本技术属于镀膜装置的，涉及一种旋涂成膜装置。
背景技术：
1、现有的基片成膜设备，是通过在转盘上设置基片，然后通过滴胶装置将胶液滴落至基片表面，通过转盘带动基片转动，进而通过离心力使得胶液在基片表面旋涂形成胶体薄膜。但是，现有的基片成膜设备存在以下缺陷：
2、1、转盘带动基片转动时，胶液会从基片边缘飞溅滴落，造成工作区域污染同时造成胶液的浪费；
3、2、基片表面的胶体薄膜厚度难以控制，并且不能对基片表面的胶体薄膜的厚度进行有效检测；
4、3、基片表面的胶体薄膜面积较大时，胶体薄膜不同位置的固化速率不同，进而造成胶体薄膜固化后厚度不够均匀，且固化效率低下。
5、因此，针对现有的基片成膜设备存在的上述缺陷，本发明公开了一种均匀成膜装置。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种旋涂成膜装置，能够对基片边缘滴落的胶液进行遮挡收集，避免胶液飞溅浪费，同时能够对基片表面的胶液进行充分旋涂以及均匀加热，进而保证基片表面旋涂形成的胶体薄膜的厚度均匀，同时能够对胶体薄膜的厚度进行实时检测。
2、本实用新型通过下述技术方案实现：
3、一种旋涂成膜装置，包括承载石英基片的预热转台，所述预热转台的外侧设置有自身能够升降的升降挡胶罩；所述预热转台的上方设置有竖直升降装置，所述竖直升降装置的升降端上设置有密封罩，所述密封罩伴随竖直升降装置的升降与升降挡胶罩拼合或脱离，所述密封罩的内部对应预热转台的顶部设置有转动加热装置。
4、将石英基片放置固定在预热转台的顶部，并通过预热转台对石英基片进行预热，使得石英基片达到一定的初始温度。然后升降挡胶罩向上升起，使得升降挡胶罩的顶部端面高度高于石英基片的顶部端面高度。然后在基片的顶部滴胶，在滴胶过程中，通过预热转台同步带动石英基片转动，进而在离心力的作用下使得胶液均匀旋涂在石英基片的表面，同时通过升起的升降挡胶罩对从石英基片边缘滴落的胶液进行遮挡收集，避免胶液飞溅。胶液旋涂过程中，通过横移点胶检测装置中的检测部实时检测石英基片表面不同位置胶液的厚度，并将检测数据实时反馈发送至外部计算机，通过外部计算机解算胶液厚度，直到石英基片表面的胶液厚度达到厚度差小于等于标定值的均匀状态。横移点胶检测装置远离石英基片移动以预留出石英基片的顶部空间，然后竖直升降装置带动密封罩下降，使得密封罩与升降挡胶罩相互拼合构成将石英基片笼罩的密闭空间，同时通过密封罩内部的转动加热装置对石英基片的顶部进行均匀加热，配合预热转台对石英基片的底部进行加热，进而使得石英基片上的胶液加速固化。密封罩上的进气部与外部供气设备连接，外部供气设备通过供气部向密闭空间的内部充入气体，升降挡胶罩上的排气部则用于排出密闭空间中的气体以及胶液加热过程中产生的气体，通过控制进气部的进气量、流速，以及控制排气部的排气量与流速，进而使得密闭空间内的气压以及气体流场稳定，以辅助胶液在石英基片表面均匀分布。
5、为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述转动加热装置包括顶部升降装置、旋转装置、远红外加热仪，所述密封罩的顶部设置有顶部升降装置，所述顶部升降装置的升降端上设置有旋转装置，所述旋转装置的旋转端延伸至密封罩的内部，且旋转装置的旋转端上设置有远红外加热仪。
6、为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述顶部升降装置包括设置在密封罩顶部中心处的螺杆线性升降模组，螺杆线性升降模组的升降端上设置有旋转装置。
7、为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述旋转装置包括安装基座、转动环、外齿圈、驱动电机、驱动齿轮，安装基座的顶部与螺杆线性升降模组的升降端连接，安装基座的底部延伸至密封罩的内部并设置有安装孔，安装孔中通过轴承转动安装有转动环，转动环的外侧套装有外齿圈，外齿圈的一侧设置有驱动电机，驱动电机的输出轴上套装有与外齿圈啮合的驱动齿轮；所述转动环的底部则通过电滑环与远红外加热仪连接。
8、为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述预热转台与转动加热装置之间设置有横移点胶检测装置，所述横移点胶检测装置包括线性横移装置、电控滑台、点胶装置、膜厚检测仪，所述线性横移装置设置在预热转台的上方，所述线性横移装置的横移端能够在预热转台上方移动；所述线性横移装置的移动端上设置有电控滑台，所述电控滑台的两侧分别设置有点胶装置、膜厚检测仪。
9、为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述预热转台包括电动转台、导热载物台、基片夹具、预转动加热装置，所述电动转台的顶部安装有导热载物台，所述导热载物台的内部设置有预转动加热装置，所述导热载物台的顶部设置有基片夹具。
10、为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述基片夹具包括气动吸盘，所述气动吸盘设置在电动转台的顶部。
11、为了更好地实现本实用新型，进一步的，所述基片夹具包括固定夹块、活动夹块，至少两个固定夹块沿周向间隔设置在电动转台的顶部边缘处，所述活动夹块包括沿经过电动转台圆心的直径方向设置的伸缩夹持部，所述固定夹块、活动夹块构成夹持区域。
12、本实用新型与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：
13、（1）本发明通过预热转台带动石英基片进行转动，同时对石英基片的底部进行预热，使得石英基片达到初始温度，同时在石英基片顶部进行胶液旋涂的过程中，通过转动加热装置匹配预热转台的转速对石英基片的顶部进行均匀加热，进而提升了胶体薄膜的固化效率，同时保证了胶体薄膜不同位置的固化速率一致，进而保证了胶体薄膜固化成型后厚度的均匀性；
14、（2）本发明通过在预热转台的外侧设置能够升降的升降挡胶罩，在石英基片旋涂胶液的过程中，通过向上升起升降挡胶罩，使得升降挡胶罩的顶部高于石英基片的顶部，进而保证石英基片边缘飞溅滴落的胶液被升降挡胶罩遮挡收集，有效避免胶液飞溅造成污染，同时能够回收多余的胶液以降低成本；
15、（3）本发明通过在预热转台的顶部设置竖直升降装置，在石英基片旋涂胶液的过程中，通过竖直升降装置带动密封罩下降与处于升起状态的升降挡胶罩拼合构成密闭空间，使得石英基片位于密闭空间的内部，进而通过控制密封罩上的进气部以及升降挡胶罩上的排气部的气流流量，进而调控密闭空间内的气压以及气流流场区域稳定平衡的状态，进而避免气压过高或气流流场变化对胶液成膜厚度的均匀性造成影响。
1.一种旋涂成膜装置，其特征在于，包括承载石英基片的预热转台（1），所述预热转台（1）的外侧设置有自身能够升降的升降挡胶罩（2）；所述预热转台（1）的上方设置有竖直升降装置（3），所述竖直升降装置（3）的升降端上设置有密封罩（5），所述密封罩（5）伴随竖直升降装置（3）的升降与升降挡胶罩（2）拼合或脱离，所述密封罩（5）的内部对应预热转台（1）的顶部设置有转动加热装置（6）。
2.根据权利要求1所述的一种旋涂成膜装置，其特征在于，所述转动加热装置（6）包括顶部升降装置（61）、旋转装置（62）、远红外加热仪（63），所述密封罩（5）的顶部设置有顶部升降装置（61），所述顶部升降装置（61）的升降端上设置有旋转装置（62），所述旋转装置（62）的旋转端延伸至密封罩（5）的内部，且旋转装置（62）的旋转端上设置有远红外加热仪（63）。
3.根据权利要求2所述的一种旋涂成膜装置，其特征在于，所述顶部升降装置（61）包括设置在密封罩（5）顶部中心处的螺杆线性升降模组，螺杆线性升降模组的升降端上设置有旋转装置（62）。
4.根据权利要求3所述的一种旋涂成膜装置，其特征在于，所述旋转装置（62）包括安装基座、转动环、外齿圈、驱动电机、驱动齿轮，安装基座的顶部与螺杆线性升降模组的升降端连接，安装基座的底部延伸至密封罩（5）的内部并设置有安装孔，安装孔中通过轴承转动安装有转动环，转动环的外侧套装有外齿圈，外齿圈的一侧设置有驱动电机，驱动电机的输出轴上套装有与外齿圈啮合的驱动齿轮；所述转动环的底部则通过电滑环与远红外加热仪（63）连接。
5.根据权利要求1-4任一项所述的一种旋涂成膜装置，其特征在于，所述预热转台（1）与转动加热装置（6）之间设置有横移点胶检测装置（4），所述横移点胶检测装置（4）包括线性横移装置（41）、电控滑台（42）、点胶装置（43）、膜厚检测仪（44），所述线性横移装置（41）设置在预热转台（1）的上方，所述线性横移装置（41）的横移端能够在预热转台（1）上方移动；所述线性横移装置（41）的移动端上设置有电控滑台（42），所述电控滑台（42）的两侧分别设置有点胶装置（43）、膜厚检测仪（44）。
6.根据权利要求1-4任一项所述的一种旋涂成膜装置，其特征在于，所述预热转台（1）包括电动转台（11）、导热载物台（12）、基片夹具（13）、预转动加热装置（14），所述电动转台（11）的顶部安装有导热载物台（12），所述导热载物台（12）的内部设置有预转动加热装置（14），所述导热载物台（12）的顶部设置有基片夹具（13）。
7.根据权利要求6所述的一种旋涂成膜装置，其特征在于，所述基片夹具（13）包括气动吸盘，所述气动吸盘设置在电动转台（11）的顶部。
8.根据权利要求7所述的一种旋涂成膜装置，其特征在于，所述基片夹具（13）包括固定夹块、活动夹块，至少两个固定夹块沿周向间隔设置在电动转台（11）的顶部边缘处，所述活动夹块包括沿经过电动转台（11）圆心的直径方向设置的伸缩夹持部，所述固定夹块、活动夹块构成夹持区域。
