本实用新型属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种用于干法刻蚀的硅片夹具。
背景技术：
面对全球能源危机，太阳能光伏发电技术已经成为半导体行业的新的发展热点。晶硅太阳能电池制造分为制绒、扩散、等离子刻蚀、psg清洗、pecvd镀膜、丝网印刷、烧结等工序，而扩散工艺会导致硅片边缘出现n型结层，会导致电池正负电极出现n型导通通路，影响太阳能电池的发电效率，因此需要将该层物质去除。
等离子刻蚀是目前产业常用的刻蚀方法之一，其原理为采用cf4和o2作为反应气体，将硅片叠放在一起后，让裸露出来的边缘的硅材料和反应气体反生反应，最终起到边缘刻蚀的效果，打断电池正负两级的导通通路。从刻蚀的原理可看出，刻蚀夹具是影响刻蚀效果的重要因素，夹具对硅片的施压太大会导致硅片碎裂，施压太小或者不均匀会导致反应气体渗透至硅片上下表面，对不需要刻蚀的区域造成损伤，影响发电效率。传统夹具结构简单，刻蚀效果不稳定，刻蚀夹具结构为采用两块金属矩形板，金属板两相对边连接有金属螺杆，两侧通过螺杆和螺栓将两块金属板间的硅片夹紧。
公布号为cn209389017u公开了一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板和压板，所述的底板两侧具有螺杆安装孔，螺杆垂直固定在安装孔内；所述的压板的两侧设置有便于螺杆穿过的通孔，压板在螺杆上相对底板上下移动；所述的底板上设置有两条相互垂直的槽，所述的槽分别设置有挡板；所述的螺杆上分别自上而下设置有上螺栓、弹性伸缩支架以及下螺栓；所述的上螺栓设置于压板的上方，所述的弹性伸缩支架设置于压板的下方，所述的下螺栓设置于底板与压板之间；所述的压板通过弹性伸缩支架的张开或闭合在螺杆上定位或移动。采用本实用新型可进行均匀的刻蚀，且有效地避免了二次划伤，很好的解决电性能良率低(漏电部分偏大)，大大提高了生产良率。
现有技术存在的问题是：两点施力会导致硅片受力不均影响夹紧效果，叠放需要人为规整容易出现对硅表面pn结的磨损。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种用于干法刻蚀的硅片夹具，以解决上述技术背景中提出的问题。
为解决上述问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板、压板，所述底板四周设有定位件，所述定位件上设有定位孔，直线导轨固定安装在定位孔内；所述压板上设有穿过压板的t型套筒和压紧机构，所述压紧机构包括支撑柱、第一固定件、套筒、第二固定件、第一连接件、移动件、压杆和活动杆，其中：所述支撑柱位于底板一侧，所述支撑柱侧面端部连接有第二固定件，所述第二固定件上通过销钉固定连接有第一连接件，所述第一连接件上端部通过第一连接轴与压杆活动连接，所述第一连接件下端部通过销钉与套筒固定连接，所述套筒活动套接在活动杆上，所述活动杆一端部套接有第一固定件，所述第一固定件与压板固定连接，所述活动杆的另一端部通过第二连接轴将活动杆套接在两个弧形移动件的一端，所述两个弧形移动件的另一端通过第三连接轴与压杆连接。
优选的，所述t型套筒的内径大于直线导轨的内径。
优选的，所述底板上设有三个滑槽，且分别与底板的四边平行。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一点施力避免了硅片边缘受力不均影响夹紧效果，叠放规整更容易出现而不会对硅表面pn结造成磨损。
附图说明
图1为本实用新型主视图；
图2为本实用新型左视图；
图3为底板结构示意图；
图中：1底板、2直线导轨、3压板、4t型套筒、5支撑柱、6第一固定件、7第一连接轴、8第一连接件、9套筒、10第二连接件、11第二固定件、12第二连接轴、13移动件、14第三连接轴、15第四连接轴、16压杆、17活动杆、101定位件、102定位孔、103底板主体、104滑槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有创造性成果的前提下获得的其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图所示，本实用新型提供一种技术方案：一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板1、压板3，所述底板1四周设有定位件101，所述定位件101上设有定位孔102，所述底板1上还设有三个滑槽103，且分别与底板1的四边平行，可在滑槽103上放入挡板，将硅片放入挡板形成的空间中，可实现对硅片的快速定位对齐，防止在规整硅片时导致硅片上的pn结损坏，在硅片放置完成后将挡板抽走，不会影响干法刻蚀效果。
直线导轨2固定安装在定位孔102内；所述压板3上设有穿过压板3的t型套筒4和压紧机构，所述t型套筒4的内径大于直线导轨2的内径，当压紧机构下压时，t型套筒4套接在直线导轨2上。
所述压紧机构包括支撑柱5、第一固定件6、套筒9、第二固定件11、第一连接件8、移动件13、压杆16和活动杆17，其中：所述支撑柱5位于底板1一侧，用来支撑整个压紧机构，所述支撑柱5侧面端部连接有第二固定件11，所述第二固定件11上通过销钉固定连接有第一连接件8，所述第一连接件8上端部通过第一连接轴12与压杆16活动连接，所述第一连接件8下端部通过销钉与套筒9固定连接，所述套筒9活动套接在活动杆17上，所述活动杆17一端部套接有第一固定件6，所述第一固定件6与压板3固定连接，所述活动杆17的另一端部通过第二连接轴14将活动杆17套接在两个弧形移动件13的一端，所述两个弧形移动件13的另一端通过第三连接轴15与压杆16连接，压杆16受向上推力时，沿着第二连接轴转动，带动移动件13上移，移动件13带动活动杆17沿套筒9向上运动，带动t型套筒4沿直线导轨2向上运动，从而带动压板3向上运动；压杆16受向下推力时，沿着第二连接轴转动，带动移动件13下移，移动件13带动活动杆17沿套筒9向下运动，带动t型套筒4沿直线导轨2向下运动，从而带动压板3向下运动；
本实用新型在工作时，首先向上推压杆16，压杆16受向上推力时，沿着第二连接轴转动，带动移动件13上移，移动件13带动活动杆17沿套筒9向上运动，带动t型套筒4沿直线导轨2向上运动，从而带动压板3向上运动，当第一固定件6的顶部与套筒9的底部接触时终止，然后在滑槽103上放入挡板，将硅片放入挡板形成的空间中，实现对硅片的快速定位对齐，在硅片放置完成后将挡板抽走，接着向下压压杆16，压杆16受向下推力时，沿着第二连接轴转动，带动移动件13下移，移动件13带动活动杆17沿套筒9向下运动，带动t型套筒4沿直线导轨2向下运动，从而带动压板3向下运动，最终压紧硅片。
虽然本实用新型已按照上述具体实施方式做了描述，但是本实用新型的发明思想并不限于此实用新型，任何运用本实用新型思想的改进，都将纳入本专利专利权利的保护范围内。
1.一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括底板(1)、压板(3)，其特征在于：所述底板(1)四周设有定位件(101)，所述定位件(101)上设有定位孔(102)，直线导轨(2)固定安装在定位孔(102)内；所述压板(3)上设有穿过压板(3)的t型套筒(4)和压紧机构，所述压紧机构包括支撑柱(5)、第一固定件(6)、套筒(9)、第二固定件(11)、第一连接件(8)、移动件(13)、压杆(16)和活动杆(17)，其中：所述支撑柱(5)位于底板(1)一侧，所述支撑柱(5)侧面端部连接有第二固定件(11)，所述第二固定件(11)上通过销钉固定连接有第一连接件(8)，所述第一连接件(8)上端部通过第一连接轴(12)与压杆(16)活动连接，所述第一连接件(8)下端部通过销钉与套筒(9)固定连接，所述套筒(9)活动套接在活动杆(17)上，所述活动杆(17)一端部套接有第一固定件(6)，所述第一固定件(6)与压板(3)固定连接，所述活动杆(17)的另一端部通过第二连接轴(14)将活动杆(17)套接在两个弧形移动件(13)的一端，所述两个弧形移动件(13)的另一端通过第三连接轴(15)与压杆(16)连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于干法刻蚀的硅片夹具，其特征在于：所述t型套筒(4)的内径大于直线导轨(2)的内径。
3.根据权利要求1所述的一种用于干法刻蚀的硅片夹具，其特征在于：所述底板(1)上设有三个滑槽(103)，且分别与底板(1)的四边平行。
技术总结