金属蒸镀机用电子枪保护装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及金属蒸镀机用电子枪保护装置。


背景技术：

2.金属蒸镀机采用真空电子束蒸镀技术，参考申请号为201920305346.0、名称为蒸发台坩埚装置及蒸发台系统的中国实用新型专利。高真空条件下，蒸发材料置于水冷坩埚中，利用电子束直接加热，使蒸发材料汽化并在衬底上凝结形成薄膜，给灯丝两端加负高压，灯丝引出的自由电子通过聚束电极进行方向汇聚，再通过加速电压使电子流产生加速，再通过磁场产生洛伦兹力使其偏转270度，垂直轰击到蒸发材料上。
3.电子枪保护装置一般位于灯丝上方，为一体成型的板材，其主要作用是防止灯丝被污染。现有的保护装置在长时间作业后，边缘处会有金属附着物产生。随着附着物的累积，最终会掉落到灯丝上方，从而导致灯丝短路，必须开腔处理异常。开腔之后片源表面的金属会被空气氧化，需要返工处理，造成人力物力的浪费。


技术实现要素：

4.为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种避免灯丝短路的金属蒸镀机用电子枪保护装置。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：金属蒸镀机用电子枪保护装置，包括安装板和立板；
6.所述安装板和立板相互垂直；
7.所述安装板和立板的中部均具有下沉部，所述安装板位于下沉部设有供电子束通过的通孔；
8.所述安装板和立板的两边均设有安装耳片，所述安装板的安装耳片用以连接坩埚转盘，所述立板的安装耳片与安装板连接。
9.进一步地，所述安装板的下沉部的深度范围为15cm～16cm。
10.进一步地，所述立板的下沉部的深度范围为11cm～13cm。
11.进一步地，所述安装板在安装耳片处设有用以连接坩埚转盘的锁孔，所述立板在安装耳片处设有用以连接述安装板的锁孔。
12.进一步地，所述立板在安装耳片处设有连接耳片，所述连接耳片上设有用以连接述安装板的锁孔。
13.本实用新型的有益效果在于：提供一种金属蒸镀机用电子枪保护装置，包括分体设计的安装板和立板，安装板设置下沉部，中间留空让电子束通过从而加热金属材料，采用分体设计的好处在于安装结构的可调性好，可降低金属累积量，拆装便捷，方便对累积的金属进行清理，减少了加工难度，降低了加工成本，可避免保护装置与坩埚转盘接触部位累积金属，杜绝金属附着物掉落引发短路的隐患。
附图说明
14.图1所示为本实用新型实施例的金属蒸镀机用电子枪保护装置的结构示意图；
15.图2所示为本实用新型实施例的金属蒸镀机用电子枪保护装置的结构示意图；
16.图3所示为本实用新型实施例的金属蒸镀机用电子枪保护装置的结构示意图；
17.标号说明：
18.1、安装板；11、下沉部；12、通孔；13、安装耳片；2、立板；21、连接耳片；3、锁孔。
具体实施方式
19.为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
20.本实用新型提供一种金属蒸镀机用电子枪保护装置，应用在金属蒸镀机设备当中。
21.请参照图1至图3所示，本实用新型的金属蒸镀机用电子枪保护装置，包括安装板1和立板2；
22.所述安装板1和立板2相互垂直；
23.所述安装板1和立板2的中部均具有下沉部11，所述安装板1位于下沉部11设有供电子束通过的通孔12；
24.所述安装板1和立板2的两边均设有安装耳片13，所述安装板1的安装耳片13用以连接坩埚转盘，所述立板2的安装耳片13与安装板1连接。
25.从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：提供一种金属蒸镀机用电子枪保护装置，包括分体设计的安装板1和立板2，安装板1设置下沉部11，中间留空让电子束通过从而加热金属材料，采用分体设计的好处在于安装结构的可调性好，可降低金属累积量，拆装便捷，方便对累积的金属进行清理，减少了加工难度，降低了加工成本，可避免保护装置与坩埚转盘接触部位累积金属，杜绝金属附着物掉落引发短路的隐患。
26.在可选实施例中，所述安装板1的下沉部11的深度范围为15cm～16cm。
27.在可选实施例中，所述立板2的下沉部11的深度范围为11cm～13cm。
28.从上述描述可知，现有的保护装置的高度设计存在不合理，其与坩埚转盘之间的缝隙过大，当发生片源掉落问题时，若刚好掉落到缝隙中，会造成灯丝短路，需要开腔处理异常，当下沉部11距离过小，无法满足电子束通过要求。
29.在可选实施例中，所述安装板1在安装耳片13处设有用以连接坩埚转盘的锁孔3，所述立板2在安装耳片13处设有用以连接述安装板1的锁孔3。
30.在可选实施例中，所述立板2在安装耳片13处设有连接耳片21，所述连接耳片21上设有用以连接述安装板1的锁孔3。
31.从上述描述可知，锁孔3起到连接锁紧的作用。
32.请参照图1至图3所示，本实用新型的实施例一为：金属蒸镀机用电子枪保护装置，包括安装板1和立板2；
33.所述安装板1和立板2相互垂直；
34.所述安装板1和立板2的中部均具有下沉部11，所述安装板1位于下沉部11设有供电子束通过的通孔12；
35.所述安装板1和立板2的两边均设有安装耳片13，所述安装板1的安装耳片13用以连接坩埚转盘，所述立板2的安装耳片13与安装板1连接。
36.所述安装板1的下沉部11的深度范围为15.5cm。所述立板2的下沉部11的深度范围为12cm。所述安装板1在安装耳片13处设有用以连接坩埚转盘的锁孔3，所述立板2在安装耳片13处设有连接耳片21，所述连接耳片21上设有用以连接述安装板1的锁孔3。
37.请参照图1至图3所示，本实用新型的实施例二与实施例一的区别在于：所述安装板1的下沉部11的深度范围为15cm。所述立板2的下沉部11的深度范围为11cm。
38.请参照图1至图3所示，本实用新型的实施例三与实施例一的区别在于：所述安装板1的下沉部11的深度范围为16cm。所述立板2的下沉部11的深度范围为13cm。
39.综上所述，本实用新型提供一种金属蒸镀机用电子枪保护装置，包括分体设计的安装板和立板，安装板设置下沉部，中间留空让电子束通过从而加热金属材料，采用分体设计的好处在于安装结构的可调性好，可降低金属累积量，拆装便捷，方便对累积的金属进行清理，减少了加工难度，降低了加工成本，可避免保护装置与坩埚转盘接触部位累积金属，杜绝金属附着物掉落引发短路的隐患。
40.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。


技术特征：
1.金属蒸镀机用电子枪保护装置，其特征在于，包括安装板(1)和立板(2)；所述安装板(1)和立板(2)相互垂直；所述安装板(1)和立板(2)的中部均具有下沉部(11)，所述安装板(1)位于下沉部(11)设有供电子束通过的通孔(12)；所述安装板(1)和立板(2)的两边均设有安装耳片(13)，所述安装板(1)的安装耳片(13)用以连接坩埚转盘，所述立板(2)的安装耳片(13)与安装板(1)连接。2.根据权利要求1所述的金属蒸镀机用电子枪保护装置，其特征在于，所述安装板(1)的下沉部(11)的深度范围为15cm～16cm。3.根据权利要求1所述的金属蒸镀机用电子枪保护装置，其特征在于，所述立板(2)的下沉部(11)的深度范围为11cm～13cm。4.根据权利要求1所述的金属蒸镀机用电子枪保护装置，其特征在于，所述安装板(1)在安装耳片(13)处设有用以连接坩埚转盘的锁孔(3)，所述立板(2)在安装耳片(13)处设有用以连接述安装板(1)的锁孔(3)。5.根据权利要求1所述的金属蒸镀机用电子枪保护装置，其特征在于，所述立板(2)在安装耳片(13)处设有连接耳片(21)，所述连接耳片(21)上设有用以连接述安装板(1)的锁孔(3)。

技术总结
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及金属蒸镀机用电子枪保护装置，包括安装板和立板；所述安装板和立板相互垂直；所述安装板和立板的中部均具有下沉部，所述安装板位于下沉部设有供电子束通过的通孔；所述安装板和立板的两边均设有安装耳片，所述安装板的安装耳片用以连接坩埚转盘，所述立板的安装耳片与安装板连接。本实用新型提供的金属蒸镀机用电子枪保护装置采用分体设计，可调性好，可降低金属累积量，拆装便捷，方便对累积的金属进行清理，减少了加工难度，降低了加工成本，可避免保护装置与坩埚转盘接触部位累积金属，杜绝金属附着物掉落引发短路的隐患。着物掉落引发短路的隐患。着物掉落引发短路的隐患。


技术研发人员：林亮 刘莹 吴泽刚
受保护的技术使用者：福建兆元光电有限公司
技术研发日：2022.08.31
技术公布日：2023/2/9