本技术属于磷烷的金属检测领域，具体地说是一种磷烷检测吸收装置。
背景技术：
1、磷烷(ph3)是一种非常重要的电子气体，作为n型掺杂剂，在外延和离子注入工艺中起着十分关键的作用。同时磷烷也是合成化合物半导体磷砷化镓(gaasp)的重要原料。化合物半导体广泛应用于发光二极管(led)和高效太阳能电池的制造。
2、目前应用于电子行业的磷烷的纯度都在7n(99.99999％)左右，磷烷(ph3)合成不能通过简单的单质反应来实现，通常是使用金属磷化物水解来制备，在制备过程中，磷烷中可能会携带少量的金属离子，金属离子作为深能级杂质在大功率激光器外延生长过程对器件性能有明显影响，需要严格控制金属离子含量。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种磷烷检测吸收装置，以解决现有技术中磷烷中可能会携带少量的金属离子，金属离子作为深能级杂质在大功率激光器外延生长过程对器件性能有明显影响，需要严格控制金属离子含量等问题。
2、本实用新型的磷烷待测样品需要经过一定的前处理过程，所述前处理是在本申请的装置中进行的。
3、本实用新型还提供一种磷烷检测吸收装置，磷烷减压阀经球阀一与流量计连接；
4、氮气减压阀经球阀二与流量计连接；
5、流量计经管道与防倒吸瓶一连接；
6、防倒吸瓶一经管道与洗气瓶连接；
7、洗气瓶经管道与吸收瓶连接；
8、吸收瓶经管道与尾气吸收装置连接。
9、流量计与防倒吸瓶一的连接管道上通过管道与吸收瓶与尾气吸收装置的连接管道连接，所述管道上设置有球阀五。
10、流量计与防倒吸瓶一的连接管道上设置有球阀三，吸收瓶与尾气吸收装置的连接管道上设置有球阀四。
11、吸收瓶通过管道与防倒吸瓶二连接，防倒吸瓶二与尾气吸收装置连接，则流量计与防倒吸瓶一的连接管道上通过管道与防倒吸瓶二与尾气吸收装置的连接管道连接，所述管道上设置有球阀五。
12、防倒吸瓶一底部设置有防倒吸瓶液体采出口阀门一，防倒吸瓶二底部设置有防倒吸瓶液体采出口阀门二。
13、洗气瓶下部设置有洗气瓶液体采出口阀门，洗气瓶上部设置有加液管，所述加液管经洗气瓶加液泵连接，加液管上设置有洗气瓶加液管阀门。
14、吸收瓶下部设置有吸收瓶液体采出口阀门，吸收瓶上部设置有加液管，所述加液管经吸收瓶加液泵连接，加液管上设置有吸收瓶加液管阀门，所述吸收瓶底部设置有天平。
15、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
16、1.本实用新型设计了一套磷烷取样装置及取样流程，对洗气瓶、吸收瓶增加了密封加液管路和采出口，以及相应控制阀门，使加液和取样过程无需拆卸瓶身，简化了取样操作，并避免了拆卸瓶身时与空气接触造成污染。
17、2.本实用新型对磷烷的吸收过程设置了伴冷，并优选了伴冷温度和磷烷取样气流量，使吸收过程平稳进行。
18、4.采用本实用新型的装置优选了电子级双氧水作为磷烷取样的吸收液，使磷烷吸收产物简单，便于icp-ms上机检测。本实用新型中，使用电子级双氧水吸收磷烷后得到的溶液相对简单，主要成分是磷酸和水，不含有额外的酸性成分。这使得处理和预处理吸收后的溶液相对简单。而使用稀硝酸吸收磷烷后得到的溶液中除了磷酸之外还含有硝酸。因此，使用电子级双氧水吸收磷烷后得到的溶液相对简单和安全，减少了一些处理步骤和安全风险，使得吸收过程能够平稳进行。并且通过使用icp-ms优化方法参数后检测，具有较高的准确性和精确度，可以提供可靠的分析结果。
1.磷烷检测吸收装置，其特征在于，磷烷减压阀（1）经球阀一（2）与流量计（5）连接；
2.根据权利要求1所述的磷烷检测吸收装置，其特征在于，流量计（5）与防倒吸瓶一（6）的连接管道上通过管道与吸收瓶（8）与尾气吸收装置（10）的连接管道连接，所述管道上设置有球阀五（24）。
3.根据权利要求2所述的磷烷检测吸收装置，其特征在于，流量计（5）与防倒吸瓶一（6）的连接管道上设置有球阀三（22），吸收瓶（8）与尾气吸收装置（10）的连接管道上设置有球阀四（23）。
4.根据权利要求2所述的磷烷检测吸收装置，其特征在于，吸收瓶（8）通过管道与防倒吸瓶二（9）连接，防倒吸瓶二（9）与尾气吸收装置（10）连接，则流量计（5）与防倒吸瓶一（6）的连接管道上通过管道与防倒吸瓶二（9）与尾气吸收装置（10）的连接管道连接。
5.根据权利要求1所述的磷烷检测吸收装置，其特征在于，防倒吸瓶一（6）底部设置有防倒吸瓶液体采出口阀门一（16），防倒吸瓶二（9）底部设置有防倒吸瓶液体采出口阀门二（19）。
6.根据权利要求1所述的磷烷检测吸收装置，其特征在于，洗气瓶（7）下部设置有洗气瓶液体采出口阀门（17），洗气瓶（7）上部设置有加液管，所述加液管经洗气瓶加液泵（14）连接，加液管上设置有洗气瓶加液管阀门（20）。
7.根据权利要求1所述的磷烷检测吸收装置，其特征在于，吸收瓶（8）下部设置有吸收瓶液体采出口阀门（18），吸收瓶（8）上部设置有加液管，所述加液管经吸收瓶加液泵（15）连接，加液管上设置有吸收瓶加液管阀门（21），所述吸收瓶（8）底部设置有天平（11）。
