本发明涉及接合装置，且更加具体地，涉及能够实时测量加压尖端的平整度的接合装置。
背景技术：
通常，显示装置包括显示面板和驱动芯片，其中：显示面板包括多个像素，且驱动芯片用于驱动像素。驱动芯片布置在柔性膜上，并且柔性膜连接到显示面板。驱动芯片通过柔性膜连接到显示面板的像素。这种连接方式被定义为膜上芯片方式。
在柔性膜上布置有连接到驱动芯片的多个焊盘，并且显示面板包括连接到像素的多个连接焊盘。焊盘分别与连接焊盘接触并连接，从而使驱动芯片连接到像素。
焊盘与连接焊盘以各种方式进行连接。例如，焊盘的上部上布置有接合装置，并且接合装置向焊盘施加热量和压力。因此，焊盘与连接焊盘可以通过各向异性导电膜(acf，anisotropicconductivefilm)彼此电连接。
技术实现要素：
解决的技术问题
本发明的目的在于提供能够实时测量接合装置的加压部的平整度的接合装置。
问题的解决方案
根据本发明的实施方式的接合装置包括加热部、加压部、突出部和传感器部，其中：加热部包括热源并且在竖直方向上移动；加压部布置在加热部下方；突出部布置在加压部的侧表面上；以及传感器部在水平方向上与突出部间隔开。当加压部与加压对象接触时，传感器部测量限定在突出部上的多个测量部分的竖直位移。
发明的效果
根据本发明的实施方式，突出部布置在对加压对象进行加压的加压部的侧表面上，并且传感器部在水平方向上与突出部间隔开布置。当加压部与加压对象接触时，传感器部可以测量限定在突出部上的多个测量部分的竖直位移，从而测量加压部的平整度。
附图说明
图1是根据本发明的实施方式的接合装置的立体图。
图2是从一个方向观看图1的第一侧视图。
图3是从另一方向观看图1的第二侧视图。
图4a、图4b和图4c是示出图2所示的接合装置在竖直方向上移动的状态的图。
图5是示出在图4a、图4b和图4c中由传感器部测量的静电容量值的图。
图6是示例性示出图3所示的接合装置的加压部变形后的状态的图。
图7是示出在图6中由各传感器测量的静电容量值的图。
图8是示例性示出图3所示的接合装置的加压部变形后的另一状态的图。
图9是示出在图8中由各传感器测量的静电容量值的图。
附图标记的说明
bd：接合装置hp：加热部
cp：加压部bo1、bo2：第一主体、第二主体
ct：加压尖端hs：热源
ta：突出部sp：传感器部
co：螺栓
具体实施方式
在本说明书中，在提及某个构成要素(或区域、层、部分等)在另一构成要素“上”、“连接到”或“联接到”另一构成要素的情况下，其意味着可以直接布置在另一构成要素上、直接连接到或直接联接到另一构成要素，或者也可以在其之间布置有第三构成要素。
相同的附图标号指代相同的构成要素。此外，在附图中，为了对技术内容进行有效描述，构成要素的厚度、比例和尺寸被夸大。
“和/或”包括相关构成所能够限定的一个以上的组合中的全部。
虽然可以使用第一、第二等的术语来描述各种构成要素，但是上述构成要素不应被上述术语限制。上述术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素区分开的目的。例如，在不脱离本发明的权利范围的情况下，第一构成要素可以被称为第二构成要素，并且类似地，第二构成要素也可以被称为第一构成要素。除非上下文另有明确表示，否则单数的表达包括复数的表达。
另外，“下面”、“下侧”、“上面”、“上侧”等的术语用于描述图中所示的构成的关联关系。上述术语为相对概念，并且以图中标示的方向为基准进行描述。
除非另有定义，否则本说明书中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属的技术领域的技术人员所通常理解的含义相同的含义。另外，术语，诸如在通常所使用的字典中定义的术语，应被解释为具有与其在相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且不应以理想化或过于形式化的含义进行解释，除非在本文中明确地定义。
应理解，“包括”或“具有”等的术语旨在指定说明书中所记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或其组合的存在，但不提前排除一个或多个其他特征或数字、步骤、操作、构成要素、部件或其组合的存在或添加的可能性。
根据本发明的实施方式的接合装置可以用于将膜上芯片(chiponfilm)连接到显示面板(displaypanel)。具体地，接合装置可以通过施加热量和压力来将膜上芯片连接到显示面板。膜上芯片与显示面板之间可以布置有各向异性导电膜。当接合装置对膜上芯片施加热量和压力时，在各向异性导电膜内部，多个导电球可以在布置于膜上芯片上的焊盘与布置于显示面板上的连接焊盘之间进行排列。因此，膜上芯片和显示面板可以彼此电连接。
在下文中，将参考附图对根据本发明的实施方式的接合装置进行详细的描述。
图1是根据本发明的实施方式的接合装置的立体图。
图2是从一个方向观看图1的第一侧视图。
图3是从另一方向观看图1的第二侧视图。
图2是“从第一方向dr1观看”图1所示的接合装置时的图，并且图3是“从第二方向dr2观看”图1所示的接合装置时的图。为了便于描述，在图1和图3中省略了支承传感器部的固定部。
参考图1至图3，接合装置bd可以包括加压部cp、加热部hp、多个螺栓co、突出部ta和传感器部sp。
加压部cp可以布置在加热部hp下方。加压部cp可以包括加压尖端ct和第一主体bo1。
加压尖端ct可以布置在加压部cp的下部。加压尖端ct可以从第一主体bo1朝向下部方向延伸。加压尖端ct可以与加压对象(未示出)接触。接合装置bd可以通过加压尖端ct向加压对象施加压力和热量。例如，加压对象可以是膜上芯片。
加压尖端ct可以在第一方向dr1上延伸。当从第二方向dr2观看时，加压尖端ct可以在第一方向dr1上具有长边，并且在第三方向dr3上具有短边。
在下文中，第二方向dr2指示与第一方向dr1竖直交叉的方向。由第一方向dr1和第二方向dr2限定的平面可以与水平面平行。第三方向dr3可以指示与水平面垂直的方向。任何结构的“竖直位置”或“高度”可以表示第三方向dr3的位置。
第一主体bo1可以布置在加压尖端ct上部。第一主体bo1的第二方向dr2的宽度可以改变(参见图2)。具体地，第一主体bo1可以包括第一子主体sbo1和第二子主体sbo2。
第一子主体sbo1被限定为在第一主体bo1中第二方向dr2的宽度沿着第三方向dr3改变的部分，并且第二子主体sbo2被限定为在第一主体bo1中第二方向dr2的宽度保持一致的部分。
第一子主体sbo1可以布置在加压尖端ct上。第一子主体sbo1的第二方向dr2的宽度可以改变。第一子主体sbo1的下部与加压尖端ct连接，并且第一子主体sbo1的上部可以与第二子主体sbo2连接。第一子主体sbo1的第二方向dr2的宽度可以在下部最小，并且在上部最大。
当从第一方向dr1观看时，第一子主体sbo1的外侧表面(图2中的右侧)可以是倾斜面。第一子主体sbo1的内侧表面(图2中的左侧)可以同时包括倾斜面和竖直面。
当从第二方向dr2观看时，第一子主体sbo1可以具有矩形形状，该矩形形状在第一方向dr1上具有长边并且在第三方向dr3上具有短边。
第二子主体sbo2可以从第一子主体sbo1朝向上部延伸。第二子主体sbo2的第二方向dr2的宽度可以是一致的。
当从第一方向dr1观看时，第二子主体sbo2的外侧表面和内侧表面都可以与第三方向dr3平行。
当从第二方向dr2观看时，第二子主体sbo2可以具有矩形形状，该矩形形状在第一方向dr1上具有长边并且在第三方向dr3上具有短边。
在下文中，第一主体bo1的外侧表面osf被限定为第二子主体sbo2的外侧表面，并且第一主体bo1的内侧表面可以被限定为第一子主体sbo1的内侧表面和第二子主体sbo2的内侧表面。
加压部cp的加压尖端ct和第一主体bo1可以包括导电体。例如，加压部cp可以包括金属物质。
加压部cp的加压尖端ct与第一主体bo1可以一体地形成。然而，本发明不限制于此，并且加压尖端ct和第一主体bo1可以分别分开制造并彼此连接。
加热部hp可以布置在加压部cp上。加热部hp可以将热量施加到加压部cp。加热部hp的上部可以连接到压力传递部(未示出)和移动部(未示出)。压力传递部可以通过加热部hp将压力传递到加压部cp，并且移动部可以使接合装置bd移动。通过移动部，加热部hp和加压部cp可以在竖直方向(第三方向dr3)上移动。
加热部hp可以包括第二主体bo2和热源hs。第二主体bo2可以在第一方向dr1上延伸。
当从第一方向dr1观看时，第二主体bo2的下部的一部分可以具有突出的矩形形状。
当从第二方向dr2观看时，第二主体bo2可以具有矩形形状，该矩形形状在第一方向dr1上具有长边并且在第三方向dr3上具有短边。第二主体bo2的第一方向dr1的长度可以与第一主体bo1的第一方向dr1的长度相同。
第二主体bo2可以布置在加压部cp的第一主体bo1的内侧表面或上表面上。具体地，第二主体bo2的下表面可以与加压部cp的第一主体bo1的上表面面对。第二主体bo2的内侧表面可以与第一主体bo1的内侧表面面对。
第二主体bo2可以包括导电体。例如，第二主体bo2可以包括金属物质。
热源hs可以布置在第二主体bo2的内部。热源hs可以实现为一个以上的热丝。热源hs可以在第一方向dr1上延伸。热源hs可以在第三方向dr3上布置在比加压部cp高的位置处。热源hs产生热量，并且热量可以通过第二主体bo2被传递到加压部cp。
加压部cp和加热部hp可以分开制造并彼此连接。例如，加压部cp可以是在寿命结束时被替换的消耗品。
加压部cp可以通过多个螺栓co固定到加热部hp。
虽然在图1和图3中示出了5个螺栓co，但这仅仅是示例性的，且螺栓的数量不限制于此。
多个螺栓co可以布置在加压部cp的内侧表面与加热部hp的内侧表面之间。多个螺栓co可以将加压部cp物理地固定到加热部hp。
具体地，多个螺栓co可以沿着第一方向dr1彼此间隔开布置。多个螺栓co可以分别插入限定于加压部cp的第一主体bo1的外侧表面osf的螺栓孔(未示出)中。每个螺栓co可以贯通加压部cp的第一主体bo1并紧固到加热部hp。即，多个螺栓co可以在第二方向dr2上将加压部cp固定到加热部hp。
用户可以拧紧或松开多个螺栓co。例如，当需要替换加压部cp时，用户可以松开多个螺栓co以将安装的加压部cp与加热部hp分离。用户可以在加热部hp下方布置新的加压部cp，并且紧固多个螺栓co以将加压部cp固定到加热部hp。
然而，多个螺栓co不一定必须在第二方向dr2上进行紧固。多个螺栓co可以在不同的方向上进行紧固。例如，多个螺栓co可以在第三方向dr3上将加压部cp固定到加热部hp。具体地，多个螺栓co可以贯通加压部cp的第一主体bo1的上表面和加热部hp的第二主体bo2的下表面，以紧固到加热部hp的下部。多个螺栓co可以在第一方向dr1上彼此间隔开布置。
突出部ta可以布置在加压部cp的侧表面上。具体地，突出部ta可以布置在第一主体bo1的外侧表面osf上。突出部ta可以在第一方向dr1上延伸。当从第二方向dr2观看时，突出部ta可以具有矩形形状，该矩形形状在第一方向dr1上具有长边并且在第三方向dr3上具有短边。
突出部ta可以以第三方向dr3为基准布置在与多个螺栓co不同的高度处。突出部ta可以布置在第一主体bo1的外侧表面osf的下部区域中，并且多个螺栓co可以布置在第一主体bo1的外侧表面osf的上部区域中。因此，即使在布置有突出部ta的状态下，用户也可以拧紧或松开多个螺栓co。
突出部ta可以从加压部cp延伸。例如，突出部ta可以对包括金属物质的一物体进行成型，从而与加压部cp一体地形成。然而，突出部ta和加压部cp也可以分别分开制造并彼此连接。
突出部ta可以包括导电体。例如，突出部ta可以包括金属物质。然而，本发明不限制于此，并且突出部ta也可以包括绝缘体。
突出部ta上可以限定有多个测量部分。具体地，突出部ta上可以限定有第一测量部分ta1、第二测量部分ta2和第三测量部分ta3。
当从第二方向dr2观看时，第一测量部分ta1和第三测量部分ta3被限定为突出部ta的两侧的侧部，并且第二测量部分ta2可以被限定为突出部ta的中央部分。
第一测量部分ta1可以布置在第一主体bo1的外侧表面osf的一侧角落部分处。
第二测量部分ta2可以布置在第一主体bo1的外侧表面osf的中央部分处。
第三测量部分ta3可以布置在第一主体bo1的外侧表面osf的另一侧角落部分处。
如图1所示，突出部ta可以一体地形成。即，第一测量部分ta1、第二测量部分ta2和第三测量部分ta3可以彼此连接。然而，本发明不限制于此，并且第一测量部分ta1、第二测量部分ta2和第三测量部分ta3可以在第一方向dr1上彼此间隔开布置。例如，三个突出部可以分别分开形成并布置在第一主体bo1的外侧表面osf上。在这种情况下，第一测量部分ta1、第二测量部分ta2和第三测量部分ta3可以分别限定为一个突出部。
传感器部sp可以在水平方向上与突出部ta间隔开布置。当加压部cp接触加压对象时，传感器部sp可以实时测量限定在突出部ta上的多个测量部分的竖直位移。
具体地，传感器部sp可以包括第一传感器sp1、第二传感器sp2和第三传感器sp3。第一传感器sp1可以在第二方向dr2上与第一测量部分ta1间隔开布置。第二传感器sp2可以在第二方向dr2上与第二测量部分ta2间隔开布置。第三传感器sp3可以在第二方向dr2上与第三测量部分ta3间隔开布置。
第一传感器sp1、第二传感器sp2和第三传感器sp3可以在第一方向dr1上彼此间隔开布置。
传感器部sp的位置可以通过固定部fp固定(参见图2)。例如，固定部fp的上部可以连接到接合装置的支承结构(未示出)，并且下部可以与传感器部sp连接。因此，传感器部sp可以在竖直方向上被固定。
传感器部sp的中心部分的高度可以被限定为基准高度hs。
当指示基准高度hs的虚拟线穿过突出部ta的中心时，加压部cp的加压尖端ct可以与加压对象接触，以将热量和压力传递到加压对象。
此时，第一传感器sp1可以测量第一测量部分ta1的竖直位移，第二传感器sp2可以测量第二测量部分ta2的竖直位移，并且第三传感器sp3可以测量第三测量部分ta3的竖直位移。
传感器部sp可以包括静电容量传感器。第一传感器sp1、第二传感器sp2和第三传感器sp3可以是静电容量传感器。传感器部sp可以包括电极板(未示出)以测量静电容量。由传感器部sp测量的静电容量值可以与传感器部sp的电极板和邻近电极板的导电体之间的距离成反比。这里，导电体可以是突出部ta。
在下文中，将对突出部ta的竖直位置h与由传感器部sp测量的静电容量值c之间的关系进行详细描述。
图4a、图4b和图4c是示出图2所示的接合装置在竖直方向上移动的状态的图。
图5是示出在图4a、图4b和图4c中由传感器部测量的静电容量值的图。
在图4a、图4b和图4c中，假设突出部ta的第一测量部分ta1、第二测量部分ta2和第三测量部分ta3的竖直位置全部相同，并且加压部cp、加热部hp和突出部ta包括导电体。
参考图4a和图5，突出部ta的中心位于第一高度h1处。第一高度h1低于作为传感器部sp的中心高度的基准高度hs。在这种情况下，与传感器部sp面对的导电体是加压部cp的第一主体bo1。传感器部sp在第二方向dr2上与第一主体bo1间隔开第一距离d1。
当传感器部sp与第一主体bo1之间的距离为第一距离d1时，由传感器部sp测量的静电容量值c是第一电容c1。
随着加热部hp向上移动，突出部ta的中心的高度h可以从第一高度h1开始逐渐升高。传感器部sp的一部分可以与第一主体bo1面对，并且其余部分可以与突出部ta面对。随着加热部hp向上移动，与传感器部sp面对的突出部ta的区域可以逐渐增加。与传感器部sp面对的突出部ta的一部分区域可以用作导电体。由于传感器部sp与突出部ta之间的距离小于传感器部sp与第一主体bo1之间的距离，所以由传感器部sp测量的静电容量值c与第一电容c1相比可以逐渐增加。
参考图4b和图5，突出部ta的中心的高度h逐渐增加并位于第二高度h2处。第二高度h2可以与基准高度hs相等。在这种情况下，与传感器部sp面对的导电体是突出部ta。传感器部sp在第二方向dr2上与突出部ta间隔开第二距离d2。
第二距离d2可以被限定为当传感器部sp与导电体之间的距离最小时的距离。
当传感器部sp与突出部ta之间的距离为第二距离d2时，由传感器部sp测量的静电容量值c是第二电容c2。第二电容c2可以被限定为由传感器部sp测量的最大静电容量值。
参考图4c和图5，随着加热部hp继续向上移动，突出部ta的中心的高度h从第二高度h2移动到第三高度h3。
随着突出部ta的中心的高度h的提升，与传感器部sp面对的突出部ta的面积可以逐渐减小。在该区间中，由传感器部sp测量的静电容量值c可以逐渐减小。
当突出部ta的中心的高度h达到第三高度h3时，与传感器部sp面对的导电体可以是加压部cp的第一主体bo1。
传感器部sp可以与加压部cp的第一主体bo1间隔开第三距离d3。第三距离d3可以大于第二距离d2。
当传感器部sp与突出部ta之间的距离为第三距离d3时，由传感器部sp测量的静电容量值c是第三电容c3。第三电容c3可以小于第二电容c2。
结果，由传感器部sp测量的静电容量值c可以通过传感器部sp和与其面对的导电体之间的距离d来确定。
图6是示例性示出图3所示的接合装置的加压部变形后的状态的图。
图7是示出在图6中由各传感器测量的静电容量值的图。
图8是示例性示出图3所示的接合装置的加压部变形后的另一状态的图。
图9是示出在图8中由各传感器测量的静电容量值的图。在下文中，参考图6至图9，将描述根据加压部的平整度或倾斜度的改变的、各传感器测量的静电容量值的改变。
参考图6和图7，在将膜上芯片接合到显示面板的工艺中，加压部cp'的平整度可以改变。具体地，平整度可以表示与加压对象接触的加压尖端ct'的下表面的平整度。
加压尖端ct'的平整度可以根据诸多因素而变形。例如，加压尖端ct'的平整度的改变可能因加压部cp'与加热部hp之间的温度差、加压部cp'和加热部hp中包含的材料的物性(例如，热膨胀系数)差异等而发生。
在接合工艺中，加压尖端ct'的形状可以变形为向下鼓起。如果加压尖端ct'的形状变形为向下鼓起，则可能无法将适当的压力和热量传递到与加压尖端ct'的两侧接触的加压对象(即，膜上芯片)。因此，显示装置可能产生缺陷。
随着加压尖端ct'的形状的变形，布置在加压部cp'的侧表面上的突出部ta'的形状也可以变形为向下鼓起。
随着突出部ta'的形状的变形，由传感器sp1、sp2和sp3测量的静电容量值c可以会改变。具体地，限定在突出部ta'上的第二测量部分ta2'的竖直位置可以变得不同。这里，竖直位置可以表示中心的高度。
第二测量部分ta2'的竖直位置可以变得低于基准高度hs。第一测量部分ta1'的竖直位置可以与第三测量部分ta3'的竖直位置彼此相同。第一测量部分ta1'和第三测量部分ta3'的竖直位置也可以变低。然而，第一测量部分ta1'和第三测量部分ta3'的竖直位移与第二测量部分ta2'的竖直位移相比可以相当小。
随着第一测量部分ta1'和第三测量部分ta3'的竖直位置变低，由第一传感器sp1和第三传感器sp3测量的静电容量值ca可以小于第二电容c2。
随着第二测量部分ta2'的竖直位置变低，由第二传感器sp2测量的静电容量值cb可以小于第二电容c2。
由第一传感器sp1和第三传感器sp3测量的静电容量值ca可以大于由第二传感器sp2测量的静电容量值cb。
用户可以实时确认由第一传感器sp1、第二传感器sp2和第三传感器sp3测量的静电容量值c，并且可以通过测量的静电容量值c之间的差实时测量加压尖端ct'的平整度。
结果，传感器部sp可以实时测量限定在与加压尖端ct'一体变形的突出部ta'上的第一测量部分ta1'、第二测量部分ta2'和第三测量部分ta3'的竖直位移，从而测量加压部cp'的平整度。因此，在加压部的平整度出现问题的情况下，可以对其实时确认并采取措施，从而降低显示装置的缺陷率。
参考图8和图9，加压部cp”的倾斜度可以改变。这里，加压部cp”的倾斜度可以表示与加压对象接触的加压尖端ct”的倾斜度。例如，当从第二方向dr2观看时，加压尖端ct”的左侧和右侧的高度可以变得彼此不同。加压尖端ct”的倾斜度可以依据各个螺栓bo的结合程度而产生。
如图所示，在加压尖端ct”的右侧向下倾斜的情况下，可能无法将适当的压力和热量传递到膜上芯片的与加压尖端ct”的左侧接触的部分，由此显示装置可能会产生缺陷。
突出部ta"可以与加压尖端ct"一起倾斜。突出部ta"可以相对于第一方向dr1以顺时针方向倾斜角度α。因此，第二测量部分ta2"和第三测量部分ta3"可以移动到低于原来位置的位置。第三测量部分ta3"的竖直位移可以大于第二测量部分ta2"的竖直位移。第一测量部分ta1"也可以向下移动，但是第一测量部分ta1"的竖直位移与第二测量部分ta2"和第三测量部分ta3"的竖直位移相比可以相当小。
由第一传感器sp1测量的静电容量值cc可以小于第二电容c2。
由第二传感器sp2测量的静电容量值cd可以小于由第一传感器sp1测量的静电容量值cc。
由第三传感器sp3测量的静电容量值cf可以小于由第二传感器sp2测量的静电容量值cd。
即，在由第一传感器sp1、第二传感器sp2和第三传感器sp3测量的静电容量值c之中，在第一传感器sp1处最大，而在第三传感器sp3处最小。
用户可以基于由第一传感器sp1、第二传感器sp2和第三传感器sp3测量的静电容量值c实时测量加压尖端ct”的倾斜度。
结果，传感器部sp可以实时测量限定在与加压尖端ct”一体变形的突出部ta”上的第一测量部分ta1"、第二测量部分ta2"和第三测量部分ta3"的竖直位移，从而测量加压尖端ct”的倾斜度。因此，在加压尖端ct”的倾斜度出现问题的情况下，可以立即对加压尖端ct”的倾斜度采取措施，从而降低显示装置的缺陷率。
根据本发明的实施方式，接合装置bd还可以包括控制部。控制部可以控制移动部、加热部的操作等。控制部可以基于由传感器部sp测量的多个测量部分的竖直位移来控制移动部、加热部的操作。
再次参考图7，在由第一传感器sp1和第三传感器sp3测量的静电容量值ca与由第二传感器sp2测量的静电容量值cb的差大于规定值的情况下，控制部可以判断加压尖端ct的平整度出现问题，并且中断加热部hp的操作。规定值可以由用户设置。例如，用户可以考虑接合工艺中需要的加压尖端的平整度的程度来设置规定值。
再次参考图9，在由第一传感器sp1测量的静电容量值cc与由第三传感器sp3测量的静电容量值cf的差大于规定值的情况下，控制部可以判断加压尖端ct的倾斜度出现问题，并且中断加热部hp的操作。可以考虑接合工艺中需要的加压尖端ct的倾斜度来设置规定值。
结果，在加压尖端ct的平整度或倾斜度出现问题的情况下，接合装置bd的控制部可以中断加热部hp的操作，从而提高接合工艺的完成度，并且降低显示装置的缺陷率。
虽然在上文中参考实施方式进行了描述，但是该技术领域的技术人员将可以理解，在不脱离所附的权利要求书中记载的本发明的思想及领域的范围内，可以对本发明进行各种修改和变更。
例如，突出部可以包括绝缘体。在这种情况下，突出部可以用作具有特定介电常数的介电体。由各传感器测量的静电容量值可以根据介电常数而变得不同。作为另一示例，传感器部也可以被实现为激光装置。在这种情况下，传感器部可以基于激光反射到物体并返回的时间信息来判断各个位点的竖直位置。
本发明中记载的实施方式并不用于限定本发明的技术思想，而应解释为所附的权利要求书以及与其等同范围内的所有技术思想均包含在本发明的权利范围内。
1.接合装置，包括：
加热部，包括热源并且在竖直方向上移动；
加压部，布置在所述加热部下方；
突出部，布置在所述加压部的侧表面上；以及
传感器部，在水平方向上与所述突出部间隔开，
其中，当所述加压部与加压对象接触时，所述传感器部测量限定在所述突出部上的多个测量部分的竖直位移。
2.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述加压部在第一方向上延伸，以及
所述突出部布置在所述加压部的在与所述第一方向交叉的第二方向上彼此相反的两个侧表面中的任何一个侧表面上。
3.根据权利要求2所述的接合装置，其中，所述加压部包括：
主体，布置在所述加热部下方；以及
加压尖端，从所述主体朝向下部方向延伸，
其中，所述突出部布置在所述主体的在所述第一方向上延伸的外侧表面上。
4.根据权利要求3所述的接合装置，其中，所述传感器部测量限定在所述突出部上的第一测量部分、第二测量部分和第三测量部分的竖直位移，
所述第一测量部分布置在所述主体的所述外侧表面的一侧角落部分处，
所述第二测量部分布置在所述主体的所述外侧表面的中央部分处，以及
所述第三测量部分布置在所述主体的所述外侧表面的另一侧角落部分处。
5.根据权利要求4所述的接合装置，其中，所述第一测量部分、所述第二测量部分和所述第三测量部分在所述第一方向上彼此间隔开布置。
6.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述传感器部包括：
多个传感器，分别与所述突出部的所述多个测量部分对应。
7.根据权利要求6所述的接合装置，其中，所述传感器部包括多个静电容量传感器。
8.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述突出部包括导电体。
9.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述突出部包括绝缘体。
10.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述突出部从所述加压部延伸。
11.根据权利要求1所述的接合装置，其中，所述加压部通过多个螺栓固定到所述加热部。
12.根据权利要求11所述的接合装置，其中，所述多个螺栓布置在所述加压部的与所述侧表面相反的另一侧表面与所述加热部的侧表面之间，所述加热部的所述侧表面面对所述加压部的所述另一侧表面。
13.根据权利要求11所述的接合装置，其中，所述多个螺栓布置在所述加压部的上表面与所述加热部的下表面之间，所述加热部的所述下表面面对所述加压部的所述上表面。
14.根据权利要求1所述的接合装置，还包括：
控制部，接收由所述传感器部测量的所述竖直位移，并且基于所测量的所述竖直位移控制所述加热部的操作。
15.根据权利要求14所述的接合装置，其中，当所述多个测量部分中的一个测量部分的竖直位移与所述多个测量部分中的另一测量部分的竖直位移的差大于规定值时，所述控制部中止所述加热部的操作。
技术总结