本实用新型主要涉及晶圆生产领域，尤其涉及一种晶圆移动轨道传感器感应系统。
背景技术：
在封装前道倒装工艺的收料设备上，空焊的资材需要经过轨道后进入视觉系统进行检测，但是空焊的资材未进行及时清除，导致原先的视觉系统不能满足空焊资材的检测和报警，从而作业完成的资材在后续工程发生大量品质事故。
技术实现要素：
针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种晶圆移动轨道传感器感应系统，包括传感器1，时间继电器2，电磁阀3和流量计4；所述传感器1位于设备前段，所述传感器1的信号输出端与时间继电器2相连，所述时间继电器2的输出端与电磁阀3相连，所述电磁阀3通过管道与流量计4相连,传感器1一端与电源6相连，所述电源为电压为24v。
优选的，所述传感器1为松下ex-14a。
优选的，所述电磁阀3为smcsy5120-5loz。
本实用新型的有益效果：该系统通过进料位置的传感器的感应，和新增的设备时间继电器的衔接，可以检测空焊资材在移动的整个过程中清除情况，清除的能力由流量的实时监控进行体现，最后通过视觉系统的及时探测和反馈异常资材发生。
附图说明
图1为本实用新型的电路原理图；
图2为本实用新型的信号逻辑图；
图中，
1、传感器；2、时间继电器；3、电磁阀；4、流量计；6、电源。
具体实施方式
为了使本技术领域人员更好地理解本实用新型的技术方案，并使本实用新型的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本实用新型做进一步的说明。实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。
如图1-2所示可知，本实用新型包括有：传感器1，时间继电器2，电磁阀3和流量计4；所述传感器1位于设备前段，所述传感器1的信号输出端与时间继电器2相连，所述时间继电器2的输出端与电磁阀3相连，所述电磁阀3通过管道与流量计4相连,传感器1一端与电源6相连，所述电源为电压为24v。
在本实施中优选的，所述传感器1为松下ex-14a。
在本实施中优选的，所述电磁阀3为smcsy5120-5loz。
在使用中，传感器1触发的信号线转接入时间继电器2中，时间继电器2打开电磁阀3，电磁阀3打开后流量计4开始工作，流量计4装在清除风口内，其清洁的能力由流量计4对流量的实时监控进行体现，最后通过视觉系统的及时探测和反馈异常资材发生。24v的电源对整套系统供电。
上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。
1.一种晶圆移动轨道传感器感应系统，包括传感器(1)，时间继电器(2)，电磁阀(3)和流量计(4)；其特征在于，所述传感器(1)位于设备前段，所述传感器(1)的信号输出端与时间继电器(2)相连，所述时间继电器(2)的输出端与电磁阀(3)相连，所述电磁阀(3)通过管道与流量计(4)相连，所述传感器(1)一端与电源(6)相连，所述电源电压为24v。
技术总结