本实用新型涉及气体分离回收技术领域，具体涉及一种三氯硅烷尾气分离回收装置。
背景技术：
三氯硅烷是一种含有硅，氢和氯元素的化合物，溶解性：溶于苯、醚等多数有机溶剂，相对密度(水＝1)1.37；相对密度(空气＝1)4.7，性质稳定，与水接触释放出有毒气体，遇水反应剧烈。
因三氯硅烷容易和水发生距离反应，产生有毒气体，在存储过程中容易和外来水汽发生反应而产生危险，造成人员伤亡，以及三氯硅烷的存储罐均为大型罐，搬运困难，在进行短距离搬运时，需要多个工作人员，而且工作人员的工作量大，因此急需一种三氯硅烷尾气分离回收装置来解决这些问题。
技术实现要素：
(一)要解决的技术问题
为了克服现有技术不足，现提出一种三氯硅烷尾气分离回收装置，因三氯硅烷容易和水发生距离反应，产生有毒气体，在存储过程中容易和外来水汽发生反应而产生危险，造成人员伤亡，以及三氯硅烷的存储罐均为大型罐，搬运困难，在进行短距离搬运时，需要多个工作人员，而且工作人员的工作量大的问题。
(二)技术方案
本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种三氯硅烷尾气分离回收装置，包括回收罐和除尘器，所述除尘器一侧设置有进气管，所述除尘器远离所述进气管的一侧设置有传输管，所述传输管远离所述除尘器的一端设置有缓冲罐，所述缓冲罐远离所述除尘器的一侧设置有压缩机，所述压缩机远离所述缓冲罐的一侧设置有冷却器，所述冷却器远离所述压缩机的一侧设置有加热器，所述加热器的另一侧设置有反应釜，所述反应釜一侧设置有存渣罐，所述存渣罐远离所述反应釜的一侧设置有所述回收罐，所述回收罐的一侧壁设置有管道，所述管道上方设置有进口阀，所述管道远离所述回收罐的一端设置有海绵层，所述回收罐内侧壁设置有防潮层，所述回收罐下方设置有轮槽，所述轮槽下方设置有轴套，所述轴套两端设置有连接板，所述连接板下方设置有自锁轮，所述轴套内设置有自锁轴。
进一步的，所述海绵层和所述管道插接，所述进口阀和所述管道插接，所述回收罐和所述管道焊接。
通过采用上述技术方案，可以使所述海绵层在需要时进行拆卸，使所述尽头口阀和所述管道之间没有缝隙，使所述管道和所述回收罐连接牢固。
进一步的，所述防潮层铺满所述回收罐，所述回收罐和所述防潮层粘接，所述轮槽成型于所述回收罐上。
通过采用上述技术方案，可以使所述防潮层紧密的和所述回收罐连接在一起。
进一步的，所述轴套和所述回收罐插接，所述轴套和所述自锁轴转动连接。
通过采用上述技术方案，可以使所述轴套和所述回收罐的位置固定。
进一步的，所述除尘器、所述传输管、所述缓冲罐、所述压缩机、所述冷却器、所述加热器、所述反应釜、所述存渣罐均和所述回收罐通过所述传输管连接。
通过采用上述技术方案，可以使所述每个工段和下个工段进行对接的同时不会发生泄漏。
进一步的，所述连接板和所述自锁轴转动连接，所述自锁轮和所述连接板转动连接。
通过采用上述技术方案，使所述连接板可以和所述自锁轴相对转动，使所述自锁轮在转动的同时不发生偏移。
(三)有益效果
本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：
1、为解决因三氯硅烷容易和水发生距离反应，产生有毒气体，在存储过程中容易和外来水汽发生反应而产生危险，造成人员伤亡的问题，本实用新型通过设计防潮层和海绵层使三氯硅烷不会接触到外来水汽，在存储过程中保持干燥，不会发生反应以及造成危险；
2、为解决三氯硅烷的存储罐均为大型罐，搬运困难，在进行短距离搬运时，需要多个工作人员，而且工作人员的工作量大的问题，本实用新型通过设计自锁轴、自锁轮和轮槽，使三氯硅烷的回收罐在进行短距离搬运时可以减少工作人员的人数的同时减轻工作量。
附图说明
图1是本实用新型所述一种三氯硅烷尾气分离回收装置的工艺流程示意图；
图2是本实用新型所述一种三氯硅烷尾气分离回收装置中回收罐的结构示意图；
图3是本实用新型所述一种三氯硅烷尾气分离回收装置中的回收罐的侧剖视图。
附图标记说明如下：
1、进气管；2、除尘器；3、传输管；4、缓冲罐；5、压缩机；6、冷却器；7、加热器；8、反应釜；9、存渣罐；10、回收罐；11、进口阀；12、海绵层；13、管道；14、自锁轮；15、防潮层；16、轮槽；17、自锁轴；18、轴套；19、连接板。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1-图3所示，一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：包括回收罐10和除尘器2，除尘器2一侧设置有进气管1，除尘器2远离进气管1的一侧设置有传输管3，传输管3远离除尘器2的一端设置有缓冲罐4，缓冲罐4远离除尘器2的一侧设置有压缩机5，压缩机5远离缓冲罐4的一侧设置有冷却器6，冷却器6远离压缩机5的一侧设置有加热器7，加热器7的另一侧设置有反应釜8，反应釜8一侧设置有存渣罐9，存渣罐9远离反应釜8的一侧设置有回收罐10，回收罐10的一侧壁设置有管道13，管道13上方设置有进口阀11，管道13远离回收罐10的一端设置有海绵层12，回收罐10内侧壁设置有防潮层15，回收罐10下方设置有轮槽16，轮槽16下方设置有轴套18，轴套18两端设置有连接板19，连接板19下方设置有自锁轮14，轴套18内设置有自锁轴17。
如图1-图3所示，本实施例中，海绵层12和管道13插接，进口阀11和管道13插接，回收罐10和管道13焊接，可以使海绵层12在需要时进行拆卸，使尽头口阀和管道13之间没有缝隙，使管道13和回收罐10连接牢固，防潮层15铺满回收罐10，回收罐10和防潮层15粘接，轮槽16成型于回收罐10上，可以使海绵层12在需要时进行拆卸，使尽头口阀和管道13之间没有缝隙，使管道13和回收罐10连接牢固，轴套18和回收罐10插接，轴套18和自锁轴17转动连接，可以使轴套18和回收罐10的位置固定，除尘器2、传输管3、缓冲罐4、压缩机5、冷却器6、加热器7、反应釜8、存渣罐9均和回收罐10通过传输管3连接，可以使每个工段和下个工段进行对接的同时不会发生泄漏，连接板19和自锁轴17转动连接，自锁轮14和连接板19转动连接，使连接板19可以和自锁轴17相对转动，使自锁轮14在转动的同时不发生偏移。
本实施例的具体实施过程如下：在需要对三氯硅烷的尾气进行回收时，将尾气源通过进气管1传输到除尘器2中，除尘器2可以将三氯硅烷的混合气体进行除尘，再通过传输管3将混合气体传输到缓冲罐4中进行压力缓冲，随后通过传输管3将气体传输到压缩机5进行加压，随后通入冷却器6对混合气体降温，随后传输到加热器7内对混合气体加热至预定温度，随后通入反应釜8内，使混合气体进行反应产生三氯硅烷的混合物，随后将产物传输至存渣罐9内进行沉淀，随后通入回收罐10之前，将海绵层12取下，将传输管3和管道13对接，随后倒开进口阀11开始传输三氯硅烷，回收罐10内的防潮层15和海绵层12使三氯硅烷不会接触到外来水汽，在存储过程中保持干燥，不会发生反应，以及造成危险，在传输结束后，在进行短距离运输时，工作人员将转动自锁轮14，将自锁轴17转动至九十度自锁状态，此时自锁轮14即和地面接触，工作人员可以推动回收罐10对三氯硅烷气体进行搬运，不用时，转动自锁轴17即可将自锁轮14固定在轮槽16内，以此使三氯硅烷的回收罐在进行短距离搬运时可以减少工作人员的人数的同时减轻工作量。
上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。
1.一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：包括回收罐(10)和除尘器(2)，所述除尘器(2)一侧设置有进气管(1)，所述除尘器(2)远离所述进气管(1)的一侧设置有传输管(3)，所述传输管(3)远离所述除尘器(2)的一端设置有缓冲罐(4)，所述缓冲罐(4)远离所述除尘器(2)的一侧设置有压缩机(5)，所述压缩机(5)远离所述缓冲罐(4)的一侧设置有冷却器(6)，所述冷却器(6)远离所述压缩机(5)的一侧设置有加热器(7)，所述加热器(7)的另一侧设置有反应釜(8)，所述反应釜(8)一侧设置有存渣罐(9)，所述存渣罐(9)远离所述反应釜(8)的一侧设置有所述回收罐(10)，所述回收罐(10)的一侧壁设置有管道(13)，所述管道(13)上方设置有进口阀(11)，所述管道(13)远离所述回收罐(10)的一端设置有海绵层(12)，所述回收罐(10)内侧壁设置有防潮层(15)，所述回收罐(10)下方设置有轮槽(16)，所述轮槽(16)下方设置有轴套(18)，所述轴套(18)两端设置有连接板(19)，所述连接板(19)下方设置有自锁轮(14)，所述轴套(18)内设置有自锁轴(17)。
2.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述海绵层(12)和所述管道(13)插接，所述进口阀(11)和所述管道(13)插接，所述回收罐(10)和所述管道(13)焊接。
3.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述防潮层(15)铺满所述回收罐(10)，所述回收罐(10)和所述防潮层(15)粘接，所述轮槽(16)成型于所述回收罐(10)上。
4.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述轴套(18)和所述回收罐(10)插接，所述轴套(18)和所述自锁轴(17)转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述除尘器(2)、所述传输管(3)、所述缓冲罐(4)、所述压缩机(5)、所述冷却器(6)、所述加热器(7)、所述反应釜(8)、所述存渣罐(9)均和所述回收罐(10)通过所述传输管(3)连接。
6.根据权利要求1所述的一种三氯硅烷尾气分离回收装置，其特征在于：所述连接板(19)和所述自锁轴(17)转动连接，所述自锁轮(14)和所述连接板(19)转动连接。
技术总结