本技术涉及功能测试，尤其是涉及一种晶圆测试预警方法。
背景技术：
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工、制作各种电路元件结构，以使该硅晶片成为有特定电性功能的集成电路产品。而为了减小后续生产的集成电路产品质量不合格的可能性，一般需要对晶圆进行缺陷检测，以将具有缺陷的晶圆筛选出来。
2、目前，行业内主要采用人工目视检测的方式对晶圆进行检测。而采用人工目视检测的方式存在以下问题：通常晶圆的面积较小，人工目视检测的劳动强度大，且易受人工情绪、技术水平、判定标准等各方面因素影响，难以保证晶圆测试的稳定性和一致性，从而导致测试结果的准确度较低。
技术实现思路
1、为了改善人工测试晶圆难以保证晶圆测试的稳定性和一致性，从而导致测试结果的准确度较低的问题，本技术提供一种晶圆测试预警方法。
2、第一方面，本技术提供一种晶圆测试预警方法，采用如下的技术方案：
3、一种晶圆测试预警方法，所述方法包括：
4、获取待测试晶圆的待测试图像，所述待测试图像包括若干待测试区域；
5、随机提取多个所述待测试区域的特征矩阵，并将这些特征矩阵均作为参考特征矩阵；
6、根据所述参考特征矩阵得到待对比特征矩阵；
7、提取每一所述待测试区域的待测试特征矩阵，并将所述待测试特征矩阵均与所述待对比特征矩阵进行相似度对比，得到测试相似度；
8、当所述测试相似度满足缺陷条件时，视为检测到错误，此时触发预警。
9、通过采用上述技术方案，先获取待测试图像，并根据待测试图像中随机选取的待测试区域的参考特征矩阵得到待对比特征矩阵，以此，能够自动化地区分出待测试晶圆中不带有缺陷的待测试区域的待对比特征矩阵；再根据得到的待对比特征矩阵对参考特征矩阵进行相似度对比得到测试相似度，并在测试相似度满足缺陷条件时，触发预警。
10、由此，避免了人工目视检测，从而避免了检测结果受人工情绪、技术水平、判定标准等各方面因素影响的问题，有效改善了人工测试晶圆难以保证晶圆测试的稳定性和一致性，从而导致测试结果的准确度较低的问题。
11、在一个具体的可实施方案中，所述随机提取多个所述待测试区域的特征矩阵，并将这些特征矩阵均作为参考特征矩阵的步骤具体包括：
12、获取每一所述待测试区域的坐标信息；
13、随机选取一个所述待测试区域作为初始取样区域；
14、根据所述初始取样区域的所述坐标信息选取若干个其他的所述待测试区域作为后续取样区域；提取所述初始取样区域和所述后续取样区域的特征矩阵，并将这些特征矩阵均作为参考特征矩阵。
15、在一个具体的可实施方案中，所述后续取样区域的所述坐标信息与所述初始取样区域的所述坐标信息满足预设的相隔距离要求。
16、在一个具体的可实施方案中，若干个所述后续取样区域之间的所述坐标信息满足所述相隔距离要求。
17、在一个具体的可实施方案中，所述相隔距离要求指两个所述坐标信息之间的距离大于或等于预设的第一距离阈值。
18、通过采用上述技术方案，由于晶圆面内的缺陷分布可能根据缺陷的特定成因而呈现出特定的分布规律，因此，在挑选取样区域时还需要考虑排除晶圆面内缺陷分布的影响，避免过多地挑选到具有缺陷的取样区域，以确保从取样区域中提取的特征矩阵能够尽可能地代表晶圆面内正常的不带有缺陷的区域的特征矩阵。而通过选取坐标信息之间满足相隔距离要求，即来自待测试晶圆不同部分的后续取样区域和初始取样区域，能够大大提高使用参考特征矩阵代表晶圆正常区域的特征矩阵的准确性。
19、在一个具体的可实施方案中，所述根据所述参考特征矩阵得到待对比特征矩阵的具体步骤包括：
20、根据所述参考特征矩阵得到正态分布图，并根据所述正态分布图得到中间特征矩阵；
21、计算所有所述中间特征矩阵在每一位置上所有元素的平均值，并将这些平均值作为对应位置上的元素值，得到待对比特征矩阵。
22、在一个具体的可实施方案中，所述根据所述参考特征矩阵得到正态分布图，并根据所述正态分布图得到中间特征矩阵的具体步骤为：
23、随机选取一个参考特征矩阵，并计算该所述参考特征矩阵与其他的所述参考特征矩阵之间的相似度，得到对应每一其他的所述参考特征矩阵的第一相似度；
24、根据所有所述第一相似度得到正态分布图，所述正态分布图用于反映被选取的所述参考特征矩阵与其他的所述参考特征矩阵之间的相似度的分布情况；
25、将所述正态分布图中高峰区间内的所有所述第一相似度对应的参考特征矩阵作为中间特征矩阵。
26、通过采用上述技术方案，根据一个参考特征矩阵与其他的参考特征矩阵之间的第一相似度得到正态分布图，可以根据带有缺陷以及不带有缺陷的待检测区域的特征矩阵进行一个较为简单清晰的划分，以此再根据不带有缺陷的待检测区域的中间特征矩阵得到待对比特征矩阵，以此进一步提高以待对比特征矩阵代表晶圆正常区域的特征矩阵的准确性，从而提高了根据待对比特征矩阵对待测试晶圆进行测试得到的测试结果的精确性。
27、在一个具体的可实施方案中，所述缺陷条件包括第一条件和第二条件，所述第一条件为所述测试相似度小于预设的相似度阈值，所述第二条件为满足所述第一条件的所述测试相似度对应的所述待测试区域之间的距离小于预设的第二距离阈值；所述当所述测试相似度满足缺陷条件时，视为检测到错误，此时触发预警的步骤具体包括：
28、当所述测试相似度满足所述第一条件时，视为检测到错误并触发第一级别预警；
29、当所述测试相似度满足所述第二条件时，视为检测到错误并触发第二级别预警。
30、通过采用上述技术方案，由于有时晶圆表面的缺陷比较多却因为覆盖面积都较小对晶圆的正常运行影响不大，有时晶圆表面的缺陷很少却是覆盖面积较大导致影响了晶圆的正常运行，因此根据测试相似度不同的测试结果触发不同级别的预警有助于对晶圆的缺陷情况进行更详细的划分预警。
31、第二方面，本技术提供一种测试设备，采用如下的技术方案：
32、一种测试设备，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，所述至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集由所述处理器加载并执行以实现上述的一种晶圆测试预警方法。
33、第三方面，本技术提供一种计算机可读存储介质，采用如下的技术方案：
34、一种计算机可读存储介质，所述可读存储介质中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，所述至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集由处理器加载并执行以实现上述的一种晶圆测试预警方法。
35、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：
36、1.本技术避免了人工目视检测，从而避免了检测结果受人工情绪、技术水平、判定标准等各方面因素影响的问题，有效改善了人工测试晶圆难以保证晶圆测试的稳定性和一致性，从而导致测试结果的准确度较低的问题。
37、2.本技术中的测试步骤全程自动化，能够按照预设的方法步骤自动得到测试结果，减少了人工干预的需要，大大提高了测试效率。
38、3.本技术根据参考特征矩阵之间的正态分布图对带有缺陷以及不带有缺陷的待检测区域的特征矩阵进行划分，计算步骤简单且计算量不大，保证了测试结果的得出速度，并在同时提高了以待对比特征矩阵代表晶圆正常区域的特征矩阵的准确性，从而提高了根据待对比特征矩阵得到测试结果的精确性。
1.一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述随机提取多个所述待测试区域的特征矩阵，并将这些特征矩阵均作为参考特征矩阵的步骤具体包括：
3.根据权利要求２所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述后续取样区域的所述坐标信息与所述初始取样区域的所述坐标信息满足预设的相隔距离要求。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，若干个所述后续取样区域之间的所述坐标信息满足所述相隔距离要求。
5.根据权利要求3所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述相隔距离要求指两个所述坐标信息之间的距离大于或等于预设的第一距离阈值。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述根据所述参考特征矩阵得到待对比特征矩阵的具体步骤包括：
7.根据权利要求6所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述根据所述参考特征矩阵得到正态分布图，并根据所述正态分布图得到中间特征矩阵的具体步骤为：
8.根据权利要求1所述的一种晶圆测试预警方法，其特征在于，所述缺陷条件包括第一条件和第二条件，所述第一条件为所述测试相似度小于预设的相似度阈值，所述第二条件为满足所述第一条件的所述测试相似度对应的所述待测试区域之间的距离小于预设的第二距离阈值；所述当所述测试相似度满足缺陷条件时，视为检测到错误，此时触发预警的步骤具体包括：
9.一种测试设备，其特征在于，包括存储器和处理器，所述存储器中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，所述至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集由所述处理器加载并执行以实现如权利要求1至7任一所述的晶圆测试预警方法。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，所述至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集由处理器加载并执行以实现如权利要求1至7任一所述的晶圆测试预警方法。
