本实用新型涉及一种立式加热器pbn涂层工装，属于化学气相沉积技术领域。
背景技术：
目前立式复合加热器的生产过程一般包括三部分，分别为基体的制备、pg涂层以及pbn涂层，其中在进行pbn涂层时，需要将已经涂完pg涂层的加热器半成品放置在cvd炉内，若采用支架将加热器固定在cvd炉内，极易在加热器表面造成支点痕，且电极以及加热器内表面容易涂上pbn，同时无法避免加热器上下两端口部位的pbn涂层起层，进而产生大量残次品，有鉴于此，研发一种立式加热器pbn涂层工装，保证立式加热器电极以及内表面在pbn涂层过程中不会涂上pbn，加热器外表面不会受损是十分重要的。
技术实现要素：
针对现有技术的不足，本实用新型提供一种立式加热器pbn涂层工装，保证立式加热器的电极以及加热器内表面在pbn涂层过程中不会涂上pbn，加热器外表面不会受损，降低立式加热器的残品率。
本实用新型的技术方案如下：
一种立式加热器pbn涂层工装，包括吊杆、挡气板和电极防护工装，吊杆顶部吊装于cvd炉内，吊杆底部设置挡气板，电极防护工装安装在立式加热器电极处，立式加热器通过电极防护工装套装在吊杆上。
优选的，吊杆为圆柱体，从上到下依次为a段、b段、c段和d段，a段直径小于b段直径，b段直径小于c段直径，d段直径小于c段直径，a段连接至cvd炉内顶端，d段连接挡气板，遮挡部分下端来气，降低立式加热器下端口处因涂上大量的pbn而起层的风险。
进一步优选的，c段侧面设置至少2个台阶状卡槽，卡槽数量与立式加热器电极孔数量相同，卡槽位置与立式加热器电机孔位置对应，卡槽由2个台阶组成，立式加热器通过电极防护工装套装在卡槽处，进而将立式加热器固定在吊杆上。将立式加热器悬挂固定在吊杆上，保证立式加热器在受到气流吹击时的稳定性，同时确保立式加热器在涂完pbn后没有支点痕。
进一步优选的，电极防护工装包括螺钉、垫片和螺母，螺钉穿过立式加热器的电极孔，在电极孔两侧的螺钉上分别加装垫片，垫片外侧安装螺母，立式加热器通过内侧的螺母安装在卡槽的第一台阶处，垫片放置于卡槽的第二台阶处。将垫片安装在立式加热器电极两侧，保护电极处不被涂上pbn。
优选的，c段侧面设置4个台阶状卡槽。
优选的，a段上设置通孔，吊杆通过通孔吊装于cvd炉内顶端。
优选的，c段直径与立式加热器内径相同，保护立式加热器内表面，防止内表面涂上pbn，c段高度小于立式加热器高度，保证立式加热器上下端口可以涂上少量pbn，完成pbn涂层的完美过渡，确保端口部位的pbn涂层不起层。
优选的，挡气板为圆柱体结构，挡气板与d段通过螺纹连接。
本实用新型的有益效果在于：
1、本实用新型将立式加热器通过电极防护工装套装在吊杆上，保证立式加热器的电极以及加热器内表面在pbn涂层过程中不会涂上pbn，加热器外表面不会受损，降低立式加热器的残品率。
2、本实用新型中吊杆的c段高度小于立式加热器高度，保证立式加热器上下端口可以涂上少量pbn，完成pbn涂层的完美过渡，确保端口部位的pbn涂层不起层。
3、本实用新型吊杆的d段连接挡气板，遮挡部分下端来气，降低加热器下端口处因涂上大量的pbn而起层的风险。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的吊杆结构示意图；
其中：1、吊杆；1-1、a段；1-2、b段；1-3、c段；1-4、d段；2、电极防护工装；3、通孔；4、挡气板；5、立式加热器；6、螺钉；7、垫片；8、螺母；9、卡槽。
具体实施方式
下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。
实施例1：
如图1-2所示，本实施例提高一种立式加热器pbn涂层工装，包括吊杆1、挡气板4和电极防护工装2，吊杆1顶部吊装于cvd炉内，吊杆1底部设置挡气板4，电极防护工装2安装在立式加热器5电极处，立式加热器5通过电极防护工装2套装在吊杆上。
吊杆1为圆柱体，从上到下依次为a段1-1、b段1-2、c段1-3和d段1-4，a段1-1直径为80mm，高为110mm，b段1-2直径为90mm，高为30mm，c段1-3直径为150mm，高为300mm，d段1-4直径为45mm，高为50mm，a段1-1连接至cvd炉内顶端，d段1-4连接挡气板，遮挡部分下端来气，降低立式加热器下端口处因涂上大量的pbn而起层的风险。
c段1-3侧面设置2个台阶状卡槽9，卡槽9位置与立式加热器电机孔位置对应，卡槽9由2个台阶组成，立式加热器通过电极防护工装2套装在卡槽9处，进而将立式加热器5固定在吊杆上。将立式加热器5悬挂固定在吊杆1上，保证立式加热器5在受到气流吹击时的稳定性，同时确保立式加热器5在涂完pbn后没有支点痕。
电极防护工装2包括螺钉6、垫片7和螺母8，螺钉6穿过立式加热器5的电极孔，在电极孔两侧的螺钉6上分别加装垫片7，垫片7外侧安装螺母8，立式加热器5通过内侧的螺母安装在卡槽9的第一台阶处，垫片7放置于卡槽9的第二台阶处。将垫片7安装在立式加热器5电极两侧，保护电极处不被涂上pbn。
工装使用时，先将立式加热器通过电极防护工装套装于吊杆，然后将挡气板安装于吊杆底端，最后将吊杆吊装于cvd炉内。
实施例2：
一种立式加热器pbn涂层工装，结构如实施例1所述，不同之处在于，c段1-3侧面设置4个台阶状卡槽9，如图2所示，1种立式加热器的2个电极孔对应的2个卡槽为一组，通过设置2组卡槽使吊杆适应2种电极孔位置不同的立式加热器。
实施例3：
一种立式加热器pbn涂层工装，结构如实施例1所述，不同之处在于，a段1-1上设置通孔3，通孔3直径为45mm，吊杆1通过通孔3吊装于cvd炉内顶端。
实施例4：
一种立式加热器pbn涂层工装，结构如实施例1所述，不同之处在于，c段1-3直径与立式加热器5内径相同，保护立式加热器5内表面，防止内表面涂上pbn，c段1-3高度小于立式加热器高度，保证立式加热器上下端口可以涂上少量pbn，完成pbn涂层的完美过渡，确保端口部位的pbn涂层不起层。
实施例5：
一种立式加热器pbn涂层工装，结构如实施例1所述，不同之处在于，挡气板4为圆柱体结构，d段1-4下端设置m45螺栓，挡气板4上设置对应的m45螺纹，挡气板4与d段1-4通过螺纹连接。
1.一种立式加热器pbn涂层工装，其特征在于，包括吊杆、挡气板和电极防护工装，吊杆顶部吊装于cvd炉内，吊杆底部设置挡气板，电极防护工装安装在立式加热器电极处，立式加热器通过电极防护工装套装在吊杆上。
2.如权利要求1所述的立式加热器pbn涂层工装，其特征在于，吊杆为圆柱体，从上到下依次为a段、b段、c段和d段，a段直径小于b段直径，b段直径小于c段直径，d段直径小于c段直径，a段连接至cvd炉内顶端，d段连接挡气板。
3.如权利要求2所述的立式加热器pbn涂层工装，其特征在于，c段侧面设置至少2个台阶状卡槽，具体的卡槽数量根据立式加热器电极孔数量确定，卡槽位置与立式加热器电机孔位置对应，卡槽由2个台阶组成，立式加热器通过电极防护工装套装在卡槽处，进而将立式加热器固定在吊杆上。
4.如权利要求3所述的立式加热器pbn涂层工装，其特征在于，电极防护工装包括螺钉、垫片和螺母，螺钉穿过立式加热器的电极孔，在电极孔两侧的螺钉上分别加装垫片，垫片外侧安装螺母，立式加热器通过内侧的螺母安装在卡槽的第一台阶处，垫片放置于卡槽的第二台阶处。
5.如权利要求3所述的立式加热器pbn涂层工装，其特征在于，c段侧面设置4个台阶状卡槽。
6.如权利要求2所述的立式加热器pbn涂层工装，其特征在于，a段上设置通孔，吊杆通过通孔吊装于cvd炉内顶端。
7.如权利要求2所述的立式加热器pbn涂层工装，其特征在于，c段直径与立式加热器内径相同，c段高度小于立式加热器高度。
8.如权利要求2所述的立式加热器pbn涂层工装，其特征在于，挡气板为圆柱体结构，挡气板与d段通过螺纹连接。
技术总结