本发明涉及一种防热裂的分段式防护圆环,属于高温炉技术领域。
背景技术:
cvd是chemicalvapordeposition的简称,是指高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法,进行cvd的设备被称为cvd炉,在电阻发热高温cvd炉的使用过程中,内层为石墨发热棒组成石墨发热系统、外层设置为保温碳毡,为保证cvd炉沉积物不要沉积到碳毡上,造成碳毡污染、腐蚀影响保温性能,同时防止碳毡中碳纤维脱落飘入cvd反应系统中,影响cvd沉积层的质量,一般在保温碳毡和石墨发热系统之间设计一层防护层,一般为碳碳复合材料和石墨材质,其中在顶部碳毡处设计有一个防护圆环,用于防护顶部碳毡,防护圆环通过碳碳螺杆和螺母与碳毡固定在一起,在使用过程中,经常出现防护圆环开裂问题。
圆环形限气板为一个整体的环形结构,防护圆环是在碳毡的内侧,最高有1500℃的高温,在受热的情况下,防护圆环平面会发生以圆环圆心为中心的扩散式膨胀,当支撑螺杆与圆心距离在550-650mm时,1500℃下热膨胀量可达3-3.5mm,与碳碳支撑杆之间将产生极大的扭力,造成防护圆环开裂。
技术实现要素:
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种防热裂的分段式防护圆环。
本发明的技术方案如下:
一种防热裂的分段式防护圆环,包括组合圆环,组合圆环由至少两个弧形环拼接而成;相连弧形环之间搭接连接;
根据本实用新型,优选的,所述弧形环一端设置有下凸板,另一端设置有上凸板;所述下凸板和上凸板搭接后总厚度等于弧形环厚度,搭接后预留5-10mm伸缩缝。在受热膨胀的过程中,由于上凸板与下凸板之间为搭接,在膨胀过程中相对移动,由于设置有伸缩缝,有一定的伸缩余量。
根据本实用新型,优选的,上凸板与下凸板厚度均为3-6mm。
根据本实用新型,优选的,所述弧形环厚度为6-12mm。
根据本实用新型,优选的,所述弧形环的数量为2-5个。可以根据膨胀量选择,膨胀程度大的,弧形环的数量多,这样膨胀余量更大。
根据本实用新型,优选的,所述弧形环上设置有螺栓孔。用于碳碳螺杆穿过螺栓孔对组合圆环进行固定连接。
本发明的有益效果在于:
1、将原有的整体的圆环变成多个弧形环组合而成,改变了原有的热膨胀中心,即由圆环中心转移到支撑杆,膨胀量不会在支撑杆上产生扭力。
2、弧形环连接部位设置为搭接,确保了密封的可靠。圆环搭接后预留5-10mm伸缩缝,将优化后较小的膨胀量风险也消除了。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图;
图2是本实用新型搭接部分结构示意图;
其中:1、弧形环、2、上凸板;3、下凸板;4、螺栓孔;5、伸缩缝。
具体实施方式
下面通过实施例并结合附图对本发明做进一步说明,但不限于此。
实施例1:
一种防热裂的分段式防护圆环,包括组合圆环,组合圆环由两个弧形环1拼接而成;相连弧形环1之间搭接连接;所述弧形环1一端设置有下凸板3,另一侧设置有上凸板2;当相邻的两个弧形环搭接后,所述下凸板3和上凸板2搭接后总厚度等于弧形环厚度,搭接后预留5mm伸缩缝5。上凸板2与下凸板3厚度均为5mm,所述弧形环4厚度为10mm。所述弧形环1的数量为4个。弧形环1上设置有螺栓孔4,用于对组合圆环进行固定连接。
实施例2:
一种防热裂的分段式防护圆环,其结构如实施例1所示,不同的是上凸板2与下凸板3厚度均为3mm,所述弧形环厚度为6-mm。
实施例3:
一种防热裂的分段式防护圆环,其结构如实施例1所示,不同的是上凸板2与下凸板3厚度均为6mm,所述弧形环厚度为12mm。
实施例4:
一种防热裂的分段式防护圆环,其结构如实施例1所示,不同的是弧形环1的数量为2个。
实施例5:
一种防热裂的分段式防护圆环,其结构如实施例1所示,不同的是弧形环1的数量为5个。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
1.一种防热裂的分段式防护圆环,其特征在于:包括组合圆环,组合圆环由至少两个弧形环拼接而成;相连弧形环之间搭接连接;所述弧形环一端设置有下凸板,另一端设置有上凸板;所述下凸板和上凸板搭接后总厚度等于弧形环厚度,搭接后预留5-10mm伸缩缝。
2.根据权利要求1所述的防热裂的分段式防护圆环,其特征在于:上凸板与下凸板厚度均为3-6mm。
3.根据权利要求1所述的防热裂的分段式防护圆环,其特征在于:所述弧形环厚度为6-12mm。
4.根据权利要求1所述的防热裂的分段式防护圆环,其特征在于:所述弧形环的数量为2-5个。
5.根据权利要求1所述的防热裂的分段式防护圆环,其特征在于:所述弧形环上设置有螺栓孔。
技术总结