本技术涉及自动化生产设备，尤其是涉及一种基片升降机构。
背景技术：
1、自动化生产设备中，可设置用于顶升工件的升降机构，以适应生产过程中对工件搬运的需求，例如，半导体镀膜设备、蚀刻设备等设备在生产过程中，通常使用机械手对基片进行搬运，在此过程中，需先对基片进行顶升，而后再通过机械手对基片进行抓取和放置。顶升机构通常设有顶板，顶板通过多个顶针支撑基片，顶升时需保证基片尽可能处于水平状态，以避免基片滑落。相关技术中，可通过调整结构对顶板的俯仰角度进行调整，以使顶板多个顶针的端部均位于同一水平面内。但是，顶升时还应当保证基片的位置准确，以降低顶升时基片受到的支撑力不均衡，或抓取过程中机械手与基片发生磕碰导致基片损伤或掉落的可能性。
技术实现思路
1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种基片升降机构，能够降低顶升时基片受到的支撑力不均衡，或抓取过程中机械手与基片发生磕碰导致基片损伤或掉落的可能性。
2、本实用新型实施例提供的一种基片升降机构，包括：顶板组件，包括板体、多个顶针及顶杆，所述顶杆的一端连接于所述板体，多个所述顶针分布于所述板体并向远离所述板体的方向延伸，多个所述顶针远离所述板体的端部用于共同支撑基片；位置调节组件，包括活动块、固定座及多个位置调节件，所述固定座具有调节槽，所述活动块容纳于所述调节槽，所述调节槽的内侧壁与所述活动块的外侧壁之间具有间隔，所述位置调节件穿设于所述固定座的侧部并抵接于所述活动块的外侧壁，所述位置调节件能够沿其轴向相对所述固定座移动，多个所述位置调节件至少分布于所述固定座在第一方向上相对的两侧，所述顶杆远离所述板体的一端连接于所述活动块，所述顶杆的延伸方向与所述调节槽的底壁所在的平面交叉。
3、本实用新型实施例提供的基片升降机构，至少具有如下有益效果：本实用新型实施例提供的基片升降机构设置有位置调节组件，位置调节组件中，活动块的外侧壁与固定座的调节槽的内侧壁之间具有间隔，调节位置调节件相对固定座的侧部移动时，位置调节件的端部能够推动活动块在调节槽内移动，而活动块连接于顶板组件的顶杆，因此能够带动顶板组件整体移动以调节顶针的位置，使多个顶针支撑基片的位置更为准确，并使被顶升的基片本身的位置更为准确，降低顶升时基片受到的支撑力不均衡，或抓取过程中机械手与基片发生磕碰导致基片损伤或掉落的可能性。
4、在本实用新型的一些实施例中，所述位置调节组件还包括多个位置固定件，所述位置固定件穿设于所述固定座的侧部并连接于所述活动块，所述位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述固定座的外侧壁。
5、在本实用新型的一些实施例中，所述固定座包括底板、两个第一侧板及两个第二侧板，两个所述第一侧板与两个所述第二侧板均连接于所述底板，两个所述第一侧板、两个所述第二侧板与所述底板共同限定出所述调节槽，两个所述第一侧板在所述第一方向上相对设置，两个所述第二侧板在第二方向上相对设置，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，多个所述位置调节件分设于两个所述第一侧板及两个所述第二侧板。
6、在本实用新型的一些实施例中，所述位置调节组件还包括第一位置固定件，所述第一位置固定件穿设于所述第一侧板并连接于所述活动块，所述第一位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述第一侧板远离所述活动块的一侧；和/或，所述位置调节组件还包括第二位置固定件，所述第二位置固定件穿设于所述第二侧板并连接于所述活动块，所述第二位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述第二侧板远离所述活动块的一侧。
7、在本实用新型的一些实施例中，所述基片升降机构还包括第一角度调节组件，所述第一角度调节组件包括第一角度调节件，所述顶板组件还包括支撑板，所述支撑板连接于所述顶杆靠近所述板体的一端，所述第一角度调节件穿设于所述板体并抵接于所述支撑板，所述第一角度调节件能够沿其轴向相对所述板体移动。
8、在本实用新型的一些实施例中，所述第一角度调节组件还包括第一角度固定件，所述第一角度固定件穿设于所述板体并连接于所述支撑板，所述第一角度固定件远离所述支撑板的一端抵接于所述板体远离所述支撑板的一侧。
9、在本实用新型的一些实施例中，所述第一角度调节件的数量与所述顶针的数量相同，多个所述第一角度调节件与多个所述顶针均围绕所述顶杆的中心轴分布，在所述基片升降机构在垂直于所述板体的方向上的投影中，多个所述第一角度调节件一一对应地位于多个所述顶针与所述顶杆的中心轴的连线上。
10、在本实用新型的一些实施例中，所述基片升降机构还包括第二角度调节组件，所述第二角度调节组件包括第二角度调节件，所述第二角度调节件穿设于所述固定座的底部并抵接于所述活动块，所述第二角度调节件能够沿其轴向相对所述固定座的底部移动。
11、在本实用新型的一些实施例中，所述第二角度调节件的数量与所述顶针的数量相同，多个所述第二角度调节件与多个所述顶针均围绕所述顶杆的中心轴分布，在所述基片升降机构在垂直于所述板体的方向上的投影中，多个所述第二角度调节件一一对应地位于多个所述顶针与所述顶杆的中心轴的连线上。
12、在本实用新型的一些实施例中，所述第二角度调节组件还包括第二角度固定件，所述第二角度固定件穿设于所述活动块并连接于所述固定座的底部，所述第二角度固定件远离所述固定座的底部的一端抵接于所述活动块远离所述固定座的底部的一侧。
13、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
1.一种基片升降机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基片升降机构，其特征在于，所述位置调节组件还包括多个位置固定件，所述位置固定件穿设于所述固定座的侧部并连接于所述活动块，所述位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述固定座的外侧壁。
3.根据权利要求1所述的基片升降机构，其特征在于，所述固定座包括底板、两个第一侧板及两个第二侧板，两个所述第一侧板与两个所述第二侧板均连接于所述底板，两个所述第一侧板、两个所述第二侧板与所述底板共同限定出所述调节槽，两个所述第一侧板在所述第一方向上相对设置，两个所述第二侧板在第二方向上相对设置，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，多个所述位置调节件分设于两个所述第一侧板及两个所述第二侧板。
4.根据权利要求3所述的基片升降机构，其特征在于，所述位置调节组件还包括第一位置固定件，所述第一位置固定件穿设于所述第一侧板并连接于所述活动块，所述第一位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述第一侧板远离所述活动块的一侧；和/或，所述位置调节组件还包括第二位置固定件，所述第二位置固定件穿设于所述第二侧板并连接于所述活动块，所述第二位置固定件远离所述活动块的一端抵接于所述第二侧板远离所述活动块的一侧。
5.根据权利要求1所述的基片升降机构，其特征在于，所述基片升降机构还包括第一角度调节组件，所述第一角度调节组件包括第一角度调节件，所述顶板组件还包括支撑板，所述支撑板连接于所述顶杆靠近所述板体的一端，所述第一角度调节件穿设于所述板体并抵接于所述支撑板，所述第一角度调节件能够沿其轴向相对所述板体移动。
6.根据权利要求5所述的基片升降机构，其特征在于，所述第一角度调节组件还包括第一角度固定件，所述第一角度固定件穿设于所述板体并连接于所述支撑板，所述第一角度固定件远离所述支撑板的一端抵接于所述板体远离所述支撑板的一侧。
7.根据权利要求5所述的基片升降机构，其特征在于，所述第一角度调节件的数量与所述顶针的数量相同，多个所述第一角度调节件与多个所述顶针均围绕同一中心点分布，在所述基片升降机构在垂直于所述板体的方向上的投影中，多个所述第一角度调节件一一对应地位于多个所述顶针与所述中心点的连线上。
8.根据权利要求1或5所述的基片升降机构，其特征在于，所述基片升降机构还包括第二角度调节组件，所述第二角度调节组件包括第二角度调节件，所述第二角度调节件穿设于所述固定座的底部并抵接于所述活动块，所述第二角度调节件能够沿其轴向相对所述固定座的底部移动。
9.根据权利要求8所述的基片升降机构，其特征在于，所述第二角度调节件的数量与所述顶针的数量相同，多个所述第二角度调节件与多个所述顶针均围绕同一中心点分布，在所述基片升降机构在垂直于所述板体的方向上的投影中，多个所述第二角度调节件一一对应地位于多个所述顶针与所述中心点的连线上。
10.根据权利要求8所述的基片升降机构，其特征在于，所述第二角度调节组件还包括第二角度固定件，所述第二角度固定件穿设于所述活动块并连接于所述固定座的底部，所述第二角度固定件远离所述固定座的底部的一端抵接于所述活动块远离所述固定座的底部的一侧。
