本实用新型属于ccd相机调节技术领域，尤其涉及一种光刻机mark点的ccd调焦装置。
背景技术：
目前的光刻机在进行光刻时需要对mark点拍摄，以方便曝光时的定位，而现阶段的cdd是直接固定在机架上，cdd的焦距是固定的，也就是说cdd安装在机架后，焦距就固定了，因此该焦距是无法调节的。这样，不同的设备就需要事先根据所选ccd相机的焦距来确定好cdd相机的安装位置，以便得到清晰的图像；然而ccd的安装精度要求高，同时，每一台相同型号的设备都需要安装特定焦距的cdd，不同焦距的ccd相机是无法通用的，那么一旦cdd在使用过程中出现质量问题，需要购买相同型号的ccd替换或才能使用，这导致通用性不强。
技术实现要素：
本实用新型提供了一种光刻机mark点的ccd调焦装置，以达到提高通用性的目的。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种光刻机mark点的ccd调焦装置，包括连接板，所述连接板上螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹安装有螺套，所述螺套上螺纹连接有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有用于与ccd相机连接的调节套；所述螺套、所述螺杆和所述调节套的内部在轴向上相互连通。
作为一种改进，位于所述调节套内的所述螺杆上设有矫正透镜固定机构。
作为进一步的改进，所述矫正透镜固定机构包括螺纹安装于所述螺杆内壁上的限位套，所述螺杆的端部螺纹安装有固定安装套，所述固定安装套上设有与所述螺杆同轴设置的中心孔；所述限位套与所述固定安装套之间设有多个透镜。
作为再进一步的改进，所述螺套的内壁上螺纹连接有所述螺杆，所述螺杆的外壁上螺纹安装有锁紧环。
作为又进一步的改进，所述锁紧环和所述调节套上均设有多个紧固连接孔。
采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：
由于该光刻机mark点的ccd调焦装置包括连接板，连接板上螺纹孔，螺纹孔上螺纹安装有螺套，螺套上螺纹连接有螺杆，螺杆上螺纹连接有用于与ccd相机连接的调节套；螺套、螺杆和调节套的内部在轴向上相互连通，基于上述结构，该光刻机mark点的ccd调焦装置在使用中，通过连接板与光刻机的机架相连，通过螺套在连接板上的旋转，不仅可以微调ccd相机的焦距，而且实现了ccd相机拍摄位置的旋转式调节，以便与拍摄的mark点上下对应；通过调节套与螺杆的螺纹连接，便于调节套的轴向滑移，从而达到大范围调节的焦距目的。
综上所述，采用该光刻机mark点的ccd调焦装置，实现了ccd相机焦距的微调和大范围调节的目的，不同焦距的ccd相机均可在该装置上使用，与传统使用特定焦距的cdd相机的方式相比，大大提高了ccd相机使用的通用性，同时，有效降低了购置不同焦距ccd相机的成本。
由于位于调节套内的螺杆上设有矫正透镜固定机构，从而通过矫正透镜固定机构来纠正图像(如：模糊等)，以便ccd相机拍的更加清楚。
由于矫正透镜固定机构包括螺纹安装于螺杆内壁上的限位套，螺杆的端部螺纹安装有固定安装套，固定安装套上设有与螺杆同轴设置的中心孔；限位套与固定安装套之间设有多个透镜，从而通过多个透镜来达到纠正图像的效果，通过限位套和固定安装套的配合来对多个透镜进行固定和定位。
由于螺套的内壁上螺纹连接有螺杆，螺杆的外壁上螺纹安装有锁紧环，从而通过锁紧环与螺套端部的顶靠，实现螺杆在螺套上的固定，结构简单，操作方便，螺杆在螺套上的固定效果好。
由于锁紧环和调节套上均设有多个紧固连接孔，从而通过紧固连接孔便于紧固件将锁紧环和调节套可靠的固定于螺杆上，进而保证了ccd相机的位置固定性，避免了螺纹连接的各个部件之间发生松动而影响焦距。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为图1的剖视图；
其中，1-连接板；101-连接孔；2-螺套；3-螺杆；4-调节套；5-锁紧环；6-紧固连接孔；7-限位套；8-固定安装套；801-中心孔；9-透镜。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。
如图1和图2共同所示，一种光刻机mark点的ccd调焦装置，包括用于与机架相连的连接板1，该连接板1上设有多个连接孔101，该连接板1的中心处设有螺纹孔(图中未以标号的形式示出)，该螺纹孔上螺纹安装有螺套2，该螺套2上螺纹连接有螺杆3，该螺杆3上螺纹连接有用于与ccd相机连接的调节套4；该螺套2、螺杆3和调节套4均为中空结构、且上述三者的内部在轴向上相互连通。
位于调节套4内的螺杆3上设有矫正透镜固定机构，该矫正透镜固定机构包括螺纹安装于螺杆3内壁上的限位套7，该螺杆3的端部螺纹安装有固定安装套8，该固定安装套8设有与螺杆3同轴设置的中心孔801；该限位套7与固定安装套8之间设有多个透镜9。
在本方案中，该螺套2的内壁上螺纹连接有螺杆3，该螺杆3的外壁上螺纹安装有锁紧环5；该锁紧环5和调节套4上均设有多个紧固连接孔6。
以上所述实施例仅是对本实用新型的优选实施方式的描述，不作为对本实用新型范围的限定，在不脱离本实用新型设计精神的基础上，对本实用新型技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。
1.一种光刻机mark点的ccd调焦装置，其特征在于：包括连接板，所述连接板上螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹安装有螺套，所述螺套上螺纹连接有螺杆，所述螺杆上螺纹连接有用于与ccd相机连接的调节套；所述螺套、所述螺杆和所述调节套的内部在轴向上相互连通。
2.如权利要求1所述的光刻机mark点的ccd调焦装置，其特征在于：位于所述调节套内的所述螺杆上设有矫正透镜固定机构。
3.如权利要求2所述的光刻机mark点的ccd调焦装置，其特征在于：所述矫正透镜固定机构包括螺纹安装于所述螺杆内壁上的限位套，所述螺杆的端部螺纹安装有固定安装套，所述固定安装套上设有与所述螺杆同轴设置的中心孔；所述限位套与所述固定安装套之间设有多个透镜。
4.如权利要求1至3任一项所述的光刻机mark点的ccd调焦装置，其特征在于：所述螺套的内壁上螺纹连接有所述螺杆，所述螺杆的外壁上螺纹安装有锁紧环。
5.如权利要求4所述的光刻机mark点的ccd调焦装置，其特征在于：所述锁紧环和所述调节套上均设有多个紧固连接孔。
技术总结