本实用新型涉及一种清洗工具技术领域，具体是一种圆片盒清洗烘干的载体装置。
背景技术：
晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。晶圆盒内部有对称的沟槽，尺寸严格统一用于支撑晶圆的两边，通常一个晶圆盒装25片晶圆。晶圆盒一般采用耐温，耐磨，防静电添加的半透明塑料材质，不同颜色的添加剂用于区分半导体生产中的金属制程段。由于半导体的关键尺寸小，图案密集，生产中的颗粒度要求非常严格，晶圆盒必须保证洁净的环境，来连接到不同生产机台的微环境盒反应腔。
随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆盒的洁净度要求越来越高，目前在对圆晶片盒进行清理时，由于圆晶片盒固定放置在载体架内进行清理，这样导致清理不全面，会存在一些死角难以清理，且烘干过程占用时间久，降低工作效率，为此，发明人综合上各类因素提出一种圆片盒清洗烘干的载体装置。
技术实现要素：
本实用新型的目的在于提供一种圆片盒清洗烘干的载体装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种圆片盒清洗烘干的载体装置，包括底框，所述底框两侧框壁上方分别对应设置固定杆，固定杆为拱形杆，所述固定杆底部两侧垂直安装在底框两侧，两侧固定杆外侧均设置挡板，挡板两侧沿底框前部框壁方向设置支撑板，支撑板垂直安装在挡板上，所述两侧挡板内壁设置若干支撑杆，支撑杆两根为一组两梁支撑杆相对方向侧壁分布对应设置若干等距离分布的导轨槽，对应导轨槽内设置圆晶片盒，圆晶片盒底部设置旋转轴，旋转轴一侧安装在右侧挡板上，另一侧穿过左侧挡板延伸至外侧，所述左侧挡板对应旋转轴设置通孔。
工作时，将圆晶片盒放置在支撑杆侧壁的导轨槽内，通过支撑杆对导轨槽内的圆晶片盒进行稳固，利用驱动电机传动，带动旋转轴转动，进行偏心运动，实现圆晶片盒在清洗烘干过程中处于运动状态，清洗不留死角，干燥充分，提升圆晶片盒清洗工作的效率。
作为本实用新型的进一步方案：所述所述右侧挡板内侧壁设置固定器，固定器上方设置固定圆盘，所述固定器连接在旋转轴右侧，所述固定圆盘连接支撑杆右侧，通过固定圆盘与固定器提升圆晶置放的稳定性。
作为本实用新型的再进一步方案：所述支撑杆由不锈钢管加工而成，支撑杆外套塑料管件，整体轴铣扁，形成三边扁圆形，利用偏心的原理，使清洗和干燥过程中呈现运动状态。
作为本实用新型的再进一步方案：所述固定杆、底框、挡板与支撑板均为洁净不锈钢材质，保证强度的同时，也保证洁净度。
作为本实用新型的再进一步方案：所述圆晶片盒定位采用卡槽式，材质采用npp内衬不锈钢棒，既可以保证整体强度，又可以使圆晶片盒在卡槽内自由转动。
作为本实用新型的再进一步方案：所述支撑杆两侧设置若干托板，托板安装在两侧挡板内侧壁，通过调节托板位置可以用于不同规格圆晶片盒的装载。
作为本实用新型的再进一步方案：所述托板为倒拱形板，托板材质为洁净不锈钢，提升支撑杆的稳固性的同时，也保证洁净度。
与现有技术相比，本实用新型具有以下几个方面的有益效果：
1、本实用新型提供一种圆片盒清洗烘干的载体装置，结构新颖且布局合理，工作时，将圆晶片盒放置在支撑杆侧壁的导轨槽内，通过支撑杆对导轨槽内的圆晶片盒进行稳固，利用驱动电机传动，带动旋转轴转动，进行偏心运动，实现圆晶片盒在清洗烘干过程中处于运动状态，清洗不留死角，干燥充分，提升圆晶片盒清洗工作的效率。
2、本实用新型进一步设计，整体结构采用洁净不锈钢管件焊接而成，主要接触部件采用npp材质加工而成，既保证了载体的强度，又保证了洁净度，同时接触部件采用npp材料，保证片盒在工艺过程中无磨损。
3、本实用新型进一步设计支撑杆，所述支撑杆由不锈钢管加工而成，支撑杆外套塑料管件，整体轴铣扁，形成三边扁圆形，利用偏心的原理，使清洗和干燥过程中呈现运动状态。
4、本实用新型进一步在所述支撑杆两侧设置若干托板，托板安装在两侧挡板内侧壁，通过调节托板位置可以用于不同规格圆晶片盒的装载。
附图说明
图1为一种圆片盒清洗烘干的载体装置的立体结构示意图；
图2为一种圆片盒清洗烘干的载体装置中支撑杆的俯视结构示意图；
图3为一种圆片盒清洗烘干的载体装置中挡板的侧视结构示意图。
图中：1、底框；2、支撑板；3、挡板；4、通孔；5、固定杆；6、导轨槽；7、圆晶片盒；8、支撑杆；9、固定圆盘；10、固定器；11、旋转轴；12、托板。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1-3，一种圆片盒清洗烘干的载体装置，包括底框1，所述底框1两侧框壁上方分别对应设置固定杆5，固定杆5为拱形杆，所述固定杆5底部两侧垂直安装在底框1两侧，两侧固定杆5外侧均设置挡板3，挡板3两侧沿底框1前部框壁方向设置支撑板2，支撑板2垂直安装在挡板3上，所述两侧挡板3内壁设置若干支撑杆8，支撑杆8两根为一组两梁支撑杆8相对方向侧壁分布对应设置若干等距离分布的导轨槽6，对应导轨槽6内设置圆晶片盒7，圆晶片盒7底部设置旋转轴11，旋转轴11一侧安装在右侧挡板3上，另一侧穿过左侧挡板3延伸至外侧，所述左侧挡板3对应旋转轴11设置通孔4。
所述右侧挡板3内侧壁设置固定器10，固定器10上方设置固定圆盘9，所述固定器10连接在旋转轴11右侧，所述固定圆盘9连接支撑杆8右侧，通过固定圆盘9与固定器10提升圆晶片盒7置放的稳定性；所述支撑杆8由不锈钢管加工而成，支撑杆8外套塑料管件，整体轴铣扁，形成三边扁圆形，利用偏心的原理，使清洗和干燥过程中呈现运动状态；所述固定杆5、底框1、挡板3与支撑板2均为洁净不锈钢材质，保证强度的同时，也保证洁净度。
所述圆晶片盒7定位采用卡槽式，材质采用npp内衬不锈钢棒，既可以保证整体强度，又可以使圆晶片盒7在卡槽内自由转动；所述支撑杆8两侧设置若干托板12，托板12安装在两侧挡板3内侧壁，通过调节托板12位置可以用于不同规格圆晶片盒7的装载；所述托板12为倒拱形板，托板12材质为洁净不锈钢，提升支撑杆8的稳固性的同时，也保证洁净度。
本实用新型的工作原理是：工作时，将圆晶片盒7放置在支撑杆8侧壁的导轨槽6内，通过支撑杆8对导轨槽6内的圆晶片盒7进行稳固，利用驱动电机传动，带动旋转轴11转动，进行偏心运动，实现圆晶片盒7在清洗烘干过程中处于运动状态，清洗不留死角，干燥充分，提升圆晶片盒7清洗工作的效率。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下作出各种变化。
1.一种圆片盒清洗烘干的载体装置，包括底框（1），其特征在于，所述底框（1）两侧框壁上方分别对应设置固定杆（5），固定杆（5）为拱形杆，所述固定杆（5）底部两侧垂直安装在底框（1）两侧，两侧固定杆（5）外侧均设置挡板（3），挡板（3）两侧沿底框（1）前部框壁方向设置支撑板（2），支撑板（2）垂直安装在挡板（3）上，所述挡板（3）内壁设置若干支撑杆（8），支撑杆（8）两根为一组两梁支撑杆（8）相对方向侧壁分布对应设置若干等距离分布的导轨槽（6），对应导轨槽（6）内设置圆晶片盒（7），圆晶片盒（7）底部设置旋转轴（11），旋转轴（11）一侧安装在右侧挡板（3）上，另一侧穿过左侧挡板（3）延伸至外侧，所述左侧挡板（3）对应旋转轴（11）设置通孔（4）。
2.根据权利要求1所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置，其特征在于，所述右侧挡板（3）内侧壁设置固定器（10），固定器（10）上方设置固定圆盘（9），所述固定器（10）连接在旋转轴（11）右侧，所述固定圆盘（9）连接支撑杆（8）右侧。
3.根据权利要求1所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置，其特征在于，所述支撑杆（8）由不锈钢管加工而成，支撑杆（8）外套塑料管件，整体轴铣扁。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置，其特征在于，所述固定杆（5）、底框（1）、挡板（3）与支撑板（2）均为洁净不锈钢材质。
5.根据权利要求4所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置，其特征在于，所述圆晶片盒（7）定位采用卡槽式，材质采用npp内衬不锈钢棒。
6.根据权利要求5所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置，其特征在于，所述支撑杆（8）两侧设置若干托板（12），托板（12）安装在两侧挡板（3）内侧壁。
7.根据权利要求6所述的一种圆片盒清洗烘干的载体装置，其特征在于，所述托板（12）为倒拱形板，托板（12）材质为洁净不锈钢。
技术总结