一种光谱检测热台装置的制作方法

    专利2022-07-11  107


    本实用新型涉及检测领域,尤其涉及一种光谱检测热台装置。



    背景技术:

    目前半导体及生物化学等材料被广泛研究,材料的发展也制约着科技的发展,如何开发出更高端的新材料成为当下热点,众所周知,材料受温度、电信号、周围环境等影响,这也就需要对测量装置的不断升级,满足材料测量要求。

    相关技术中,现有很多测试装置比较笨重,无法进行实现升温控制或测试耗费的制热剂及电量多,无法进行多通道测试及不能同时施加电场、温度场、气氛环境,且无法实现升温的较好控制,不能测试样品表面温度。



    技术实现要素:

    为了解决上述问题,本实用新型提供了一种光谱检测热台装置,包括基台;所述基台侧壁上设有循环水接口;所述基台中部设有供载样台放置的气密腔;所述载样台一侧设有温度传感器;所述载样台两侧设有加热装置;所述基台上端设有装饰板;所述装饰板上端设有盖板;所述盖板中部设有与载样台相对应的可视窗。

    作为一种优选的技术方案,所述载样台中间开设有孔洞,使得光线可穿透被测元件。

    作为一种优选的技术方案,所述循环水接口的数量至少为2个,一个为循环水进口,另一个为循环水出口,通过软管连接,实现对光谱检测热台装置基台及盖板的降温。

    作为一种优选的技术方案,所述加热装置为加热棒,实现对被测元件的升温。

    作为一种优选的技术方案,所述基台底面中部和盖板表面中部均设有探头固定板,用于对光纤探头的固定。

    作为一种优选的技术方案,所述载样台的四周还对称设有四个压紧弹片,实现对载样台上被测元件的固定。

    作为一种优选的技术方案,所述基台侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口。

    作为一种优选的技术方案,所述气管接口的数量至少为2个,一个为进气口,另一个为出气口,均与气密腔连通。

    作为一种优选的技术方案,所述基台侧壁上还设置有与温度传感器、加热装置电性连接的温控接口。

    作为一种优选的技术方案,所述基台侧壁上还设置有固定件和导线板。

    有益效果:本实用新型提供的一种光谱检测热台装置,通过加热装置以及温度传感器能够在气密的条件下对被测元件升温,可以为被测元件提供一个变化的热场,同时热台可以与多种测试仪器连用,满足材料测试的不同测试条件,具有节能、多功能、微型化、快速升温等优点。

    附图说明

    为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

    图1为本实用新型光谱检测热台装置的俯视结构示意图;

    图2为本实用新型光谱检测热台装置的未设置盖板时的俯视图结构示意图;

    图3为本实用新型光谱检测热台装置的右侧视图结构示意图;

    附图标记:1-基台;2-导线板;3-装饰板;4-循环水接口;5-气管接口;6-温控接口;7-盖板;8-探头固定板;9-可视窗;10-载样台;11-压紧弹片;12-温度传感器;13-被测元件;14-固定件;15-光纤探头。

    具体实施方式

    参选以下本实用新型的优选实施方法的详述以及包括的实施例可更容易地理解本实用新型的内容。除非另有限定,本文使用的所有技术以及科学术语具有与本实用新型所属领域普通技术人员通常理解的相同的含义。当存在矛盾时,以本说明书中的定义为准。

    下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

    本技术领域技术人员可以理解,除非另外定义,这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本实用新型所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是,诸如通用字典中定义的那些术语应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义,并且除非像这里一样定义,不会用理想化或过于正式的含义来解释。

    在本实用新型的描述中,“和/或”的含义指的是各自单独存在或两者同时存在的情况均包括在内。

    在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。

    此外,术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。

    在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

    为了解决上述问题,本实用新型提供了一种光谱检测热台装置,包括基台;所述基台侧壁上设有循环水接口;所述基台中部设有供载样台放置的气密腔;所述载样台一侧设有温度传感器;所述载样台两侧设有加热装置;所述基台上端设有装饰板;所述装饰板上端设有盖板;所述盖板中部设有与载样台相对应的可视窗。

    所述盖板可以使得光谱检测热台装置的内部部件与外界环境分隔开,可以防止出现被外界环境损坏的情况,有利于延长光谱检测热台装置的使用寿命。

    所述可视窗可用于观察被检测元件的实时状态,使操作人员实时了解被检测元件的状态。

    在一些实施方式中,所述载样台中间开设有孔洞,使得光线可穿透被测元件。

    所述孔洞的大小不作具体限定,可实现光线穿透被测元件即可。

    在一些实施方式中,所述循环水接口的数量至少为2个,一个为循环水进口,另一个为循环水出口,通过软管连接,实现对光谱检测热台装置基台及盖板的降温。

    本实用新型对循环水接口的位置不作具体限定,可以实现对光谱检测热台装置基台及盖板的降温即可。

    在一些实施方式中,所述加热装置为加热棒,实现对被测元件的升温。

    在一些实施方式中,所述基台底面中部和盖板表面中部均设有探头固定板,用于对光纤探头的固定。

    在一些实施方式中,所述载样台的四周还对称设有四个压紧弹片,实现对载样台上被测元件的固定。

    在一些实施方式中,所述基台侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口。

    在一些实施方式中,所述气管接口的数量至少为2个,一个为进气口,另一个为出气口,均与气密腔连通。

    本实用新型可通过气管接口的进气口向光谱检测热台装置的内部充入气体,其中的气体可以通过出气口流出,对气管接口的位置不作具体限定,可以实现对排净装置气密腔空气即可。

    在一些实施方式中,所述基台侧壁上还设置有与温度传感器、加热装置电性连接的温控接口。

    本实用新型对温控接口的位置不作具体限定,可以实现对被测元件的温度控制即可。

    在一些实施方式中,所述基台侧壁上还设置有固定件和导线板。

    所述固定件用于将光谱检测热台装置与下部固定台的固定,便于被测元件的安装。

    使用时,打开盖板,将被测元件放置在载样台上,调整压紧弹片,弹片以较小的压力压在被测元件上表面,固定住被测元件,调整好温度传感器的位置并压上,安装盖板;打开氮气输送阀,输送氮气进入气密腔0.5min,排净内部空气,然后关闭气管接口。通过加热装置以及温度传感器去控制被测元件的测试温度环境,当被测元件达到预期温度后,打开检测系统,在光谱检测热台一端的可视窗穿过光信号,另一端通过光纤探头检测信号。

    本实用新型提供的一种光谱检测热台装置,通过加热装置以及温度传感器能够在气密的条件下对被测元件升温,可以为被测元件提供一个变化的热场,同时热台可以与多种测试仪器连用,满足材料测试的不同测试条件,具有节能、多功能、微型化、快速升温等优点。

    下面通过实施例对本实用新型进行具体描述。有必要在此指出的是,以下实施例只用于对本实用新型作进一步说明,不能理解为对本实用新型保护范围的限制,该领域的专业技术人员根据上述本实用新型的内容做出的一些非本质的改进和调整,仍属于本实用新型的保护范围。

    实施例1

    本实施例1提供了一种光谱检测热台装置,包括基台1;所述基台1侧壁上设有循环水接口4;所述基台1中部设有供载样台10放置的气密腔;所述载样台10一侧设有温度传感器12;所述载样台10两侧设有加热装置;所述基台1上端设有装饰板3;所述装饰板3上端设有盖板7;所述盖板7中部设有与载样台10相对应的可视窗9。

    所述载样台10中间开设有孔洞,使得光线可穿透被测元件13。

    所述循环水接口4的数量为2个,一个为循环水进口,另一个为循环水出口,通过软管连接,实现对光谱检测热台装置基台1及盖板7的降温。

    所述加热装置为加热棒,实现对被测元件13的升温。

    所述基台1底面中部和盖板7表面中部均设有探头固定板8,用于对光纤探头15的固定。

    所述载样台10的四周还对称设有四个压紧弹11片,实现对载样台10上被测元件13的固定。

    所述基台1侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口5。

    所述气管接口5的数量为2个,一个为进气口,另一个为出气口,均与气密腔连通。

    所述基台1侧壁上还设置有与温度传感器6、加热装置电性连接的温控接口6。

    所述基台1侧壁上还设置有固定件14和导线板2。

    实施例2

    本实施例2提供了一种光谱检测热台装置,包括基台1;所述基台1侧壁上设有循环水接口4;所述基台1中部设有供载样台10放置的气密腔;所述载样台10一侧设有温度传感器12;所述载样台10两侧设有加热装置;所述基台1上端设有装饰板3;所述装饰板3上端设有盖板7;所述盖板7中部设有与载样台10相对应的可视窗9。

    所述载样台10中间开设有孔洞,使得光线可穿透被测元件13。

    所述循环水接口4的数量为4个,两个接口由软管串联,另两个接口一个作为循环冷却水进口,一个作为循环冷却水出口,通过软管连接,接入循环冷却水,实现对光谱检测热台装置基台1及盖板7的降温。

    所述加热装置为加热棒,实现对被测元件13的升温。

    所述基台1底面中部和盖板7表面中部均设有探头固定板8,用于对光纤探头15的固定。

    所述载样台10的四周还对称设有四个压紧弹11片,实现对载样台10上被测元件13的固定。

    所述基台1侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口5。

    所述气管接口5的数量为2个,一个为进气口,另一个为出气口,均与气密腔连通。

    所述基台1侧壁上还设置有与温度传感器6、加热装置电性连接的温控接口6。

    所述基台1侧壁上还设置有固定件14和导线板2。

    使用时,打开盖板,将被测元件放置在载样台上,调整压紧弹片,弹片以较小的压力压在被测元件上表面,固定住被测元件,调整好温度传感器的位置并压上,安装盖板;打开氮气输送阀,输送氮气进入气密腔0.5min,排净内部空气,然后关闭气管接口。通过加热装置以及温度传感器去控制被测元件的测试温度环境,当被测元件达到预期温度后,打开检测系统,在光谱检测热台一端的可视窗穿过光信号,另一端通过光纤探头检测信号。

    本实用新型提供的一种光谱检测热台装置,通过加热装置以及温度传感器能够在气密的条件下对被测元件升温,可以为被测元件提供一个变化的热场,同时热台可以与多种测试仪器连用,满足材料测试的不同测试条件,具有节能、多功能、微型化、快速升温等优点。

    前述的实例仅是说明性的,用于解释本实用新型所述方法的一些特征。所附的权利要求旨在要求可以设想的尽可能广的范围,且本文所呈现的实施例仅是根据所有可能的实施例的组合的选择的实施方式的说明。因此,申请人的用意是所附的权利要求不被说明本实用新型的特征的示例的选择限制。在权利要求中所用的一些数值范围也包括了在其之内的子范围,这些范围中的变化也应在可能的情况下解释为被所附的权利要求覆盖。


    技术特征:

    1.一种光谱检测热台装置,其特征在于,包括基台;所述基台侧壁上设有循环水接口;所述基台中部设有供载样台放置的气密腔;所述载样台一侧设有温度传感器;所述载样台两侧设有加热装置;所述基台上端设有装饰板;所述装饰板上端设有盖板;所述盖板中部设有与载样台相对应的可视窗。

    2.如权利要求1所述的光谱检测热台装置,其特征在于,所述载样台中间开设有孔洞,使得光线可穿透被测元件。

    3.如权利要求1所述的光谱检测热台装置,其特征在于,所述循环水接口的数量至少为2个,一个为循环水进口,另一个为循环水出口,通过软管连接,实现对光谱检测热台装置基台及盖板的降温。

    4.如权利要求1所述的光谱检测热台装置,其特征在于,所述加热装置为加热棒,实现对被测元件的升温。

    5.如权利要求1所述的光谱检测热台装置,其特征在于,所述基台底面中部和盖板表面中部均设有探头固定板,用于对光纤探头的固定。

    6.如权利要求1所述的光谱检测热台装置,其特征在于,所述载样台的四周还对称设有四个压紧弹片,实现对载样台上被测元件的固定。

    7.如权利要求1所述的光谱检测热台装置,其特征在于,所述基台侧壁上还设置有与气密腔连通的气管接口。

    8.如权利要求7所述的光谱检测热台装置,其特征在于,所述气管接口的数量至少为2个,一个为进气口,另一个为出气口,均与气密腔连通。

    9.如权利要求1所述的光谱检测热台装置,其特征在于,所述基台侧壁上还设置有与温度传感器、加热装置电性连接的温控接口。

    10.如权利要求1所述的光谱检测热台装置,其特征在于,所述基台侧壁上还设置有固定件和导线板。

    技术总结
    本实用新型公开了一种光谱检测热台装置,包括基台;所述基台侧壁上设有循环水接口;所述基台中部设有供载样台放置的气密腔;所述载样台一侧设有温度传感器;所述载样台两侧设有加热装置;所述基台上端设有装饰板;所述装饰板上端设有盖板;所述盖板中部设有与载样台相对应的可视窗。

    技术研发人员:汪金文;王锦;汪明炉
    受保护的技术使用者:锦文测控科技(苏州)有限公司
    技术研发日:2020.07.31
    技术公布日:2021.03.12

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