本技术涉及低温接头领域，具体是一种低温真空馈入装置。
背景技术：
1、低温真空馈入结构用于将低温制冷剂流体(低温气体、低温液体)从低温制冷机管路传递至真空系统中。制冷剂通过在真空冷阱结构中循环从而将冷阱制冷，利用冷阱的低温表面捕集水汽等物质以实现快速达到预定真空目标或捕集工艺制程副产物达减少污染的目的。
2、现有的低温真空馈入结构主要为圆盘状法兰及杯状法兰。为实现冷量传递对密封圈密封效果的最小影响，现有圆盘法兰直径较长杯状法兰长度较长占用腔壁空间及设备外围空间；现有结构为实心结构受低温热传导影响产生形变及密封不良。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种低温真空馈入装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
3、一种低温真空馈入装置，包括具有中心通孔的盘状法兰，固定安装在盘状法兰一端的杯状法兰，穿设于杯状法兰与盘状法兰的制冷剂管路，设置于盘状法兰底端的密封圈，盘状法兰包括多个自外向内同轴套设的圆筒，相邻两个圆筒的端部密封以使杯状法兰上形成迂回腔室结构的热辐射隔离区。
4、作为本实用新型进一步的方案：所述热辐射隔离区包括与所述盘状法兰中心通孔相连通的真空隔离区，以及与外部大气相连通的大气隔离区，真空隔离区与大气隔离区间隔分布。
5、作为本实用新型进一步的方案：所述圆筒为三个或五个。
6、作为本实用新型进一步的方案：所述盘状法兰上开设有环向均匀分布的螺纹孔。
7、作为本实用新型进一步的方案：密封圈直径可大于螺纹孔均布直径。
8、作为本实用新型进一步的方案：所述盘状法兰的内壁上开设有环槽。
9、作为本实用新型进一步的方案：所述制冷剂管路设置多组。
10、作为本实用新型进一步的方案：所述制冷剂管路包括制冷剂输入管及制冷剂输出管。
11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12、本实用的杯状法兰采用迷宫式迂回结构设计，利用在杯状法兰上形成的热辐射隔离区，使得大部分冷量仅能按照实体结构路径传导，在有限空间内增加了冷量传递路径，减少冷量对密封圈的冷硬化作用，有效避免密封失效。
13、通过杯状法兰结构设计，改善了现有盘状法兰安装直径过大问题，达到了节省安装空间的效果。
14、通过利用杯状法兰的迷宫结构的微量形变，解决了冷量传导引起的密封面处真空泄漏问题，有效防止冷量传递导致的密封面形变，达到了与系统真空密封的效果，该结构的迷宫结构还可以使得因冷量传导引起的形变控制在非密封面区域，有效防止冷量传递导致的密封面形变，进一步提升密封可靠性。
1.一种低温真空馈入装置，其特征在于：包括具有中心通孔的盘状法兰，固定安装在盘状法兰一端的杯状法兰，穿设于杯状法兰与盘状法兰的制冷剂管路，设置于盘状法兰底端的密封圈，盘状法兰包括多个自外向内同轴套设的圆筒，相邻两个圆筒的端部密封以使杯状法兰上形成迂回腔室结构的热辐射隔离区。
2.根据权利要求1所述的低温真空馈入装置，其特征在于：所述热辐射隔离区包括与所述盘状法兰中心通孔相连通的真空隔离区，以及与外部大气相连通的大气隔离区，真空隔离区与大气隔离区间隔分布。
3.根据权利要求1或2所述的低温真空馈入装置，其特征在于：所述圆筒为三个或五个。
4.根据权利要求3所述的低温真空馈入装置，其特征在于：所述盘状法兰上开设有环向均匀分布的螺纹孔。
5.根据权利要求4所述的低温真空馈入装置，其特征在于：密封圈直径可大于螺纹孔均布直径。
6.根据权利要求3所述的低温真空馈入装置，其特征在于：所述盘状法兰的内壁上开设有环槽。
7.根据权利要求3所述的低温真空馈入装置，其特征在于：所述制冷剂管路设置多组。
8.根据权利要求7所述的低温真空馈入装置，其特征在于：所述制冷剂管路包括制冷剂输入管及制冷剂输出管。
