含有下述通式(1-1)和/或(1-2)所示的结构单元、且含有下述通式(2)所示的结构单元的聚酰亚胺前体或聚酰亚胺；和
86、下述通式(3)所示的化合物，
87、上述树脂组合物通过以下的方法制造，该方法包括：
88、使含有下述通式(4)所示的含硅化合物、和下述通式(3)所示的化合物的原料组合物，与四羧酸二酐及二胺进行缩聚反应而提供聚酰亚胺前体；或者将上述聚酰亚胺前体进行酰亚胺化而提供聚酰亚胺，
89、将下述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的下述通式(3)中n为3以上且8以下的化合物的总量多于0ppm且为4500ppm以下。
90、
91、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
92、
93、{式中，p1表示2价有机基团，p2表示4价有机基团，p表示正整数。}
94、
95、{式中，p3及p4各自独立地为碳数1～5的一价脂肪族烃、或碳数6～10的一价芳香族基团，q为1～200的整数。}
96、
97、{式中，n为2以上的整数。}
98、
99、{式中，r1各自独立地为单键或碳数1～10的二价有机基团，r2及r3各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数1～5的一价脂肪族烃基，r4及r5各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数6～10的一价芳香族基团，r6及r7各自独立地为碳数1～10的一价有机基团，l1及l2各自独立地为氨基、酸酐基、异氰酸酯基、羧基、酸酯基、酰卤基、羟基、环氧基或巯基，i为1～200的整数，j及k各自独立地为0～200的整数，0≤j/(i+j+k)≤0.50。}
100、[12]根据项目6、7、8和11中任一项所述的树脂组合物，其中，上述通式(4)所示的含硅化合物的l1及l2各自独立地选自由氨基、酸酐基、环氧基、羟基和巯基组成的组。
101、[13]根据项目6、7、8和11中任一项所述的树脂组合物，其中，上述通式(4)所示的含硅化合物的l1及l2为氨基。
102、[14]根据项目6、7、8和11中任一项所述的树脂组合物，其中，上述通式(4)所示的含硅化合物的官能团当量为800以上。
103、[15]根据项目6～8和11～14中任一项所述的树脂组合物，其中，上述四羧酸二酐为选自由均苯四酸二酐(pmda)、3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐(bpda)、9,9-双(3,4-二羧基苯基)芴二酸酐(bpaf)、4,4’-氧二邻苯二甲酸酐(odpa)、1,2,4,5-环己烷四羧酸二酐(hpmda)和1,2,3,4-环丁烷四羧酸二酐(cbda)组成的组中的至少一种。
104、[16]根据项目6～8和11～14中任一项所述的树脂组合物，其中，上述二胺为选自由4,4’-二氨基二苯基砜(4,4’-das)、3,3’-二氨基二苯基砜(3,3’-das)、9,9-双(4-氨基苯基)芴(bafl)、2,2’-二甲基联苯胺(mtb)、对苯二胺(pda)、二氨基双(三氟甲基)联苯(tfmb)、2,2’-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷(bapp)、4,4’-二氨基二苯基醚(oda)和1,4-环己烷二胺(chda)组成的组中的至少一种。
105、[17]根据项目1～16中任一项所述的树脂组合物，其中，将上述树脂组合物固化而得到的聚酰亚胺树脂膜被用于柔性基板。
106、[18]根据项目1～16中任一项所述的树脂组合物，其中，将上述树脂组合物固化而得到的聚酰亚胺树脂膜被用于柔性显示器。
107、[19]根据项目1～18中任一项所述的树脂组合物，其中，将上述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，通式(3)中n为3的化合物的总量设为d3(ppm)、n为4的化合物的总量设为d4(ppm)、n为5的化合物的总量设为d5(ppm)、n为6的化合物的总量设为d6(ppm)以及n为7的化合物的总量设为d7(ppm)时，d3+d4+d5+d6+d7小于2000ppm且d3+d4为10ppm以下。
108、[20]一种树脂组合物的制造方法，其包括：使含有下述通式(4)所示的含硅化合物、和下述通式(3)所示的化合物的原料组合物，与四羧酸二酐及二胺进行缩聚反应而提供聚酰亚胺前体；或者将上述聚酰亚胺前体进行酰亚胺化而提供聚酰亚胺，
109、将下述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的下述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为1300ppm以下，或者
110、将上述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的下述通式(3)中n为5的化合物的总量多于0ppm且为500ppm以下。
111、
112、{式中，n为2以上的整数。}
113、
114、{式中，r1各自独立地为单键或碳数1～10的二价有机基团，r2及r3各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数1～5的一价脂肪族烃基，r4及r5各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数6～10的一价芳香族基团，r6及r7各自独立地为碳数1～10的一价有机基团，l1及l2各自独立地为氨基、酸酐基、异氰酸酯基、羧基、酸酯基、酰卤基、羟基、环氧基或巯基，i为1～200的整数，j及k各自独立地为0～200的整数，0≤j/(i+j+k)≤0.50。}
115、[21]根据项目20所述的树脂组合物的制造方法，其中，
116、将上述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的上述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为800ppm以下，或者
117、将上述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的上述通式(3)中n为6的化合物的总量多于0ppm且为300ppm以下。
118、[22]一种树脂组合物的制造方法，其包括：使含有下述通式(4)所示的含硅化合物、和下述通式(3)所示的化合物的原料组合物，与四羧酸二酐及二胺进行缩聚反应而提供聚酰亚胺前体；或者将上述聚酰亚胺前体进行酰亚胺化而提供聚酰亚胺，
119、将下述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，上述原料组合物中含有的下述通式(3)中n为3以上且8以下的化合物的总量多于0ppm且为4500ppm以下。
120、
121、{式中，n为2以上的整数。}
122、
123、{式中，r1各自独立地为单键或碳数1～10的二价有机基团，r2及r3各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数1～5的一价脂肪族烃基，r4及r5各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数6～10的一价芳香族基团，r6及r7各自独立地为碳数1～10的一价有机基团，l1及l2各自独立地为氨基、酸酐基、异氰酸酯基、羧基、酸酯基、酰卤基、羟基、环氧基或巯基，i为1～200的整数，j及k各自独立地为0～200的整数，0≤j/(i+j+k)≤0.50。}
124、[23]根据项目20～22中任一项所述的树脂组合物的制造方法，其中，上述通式(4)所示的含硅化合物的官能团当量为800以上。
125、[24]一种树脂组合物的制造方法，其包括：使含有下述通式(4)所示的含硅化合物、和下述通式(3)所示的化合物的原料组合物，与四羧酸二酐及二胺进行缩聚反应而提供聚酰亚胺前体；或者将上述聚酰亚胺前体进行酰亚胺化而提供聚酰亚胺，
126、其包括将下述通式(4)及(3)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，降低下述通式(3)中n为5的化合物的总量或n为6的化合物的总量或n为7的化合物的总量的工序，
127、上述降低的工序包括将上述组合物在150～300℃、300pa以下处理2～12小时。
128、
129、{式中，n为2以上的整数。}
130、
131、{式中，r1各自独立地为单键或碳数1～10的二价有机基团，r2及r3各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数1～5的一价脂肪族烃基，r4及r5各自独立地为碳数1～10的一价有机基团、至少一个为碳数6～10的一价芳香族基团，r6及r7各自独立地为碳数1～10的一价有机基团，l1及l2各自独立地为氨基、酸酐基、异氰酸酯基、羧基、酸酯基、酰卤基、羟基、环氧基或巯基，i为1～200的整数，j及k各自独立地为0～200的整数，0≤j/(i+j+k)≤0.50。}
132、[25]根据项目20～24中任一项所述的方法，其中，上述通式(4)所示的含硅化合物的l1及l2各自独立地选自由氨基、酸酐基、环氧基、羟基和巯基组成的组。
133、[26]根据项目20～24中任一项所述的方法，其中，上述通式(4)所示的含硅化合物的l1及l2为氨基。
134、[27]根据项目20～26中任一项所述的方法，其中，上述四羧酸二酐为选自由均苯四酸二酐(pmda)、3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐(bpda)、9,9-双(3,4-二羧基苯基)芴二酸酐(bpaf)、4,4’-氧二邻苯二甲酸酐(odpa)、1,2,4,5-环己烷四羧酸二酐(hpmda)和1,2,3,4-环丁烷四羧酸二酐(cbda)组成的组中的至少一种。
135、[28]根据项目20～26中任一项所述的方法，其中，上述二胺为选自由4,4’-二氨基二苯基砜(4,4’-das)、3,3’-二氨基二苯基砜(3,3’-das)、9,9-双(4-氨基苯基)芴(bafl)、2,2’-二甲基联苯胺(mtb)、对苯二胺(pda)、二氨基双(三氟甲基)联苯(tfmb)、2,2’-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷(bapp)、4,4’-二氨基二苯基醚(oda)和1,4-环己烷二胺(chda)组成的组中的至少一种。
136、[29]一种聚酰亚胺薄膜的制造方法，其包括：
137、在支承体的表面上涂布项目1～19中任一项所述的树脂组合物的涂布工序；
138、将上述树脂组合物加热而形成聚酰亚胺树脂膜的膜形成工序；和
139、将上述聚酰亚胺树脂膜从上述支承体剥离的剥离工序。
140、[30]根据项目29所述的聚酰亚胺薄膜的制造方法，其中，在上述剥离工序之前还包括从上述支承体侧对上述树脂组合物照射激光的照射工序。
141、[31]一种显示器的制造方法，其包括：
142、在支承体的表面上涂布项目1～19中任一项所述的树脂组合物的涂布工序；
143、将上述树脂组合物加热而形成聚酰亚胺树脂膜的膜形成工序；
144、在上述聚酰亚胺树脂膜上形成元件的元件形成工序；和
145、将形成有上述元件的上述聚酰亚胺树脂膜从上述支承体剥离的剥离工序。
146、[32]一种层叠体的制造方法，其包括：
147、在支承体的表面上涂布项目1～19中任一项所述的树脂组合物的涂布工序；
148、将上述树脂组合物加热而形成聚酰亚胺树脂膜的膜形成工序；和
149、在上述聚酰亚胺树脂膜上形成元件的元件形成工序。
150、[33]根据项目32所述的层叠体的制造方法，其还包括将形成有上述元件的上述聚酰亚胺树脂膜从上述支承体剥离的工序。
151、[34]一种柔性装置的制造方法，其包括利用项目32或33所述的方法制造层叠体。
152、[35]一种聚酰亚胺薄膜，其为项目1～19中任一项所述的树脂组合物的固化物。
153、发明的效果
154、根据本发明，可以提供与使用未纯化的硅氧烷化合物的情况相比所得到的聚酰亚胺树脂膜表面的缺陷降低、能够进一步改善黄色度(yi值)的聚酰亚胺前体树脂组合物。需要说明的是，上述记载不能看作本发明的全部实施方式和本发明的全部优点的公开。本发明的进一步的实施方式及其优点通过参照以下的记载可知。
1.一种树脂组合物，其包含：
2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其中，将所述树脂组合物的质量作为基准，所述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为30ppm以下，或者
3.一种树脂组合物，其包含：
4.根据权利要求3所述的树脂组合物，其中，将所述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，所述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为300ppm以下，或者
5.根据权利要求3所述的树脂组合物，其中，将所述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，所述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为10ppm以下，或者
6.一种树脂组合物，其包含：
7.根据权利要求6所述的树脂组合物，其中，将所述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，所述原料组合物中含有的所述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为800ppm以下，或者
8.根据权利要求6所述的树脂组合物，其中，将所述通式(3)及(4)所示的含硅化合物的总计质量作为基准，所述原料组合物中含有的所述通式(3)中n为4的化合物的总量多于0ppm且为30ppm以下，或者
9.一种树脂组合物，其包含：
10.一种树脂组合物，其包含：
11.一种树脂组合物，其包含：
12.根据权利要求6、7、8和11中任一项所述的树脂组合物，其中，所述通式(4)所示的含硅化合物的l1及l2各自独立地选自由氨基、酸酐基、环氧基、羟基和巯基组成的组。
13.根据权利要求6、7、8和11中任一项所述的树脂组合物，其中，所述通式(4)所示的含硅化合物的l1及l2为氨基。
14.根据权利要求6、7、8和11中任一项所述的树脂组合物，其中，所述通式(4)所示的含硅化合物的官能团当量为800以上。
15.根据权利要求6～8和11～14中任一项所述的树脂组合物，其中，所述四羧酸二酐为选自由均苯四酸二酐(pmda)、3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐(bpda)、9,9-双(3,4-二羧基苯基)芴二酸酐(bpaf)、4,4’-氧二邻苯二甲酸酐(odpa)、1,2,4,5-环己烷四羧酸二酐(hpmda)和1,2,3,4-环丁烷四羧酸二酐(cbda)组成的组中的至少一种。
16.根据权利要求6～8和11～14中任一项所述的树脂组合物，其中，所述二胺为选自由4,4’-二氨基二苯基砜(4,4’-das)、3,3’-二氨基二苯基砜(3,3’-das)、9,9-双(4-氨基苯基)芴(bafl)、2,2’-二甲基联苯胺(mtb)、对苯二胺(pda)、二氨基双(三氟甲基)联苯(tfmb)、2,2’-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷(bapp)、4,4’-二氨基二苯基醚(oda)和1,4-环己烷二胺(chda)组成的组中的至少一种。
17.根据权利要求1～16中任一项所述的树脂组合物，其中，将所述树脂组合物固化而得到的聚酰亚胺树脂膜被用于柔性基板。
18.根据权利要求1～16中任一项所述的树脂组合物，其中，将所述树脂组合物固化而得到的聚酰亚胺树脂膜被用于柔性显示器。
19.根据权利要求1～18中任一项所述的树脂组合物，其中，将所述树脂组合物的非溶剂成分的质量作为基准，通式(3)中n为3的化合物的总量设为d3(ppm)、n为4的化合物的总量设为d4(ppm)、n为5的化合物的总量设为d5(ppm)、n为6的化合物的总量设为d6(ppm)以及n为7的化合物的总量设为d7(ppm)时，d3+d4+d5+d6+d7小于2000ppm且d3+d4为10ppm以下。
20.一种树脂组合物的制造方法，其包括：使含有下述通式(4)所示的含硅化合物、和下述通式(3)所示的化合物的原料组合物，与四羧酸二酐及二胺进行缩聚反应而提供聚酰亚胺前体；或者将所述聚酰亚胺前体进行酰亚胺化而提供聚酰亚胺，
21.根据权利要求20所述的树脂组合物的制造方法，其中，
22.一种树脂组合物的制造方法，其包括：使含有下述通式(4)所示的含硅化合物、和下述通式(3)所示的化合物的原料组合物，与四羧酸二酐及二胺进行缩聚反应而提供聚酰亚胺前体；或者将所述聚酰亚胺前体进行酰亚胺化而提供聚酰亚胺，
23.根据权利要求20～22中任一项所述的树脂组合物的制造方法，其中，所述通式(4)所示的含硅化合物的官能团当量为800以上。
24.一种树脂组合物的制造方法，其包括：使含有下述通式(4)所示的含硅化合物、和下述通式(3)所示的化合物的原料组合物，与四羧酸二酐及二胺进行缩聚反应而提供聚酰亚胺前体；或者将所述聚酰亚胺前体进行酰亚胺化而提供聚酰亚胺，
25.根据权利要求20～24中任一项所述的方法，其中，所述通式(4)所示的含硅化合物的l1及l2各自独立地选自由氨基、酸酐基、环氧基、羟基和巯基组成的组。
26.根据权利要求20～24中任一项所述的方法，其中，所述通式(4)所示的含硅化合物的l1及l2为氨基。
27.根据权利要求20～26中任一项所述的方法，其中，所述四羧酸二酐为选自由均苯四酸二酐(pmda)、3,3’,4,4’-联苯四羧酸二酐(bpda)、9,9-双(3,4-二羧基苯基)芴二酸酐(bpaf)、4,4’-氧二邻苯二甲酸酐(odpa)、1,2,4,5-环己烷四羧酸二酐(hpmda)和1,2,3,4-环丁烷四羧酸二酐(cbda)组成的组中的至少一种。
28.根据权利要求20～26中任一项所述的方法，其中，所述二胺为选自由4,4’-二氨基二苯基砜(4,4’-das)、3,3’-二氨基二苯基砜(3,3’-das)、9,9-双(4-氨基苯基)芴(bafl)、2,2’-二甲基联苯胺(mtb)、对苯二胺(pda)、二氨基双(三氟甲基)联苯(tfmb)、2,2’-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷(bapp)、4,4’-二氨基二苯基醚(oda)和1,4-环己烷二胺(chda)组成的组中的至少一种。
29.一种聚酰亚胺薄膜的制造方法，其包括：
30.根据权利要求29所述的聚酰亚胺薄膜的制造方法，其中，在所述剥离工序之前还包括从所述支承体侧对所述树脂组合物照射激光的照射工序。
31.一种显示器的制造方法，其包括：
32.一种层叠体的制造方法，其包括：
33.根据权利要求32所述的层叠体的制造方法，其还包括将形成有所述元件的所述聚酰亚胺树脂膜从所述支承体剥离的工序。
34.一种柔性装置的制造方法，其包括利用权利要求32或33所述的方法制造层叠体。
35.一种聚酰亚胺薄膜，其为权利要求1～19中任一项所述的树脂组合物的固化物。
