本实用新型涉及一种喷淋板，属于ald设备技术领域。
背景技术：
ald设备在镀膜时，喷淋板表面容易沉积工艺粉末，影响产能，以镀三氧化铝为例，三氧化铝通过三甲基铝同水或臭氧反应，三甲基铝和水通过ald设备上的喷淋板向真空腔体内喷射，在190℃到250℃高温下，喷淋板会残留生成致密的氧化铝层。因此，需要定期对喷淋板进行清洗，通常采用人工打磨端面或者拆出喷淋板进行酸性钝化处理。然而，人工打磨喷淋板端面时，因为个人的操作手法和熟练程度不同，导致打磨维护的效果不一致，容易出现打磨不到位的现象。另外，从机台拆出喷淋板进行酸洗钝化维护，机台需要停用花费时间长，耗费产能。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种能实现快速维护的喷淋板。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种喷淋板，其包括正面、与所述正面相对设置的反面、位于四周的侧面、开设与所述正面的喷淋孔和与所述喷淋孔连通的气孔，所述喷淋板还包括粘贴于所述正面上的的特氟龙胶带。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述特氟龙胶带还粘贴于所述侧面和/或反面。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述喷淋板还包括固定所述特氟龙胶带的压板。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述特氟龙胶带自所述正面通过所述侧面延伸至所述反面，所述压板在所述反面压制所述特氟龙胶带。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述压板通过固定件固定于所述喷淋板。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述固定件为螺栓。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述压板的两侧分别凸伸有安装片，所述安装片上设置有与所述螺栓配合的螺孔。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述特氟龙胶带部分粘贴于所述反面。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，复数所述喷淋孔对称分布或随机分布。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述喷淋板包括4个所述气孔，4个所述气孔对称开设在所述正面的四个角处。
相较于现有技术，本实用新型的喷淋板的有益效果在于：利用特氟龙胶带的耐高温、耐磨及密封性达到隔绝ald镀膜产生的氧化铝积粉和喷淋板的金属表面的目的。利用特氟龙胶带的自粘性，达到可以快速安装和更换的目的，减少维护时间，提高设备产能。
附图说明
图1是本实用新型喷淋板俯视的结构示意图。
图2是本实用新型喷淋板侧视的结构示意图。
图3是本实用新型喷淋板仰视的结构示意图。
具体实施方式
请参图1、图2和图3，本实用新型揭示一种喷淋板100，其包括正面11、与正面相对设置的反面12、位于四周的侧面13、开设于正面11的复数喷淋孔14和与喷淋孔连通的若干气孔15。喷淋板100还包括粘贴于正面11、反面12和侧面13的特氟龙胶带2，特氟龙胶带2在正面11避开喷淋孔14设置。采用具有自黏附力的特氟龙胶带2贴于喷淋板100的正面11、侧面12及部分反面13，利用特氟龙胶带2具有耐高温、耐磨、不与介质反应的特点，因此，不影响现有的工艺。利用特氟龙胶带2的耐高温、耐磨及密封性达到隔绝ald镀膜产生的氧化铝积粉和喷淋板100的金属表面的目的。利用特氟龙胶带2的自粘性，达到可以快速安装和更换的目的，减少维护时间，提高设备产能。其他实施例中，特氟龙胶带2只粘贴于正面11，或者，特氟龙胶带2粘贴于正面11后，还粘贴于侧面13和/或反面12，均可实现快速安装和更换的目的，减少维护时间，提高设备产能。
喷淋板100还包括固定特氟龙胶带2的压板3，可防止特氟龙胶带2因自身粘附力不够，在真空状态下被真空吸力造成的脱落。压板3可拆卸式固定特氟龙胶带2，在使用一个月后，氧化铝沉积在特氟龙胶带2表面达到一定厚度时，拆掉压板3，重新粘贴新的特氟龙胶带2，再安装压板3，即可完成喷淋板100的维护，实现快速安装和更换，减少维护时间，提高设备产能。
压板3在反面12压制特氟龙胶带2。特氟龙胶带2自正面11通过侧面13延伸至反面12，压板3在反面12压制特氟龙胶带2，不影响喷淋并方便拆装压板3。
压板3通过固定件固定于喷淋板100，以方便拆装，优选的，固定件为螺栓4。具体地，压板3的两侧分别凸伸有安装片31，安装片31上设置有与螺栓4配合的螺孔(未图示)。
进一步，特氟龙胶带2部分粘贴于反面12。
进一步，复数喷淋孔14对称分布或随机分布。
进一步，喷淋板100包括4个气孔15，4个气孔15对称开设在正面11的四个角处。
本实用新型的喷淋板100在正面11、反面12及侧面13粘贴特氟龙胶带2，且在反面12上用压板3压制特氟龙胶带2，压板3通过螺栓4固定于喷淋板100；利用特氟龙胶带2的耐高温、耐磨及密封性达到隔绝ald镀膜产生的氧化铝积粉和喷淋板100的金属表面的目的。利用特氟龙胶带2的自粘性及压板3的紧固性，达到可以快速安装和更换的目的，减少维护时间，提高设备产能。
以上实施例仅用于说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案，对本说明书的理解应该以所属技术领域的技术人员为基础，例如对“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”等方向性的描述，尽管本说明书参照上述的实施例对本实用新型已进行了详细的说明，但是，本领域的普通技术人员应当理解，所属技术领域的技术人员仍然可以对本实用新型进行修改或者等同替换，而一切不脱离本实用新型的精神和范围的技术方案及其改进，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围内。
1.一种喷淋板，其特征在于：所述喷淋板(100)包括正面(11)、与所述正面(11)相对设置的反面(12)、位于四周的侧面(13)、开设于所述正面(11)的喷淋孔(14)和与所述喷淋孔连通的气孔(15)，所述喷淋板(100)还包括粘贴于所述正面(11)上的特氟龙胶带(2)。
2.如权利要求1所述的喷淋板，其特征在于：所述特氟龙胶带(2)还粘贴于所述侧面(13)和/或反面(12)。
3.如权利要求1或2所述的喷淋板，其特征在于：所述喷淋板(100)还包括固定所述特氟龙胶带(2)的压板(3)。
4.如权利要求3所述的喷淋板，其特征在于：所述特氟龙胶带(2)自所述正面(11)通过所述侧面(13)延伸至所述反面(12)，所述压板(3)在所述反面(12)压制所述特氟龙胶带(2)。
5.如权利要求3所述的喷淋板，其特征在于：所述压板(3)通过固定件固定于所述喷淋板(100)。
6.如权利要求5所述的喷淋板，其特征在于：所述固定件为螺栓(4)。
7.如权利要求6所述的喷淋板，其特征在于：所述压板(3)的两侧分别凸伸有安装片(31)，所述安装片(31)上设置有与所述螺栓(4)配合的螺孔。
8.如权利要求1所述的喷淋板，其特征在于：所述特氟龙胶带(2)部分粘贴于所述反面(12)。
9.如权利要求1所述的喷淋板，其特征在于：所述喷淋板(100)具有复数喷淋孔(14)，复数所述喷淋孔(14)对称分布或随机分布。
10.如权利要求1所述的喷淋板，其特征在于：所述喷淋板(100)包括4个所述气孔(15)，4个所述气孔(15)对称开设在所述正面(11)的四个角处。
技术总结