防水MEMS麦克风的制作方法

    专利2022-07-07  137


    本发明涉及声电技术领域,更为具体地,涉及一种防水mems麦克风。



    背景技术:

    mems(micro-electro-mechanicalsystem,微电子机械系统)麦克风被批量应用到手机、笔记本电脑等需要防水装置的电子产品中,为了适应应用到防水装置中,在mems麦克风结构中设置了防水膜,形成防水mems麦克风。

    其中,现有的防水mems麦克风包括由金属外壳和pcb板组成的封装结构,在封装结构内部的pcb板上设置有asic芯片和mems芯片,其中,在mems芯片与pcb板相固定的位置设置有金属网,在金属网与pcb板之间设置有防水膜。

    这种设计结构,防水膜虽然可以防水,但是当麦克风长期工作在水下时,防水膜在压力作用下因产生形变过大而失效,进而影响mems麦克风产品的性能。

    为了解决上述问题,亟需一种新的防水mems麦克风。



    技术实现要素:

    鉴于上述问题,本发明的目的是提供一种防水mems麦克风,以解决现有的防水mems麦克风的防水膜在压力的作用下发生形变,而导致影响防水mems麦克风性能的问题。

    本发明提供的防水mems麦克风,包括由金属外壳和pcb板形成的封装结构,在所述封装结构的内部的pcb板上设置有mems芯片,在所述pcb板上还设置有与所述mems芯片相对应的声孔,其中,

    设置在所述pcb板的声孔为微孔结构;

    在所述封装结构的外部的pcb板上嵌设有与所述声孔相对应的防水结构,其中,

    所述防水结构包括防水膜和pi层,所述防水膜设置在所述pcb板与所述pi层之间。

    此外,优选的结构是,所述防水结构还包括间隔设置的两层热压粘合层,其中,

    所述两层热压粘合层中其中一层热压粘合层设置在所述pcb板与所述防水膜之间;

    所述两层热压粘合层中另外一层热压粘合层设置在所述pi层与所述防水膜之间。

    此外,优选的结构是,在所述pi层上设置有至少两个以上的微孔,其中,

    所述微孔的孔径为5~10μm。

    此外,优选的结构是,所述防水膜的面积大于所述pcb板的面积的5%。

    此外,优选的结构是,所述防水膜的上表面与所述pcb板的设置有所述mems芯片的一面的垂直距离大于50um;所述防水膜的下表面与所述pi层之间的垂直距离大于50um。

    此外,优选的结构是,在所述pcb板上设置有用于嵌设所述防水结构的凹槽,其中,

    所述防水结构通过密封胶密封固定在所述凹槽内。

    此外,优选的结构是,在所述封装结构内部还设置有asic芯片,并且,所述asic芯片、所述mems芯片均通过热熔胶或者环氧树脂固定设置在所述pcb板上。

    此外,优选的结构是,所述mems芯片与所述asic芯片之间、所述asic芯片与所述pcb板之间均通过金线电连接。

    此外,优选的结构是,所述金属外壳通过锡膏或者胶水与所述pcb板相固定。

    从上面的技术方案可知,本发明提供的防水mems麦克风,通过将防水结构嵌设在封装结构的外部的pcb板上,防水结构包括防水膜、pi层,防水膜设置pi层与pcb板之间,同时在pi层上设置有微孔结构,在pcb板的声孔也是微孔结构,从而使得pi层与pcb板保护防水膜不会因压力的作用下发生变形而失效,提高防水mems麦克风的声学性能。

    附图说明

    通过参考以下结合附图的说明书内容,并且随着对本发明的更全面理解,本发明的其它目的及结果将更加明白及易于理解。在附图中:

    图1为根据本发明实施例的防水mems麦克风结构示意图;

    图2为根据本发明实施例的防水结构示意图;

    图3-1和图3-2分别为根据本发明实施例的pi层结构示意图;

    图4为根据本发明实施例的pcb板结构示意图。

    其中的附图标记包括:1、金属外壳,2、pcb板,21、声孔,3、mems芯片,4、saic芯片,5、密封胶,6、金线,7、金线,8、防水结构,81、第一热压粘合层,82、防水膜,83、第二热压粘合层,84、pi层,841、微孔。

    在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。

    具体实施方式

    针对前述提出的解决现有的防水mems麦克风的防水膜在压力的作用下发生形变,而导致影响防水mems麦克风性能的问题,本发明提供了一种防水mems麦克风,通过改变防水结构而解决上述问题。

    以下将结合附图对本发明的具体实施例进行详细描述。

    为了说明本发明提供的防水mems麦克风的结构,图1至图4从不同角度对防水mems麦克风的结构进行了示例性标示。具体地,图1示出了根据本发明实施例的防水mems麦克风结构;图2示出了根据本发明实施例的防水结构;图3-1和图3-2分别示出了根据本发明实施例的pi层结构;图4示出了根据本发明实施例的pcb板结构。

    如图1至图4共同所示,本发明提供的防水mems麦克风,包括由金属外壳1和pcb板2形成的封装结构,在封装结构的内部的pcb板2上设置有mems芯片3,在pcb板2上还设置有与mems芯片3相对应的声孔21,其中,在封装结构的外部的pcb板2上嵌设有与声孔21相对应的防水结构8,其中,防水结构8包括防水膜82和pi(聚酰亚胺)层84,防水膜82设置在pcb板2与pi层84之间。

    其中,防水结构8还包括间隔设置的两层热压粘合层,其中,两层热压粘合层中其中一层热压粘合层设置在pcb板2与防水膜82之间;两层热压粘合层中另外一层热压粘合层设置在pi层84与防水膜82之间。

    在图2所示的实施例中,防水结构从上到下依次包括:第一热压粘合层81、防水膜82、第二热压粘合层83和pi层84,防水膜82设置在第一热压粘合层81与第二热压粘合层83之间,第二热压粘合层83设置在防水膜82与pi层84之间,第一热压粘合层81设置在pcb板2与防水膜82之间;即:防水膜82设置在pcb板2与pi层84之间

    其中,热压粘合层为haf层,haf为高性能的热敏酚醛树脂或聚氨酯的制作成的粘合剂,在本发明的实施例中,热压粘合层不但起到热压粘合作用,还起到支撑防水膜82和pi层84的作用。

    其中,pi是聚酰亚胺的缩写,pi材料是具有优异的机械性能的工程塑料,具有重量轻、厚度薄、弯折性好的特点,在pi层84上设置有至少两个以上的微孔,在图3-1和图3-2所示的实施例中,pi层84中设置有若干个微孔841,微孔841在pi层84的分别如图3-1和图3-2所示,在具体应用中,可根据实际情况,选择合适的微孔分布。

    其中,微孔的孔径可以根据实际需求自行设定,一般来说,微孔的孔径为5~10μm,相邻的微孔之间间隔1~3μm,既保证了pi层的支撑强度,又使得pi层的声阻极小,满足mems麦克风的使用需求。

    在图4所示的实施例中,pcb板2的声孔21为微孔结构,因此pi层84的微孔、pcb板的声孔21的微孔以及mems芯片3的背腔相连通。

    在本发明的实施例中,防水结构8的第一热压粘合层81与pcb板2的与设置有声孔21的一面相固定,防水结构8的pi层84与外部相连通;也就是说,防水膜82设置在pcb板2与pi层84之间,并且同时在pi层上设置有微孔结构,在pcb板的声孔也是微孔结构,从而使得pi层与pcb板保护防水膜不会因压力的作用下发生变形而失效,提高防水mems麦克风的声学性能。

    在本发明的实施例中,为了实现良好的声学性能,防水膜82的面积大于要占pcb板总面积的5%,并且,防水膜82的上表面与pcb板2的设置有mems芯片3的一面的垂直距离大于50um;防水膜82的下表面与pi层84之间的垂直距离大于50u,而这种防水结构设计不需要额外的保护网或者保护片,从而能够有效减小整个防水结构的高度,使得mems麦克风的尺寸相应减小,并适应性往小型化发展。

    在本发明的实施例中,在pcb板2上设置有凹槽,防水结构8通过凹槽嵌设在pcb板2上,在设置有防水结构8的凹槽的缝隙中填充有密封胶5,通过密封胶5增加mem麦克风的密封性和防水性。采用本发明的实施例的防水结构设计不但能够减少产品的尺寸大小,还能够对防水膜82起到更好的保护作用,同时还能保证mems麦克风的产品性能。

    此外,在本发明的实施例中,在封装结构内部还设置有asic芯片4,mems芯片3、asic芯片4均通过热熔胶或者环氧树脂固定在所述pcb板2上,mems芯片3与asic芯片4之间通过金线6电连接,asic芯片4与所述pcb板2之间通过金线7电连接,金属外壳1通过锡膏或者胶水与pcb板2相固定。

    在本发明的实施例中,声音通过pi层84的微孔、声孔21作用于mems芯片3;mems芯片3将接收到的声音信号转换成模拟信号,并通过金线6传递至asic芯片4;asic芯片4将接收到的模拟信号转换成数字信号,并进行信号放大及校准等处理,将处理后的数字信号通过金线7传输至pcb板2,同时pcb板2中的数字信号直接传输终端设备上,从而实现了信号从防水mems麦克风传输至终端设备。

    通过上述实施方式可以看出,本发明提供的防水mems麦克风,防水mems麦克风,通过将防水结构嵌设在在封装结构的外部的pcb板上,防水结构包括防水膜、pi层,防水膜设置pi层与pcb板之间,同时在pi层上设置有微孔结构,在pcb板的声孔也是微孔结构,从而使得pi层与pcb板保护防水膜不会因压力的作用下发生变形而失效,提高防水mems麦克风的声学性能。

    如上参照附图以示例的方式描述了根据本发明提出的防水mems麦克风。但是,本领域技术人员应当理解,对于上述本发明所提出的防水mems麦克风,还可以在不脱离本发明内容的基础上做出各种改进。因此,本发明的保护范围应当由所附的权利要求书的内容确定。


    技术特征:

    1.一种防水mems麦克风,包括由金属外壳和pcb板形成的封装结构,在所述封装结构的内部的pcb板上设置有mems芯片,其特征在于,

    在所述pcb板上设置有与所述mems芯片相对应的声孔,在所述封装结构的外部的pcb板上嵌设有与所述声孔相对应的防水结构,其中,

    设置在所述pcb板的声孔为微孔结构;

    所述防水结构包括防水膜和pi层,所述防水膜设置在所述pcb板与所述pi层之间。

    2.如权利要求1所述的防水mems麦克风,其特征在于,

    所述防水结构还包括间隔设置的两层热压粘合层,其中,

    所述两层热压粘合层中其中一层热压粘合层设置在所述pcb板与所述防水膜之间;

    所述两层热压粘合层中另外一层热压粘合层设置在所述pi层与所述防水膜之间。

    3.如权利要求1所述的防水mems麦克风,其特征在于,

    在所述pi层上设置有至少两个以上的微孔,其中,

    所述微孔的孔径为5~10μm。

    4.如权利要求1所述的防水mems麦克风,其特征在于,

    所述防水膜的面积大于所述pcb板的面积的5%。

    5.如权利要求1所述的防水mems麦克风,其特征在于,

    所述防水膜的上表面与所述pcb板的设置有所述mems芯片的一面的垂直距离大于50um;

    所述防水膜的下表面与所述pi层之间的垂直距离大于50um。

    6.如权利要求1所述的防水mems麦克风,其特征在于,

    在所述pcb板上设置有用于嵌设所述防水结构的凹槽,其中,

    所述防水结构通过密封胶密封固定在所述凹槽内。

    7.如权利要求1所述的防水mems麦克风,其特征在于,

    在所述封装结构内部还设置有asic芯片,并且,所述asic芯片、所述mems芯片均通过热熔胶或者环氧树脂固定设置在所述pcb板上。

    8.如权利要求7所述的防水mems麦克风,其特征在于,

    所述mems芯片与所述asic芯片之间、所述asic芯片与所述pcb板之间均通过金线电连接。

    9.如权利要求1所述的防水mems麦克风,其特征在于,

    所述金属外壳通过锡膏或者胶水与所述pcb板相固定。

    技术总结
    本发明提供一种防水MEMS麦克风,包括由金属外壳和PCB板形成的封装结构,在所述封装结构的内部的PCB板上设置有MEMS芯片,在所述PCB板上还设置有与所述MEMS芯片相对应的声孔,在所述封装结构的外部的PCB板上嵌设有与所述声孔相对应的防水结构,所述防水结构包括防水膜和PI层,其中,所述防水膜设置在所述PCB板与所述PI层之间。利用本发明,能够解决现有的防水MEMS麦克风的防水膜在压力的作用下发生形变,而导致影响防水MEMS麦克风性能的问题。

    技术研发人员:邓卓
    受保护的技术使用者:潍坊歌尔微电子有限公司
    技术研发日:2020.12.07
    技术公布日:2021.03.12

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