一种坩埚遮热板的制作方法

    专利2022-07-11  105


    本实用新型属于一种坩埚用技术领域,尤其涉及一种坩埚遮热板。



    背景技术:

    单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势,制作单晶硅棒所使用的石英坩埚的需求量也快速增加,现在制作石英坩埚时所使用的石英坩埚遮热板,遮热板要使用很多石英布,石英布价格贵,而且石英布每月都要更新,石英布高温下也易氧化,氧化物落到坩埚内就会造成次品,遮热板效果不好,热量易流失;水管小,容易漏水。



    技术实现要素:

    为了达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为,本实用新型提供一种坩埚遮热板,包括底板以及底杆,所述底杆设置在所述底板,所述底板上设置有遮热结构;

    所述遮热结构,主要包括:移动部、连接杆、支撑杆以及密封部;

    所述移动部设置在所述底板底面,所述支撑杆设置在所述底板上表面,所述密封部设置在所述支撑杆上端,所述连接杆设置在所述移动部与所述密封部之间。

    优选的,所述移动部,主要包括:驱动电机、固定块、螺杆、齿轮、移动通孔以及移动杆;

    所述驱动电机设置在所述底板底面,所述固定块设置在所述底杆之间,所述螺杆转动连接在所述固定块之间,所述齿轮设置在所述驱动电机输出端以及所述螺杆上,所述移动通孔开在所述底板表面,所述移动杆螺纹套装连接在所述螺杆上且一端穿过滑动通孔,所述移动杆上端与所述连接杆销轴转动连接。

    优选的,所述密封部,主要包括:摆动块、侧杆、豁槽、顶板、挡板、半圆口以及上盖;

    所述摆动块转动转动连接在所述支撑杆上端,所述侧杆设置在所述摆动块上端面,所述豁槽开在所述摆动块底面且与所述连接杆一端销轴转动连接,所述顶板设置在所述侧杆一端,所述挡板设置在所述顶板底面,所述半圆口开在所述顶板上表面,所述上盖插装在所述半圆口内。

    优选的,所述移动杆相对两端均为弯曲过度。

    优选的,所述齿轮为锥形齿轮且之间相啮合。

    与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,防护效果好,能够避免温度快速流失,同时保护人体,避免高温挥发。

    附图说明

    为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

    图1为本实施例提供的一种坩埚遮热板的结构示意图;

    图2为本实施例提供的一种坩埚遮热板的局部放大图;

    以上各图中,1、底板;2、底杆;3、连接杆;4、支撑杆;5、驱动电机;6、固定块;7、螺杆;8、齿轮;9、移动通孔;10、移动杆;11、摆动块;12、侧杆;13、豁槽;14、顶板;15、挡板;16、半圆口;17、上盖。

    具体实施方式

    为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点,下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

    在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型,但是,本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施,因此,本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

    实施例,由说明书附图1-2可知,本方案包括底板1以及底杆2,所述底杆2设置在所述底板1,所述底板1上设置有遮热结构;

    所述遮热结构,主要包括:移动部、连接杆3、支撑杆4以及密封部;

    所述移动部设置在所述底板1底面,所述支撑杆4设置在所述底板1上表面,所述密封部设置在所述支撑杆4上端,所述连接杆3设置在所述移动部与所述密封部之间;

    所述移动部,主要包括:驱动电机5、固定块6、螺杆7、齿轮8、移动通孔9以及移动杆10;

    所述驱动电机5设置在所述底板1底面,所述固定块6设置在所述底杆2之间,所述螺杆7转动连接在所述固定块6之间,所述齿轮8设置在所述驱动电机5输出端以及所述螺杆7上,所述移动通孔9开在所述底板1表面,所述移动杆10螺纹套装连接在所述螺杆7上且一端穿过滑动通孔,所述移动杆10上端与所述连接杆3销轴转动连接;

    所述密封部,主要包括:摆动块11、侧杆12、豁槽13、顶板14、挡板15、半圆口16以及上盖17;

    所述摆动块11转动转动连接在所述支撑杆4上端,所述侧杆12设置在所述摆动块11上端面,所述豁槽13开在所述摆动块11底面且与所述连接杆3一端销轴转动连接,所述顶板14设置在所述侧杆12一端,所述挡板15设置在所述顶板14底面,所述半圆口16开在所述顶板14上表面,所述上盖17插装在所述半圆口16内。

    所述移动杆10相对两端均为弯曲过度,所述齿轮8为锥形齿轮且之间相啮合。

    具体使用时:将坩埚放在底板1表面的槽内,可以直接在底板1上使用,需要打开时,通过驱动电机5输出端的齿轮8带动螺杆7旋转,使移动杆10在移动通孔9内移动,上端通过销轴连接处拉动连接杆3,使连接杆3拉动侧杆12,侧杆12会通过摆动块11在支撑杆4上摆动,将顶板14拉起,需要关闭时,驱动电机5反向旋转,通过连接杆3推动侧杆12,将顶板14关闭,通过挡板15遮挡住侧端,上盖17可以在需要时盖在半圆口16内。

    以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非是对本实用新型作其它形式的限制,任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域,但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型,仍属于本实用新型技术方案的保护范围。


    技术特征:

    1.一种坩埚遮热板,包括底板(1)以及底杆(2),所述底杆(2)设置在所述底板(1),其特征在于,所述底板(1)上设置有遮热结构;

    所述遮热结构,主要包括:移动部、连接杆(3)、支撑杆(4)以及密封部;

    所述移动部设置在所述底板(1)底面,所述支撑杆(4)设置在所述底板(1)上表面,所述密封部设置在所述支撑杆(4)上端,所述连接杆(3)设置在所述移动部与所述密封部之间。

    2.根据权利要求1所述的一种坩埚遮热板,其特征在于,所述移动部,主要包括:驱动电机(5)、固定块(6)、螺杆(7)、齿轮(8)、移动通孔(9)以及移动杆(10);

    所述驱动电机(5)设置在所述底板(1)底面,所述固定块(6)设置在所述底杆(2)之间,所述螺杆(7)转动连接在所述固定块(6)之间,所述齿轮(8)设置在所述驱动电机(5)输出端以及所述螺杆(7)上,所述移动通孔(9)开在所述底板(1)表面,所述移动杆(10)螺纹套装连接在所述螺杆(7)上且一端穿过滑动通孔,所述移动杆(10)上端与所述连接杆(3)销轴转动连接。

    3.根据权利要求1所述的一种坩埚遮热板,其特征在于,所述密封部,主要包括:摆动块(11)、侧杆(12)、豁槽(13)、顶板(14)、挡板(15)、半圆口(16)以及上盖(17);

    所述摆动块(11)转动连接在所述支撑杆(4)上端,所述侧杆(12)设置在所述摆动块(11)上端面,所述豁槽(13)开在所述摆动块(11)底面且与所述连接杆(3)一端销轴转动连接,所述顶板(14)设置在所述侧杆(12)一端,所述挡板(15)设置在所述顶板(14)底面,所述半圆口(16)开在所述顶板(14)上表面,所述上盖(17)插装在所述半圆口(16)内。

    4.根据权利要求2所述的一种坩埚遮热板,其特征在于,所述移动杆(10)相对两端均为弯曲过度。

    5.根据权利要求2所述的一种坩埚遮热板,其特征在于,所述齿轮(8)为锥形齿轮且之间相啮合。

    技术总结
    本实用新型属于一种坩埚遮热板,包括底板以及底杆,所述底杆设置在所述底板,所述底板上设置有遮热结构,所述遮热结构,主要包括:移动部、连接杆、支撑杆以及密封部,所述移动部设置在所述底板底面,所述支撑杆设置在所述底板上表面,所述密封部设置在所述支撑杆上端,所述连接杆设置在所述移动部与所述密封部之间,本实用新型防护效果好,能够避免温度快速流失,同时保护人体,避免高温挥发。

    技术研发人员:高鹏
    受保护的技术使用者:天津银鹏发展金属制品有限公司
    技术研发日:2020.04.28
    技术公布日:2021.03.12

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