本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种取放花篮兼取放压杆机构。
背景技术：
目前，在硅片的加工生产过程中，常常需要使用花篮盛放多个硅片，目前多数花篮的结构是有一端开口，从开口可向花篮内放入多个硅片，之后在花篮的开口处压设压杆，花篮上设置有卡槽，压杆的两端与花篮的卡槽卡设，如此，压杆即可对硅片限位。
在上述过程中，常常需要通过机械手抓取花篮，又需另外设置机械手做取放压杆操作，占用空间大，机构较为复杂，成本高。
技术实现要素：
本实用新型要解决的技术问题是提供一种取放花篮兼取放压杆机构，其既可取放花篮，又可取放压杆，结构紧凑，占用空间小，灵活度高。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种取放花篮兼取放压杆机构，包括多轴机械手和设置在多轴机械手上的安装板，所述安装板上设置有：
花篮限位组件，所述花篮限位组件包括第一定位柱和第二定位柱，所述第一定位柱和第二定位柱皆与所述花篮上的定位槽配合设置，所述第一定位柱和第二定位柱位于花篮两侧；
升降组件，所述升降组件包括升降驱动源、顶升板、第一安装板和第二安装板，所述升降驱动源与顶升板连接以驱动顶升板上下运动，所述第一安装板和第二安装板分别设置在所述顶升板的两端；
旋转夹持组件，其用于夹持与转动压杆，所述第一安装板和第二安装板上皆设置有旋转夹持组件。
作为优选的，所述安装板上竖直设置有第一导向杆和第二导向杆，所述顶升板套设在所述第一导向杆和第二导向杆上。
作为优选的，所述顶升板相对所述升降驱动源对称设置，所述第一导向杆和第二导向杆相对所述升降驱动源对称设置。
作为优选的，所述花篮限位组件还包括位于所述安装板两侧的第三安装板和第四安装板，所述第一定位柱设置在所述第三安装板上，所述第二定位柱设置在所述第四安装板上。
作为优选的，所述第一定位柱和第二定位柱皆具有两个。
作为优选的，所述第一安装板与第三安装板之间设置有第一导向组件；所述第一导向组件包括第一导轨，所述第一导轨位于所述第三安装板上，所述第一安装板与所述第一导轨配合设置。
作为优选的，所述第二安装板与所述第四安装板之间设置有第二导向组件，所述第二导向组件包括第二导轨，所述第二导轨位于所述第四安装板上，所述第二安装板与第二导轨配合设置。
作为优选的，所述升降驱动源为气缸。
作为优选的，所述顶升板位于所述安装板的上侧，所述花篮限位组件位于所述安装板的下侧。
作为优选的，所述旋转夹持组件包括旋转夹持气缸。
本实用新型的有益效果：
1、本实用新型通过可通过机械手带动花篮限位组件移动以取放花篮，也可通过升降组件带动旋转夹持组件下降，此时旋转夹持组件工作，即可取放压杆。
2、本实用新型即可取放花篮，也可取放压杆，结构紧凑，占用空间小，灵活度高。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中标号说明：10、安装板；20、升降驱动源；30、顶升板；31、第一安装板；32、第二安装板；33、第三安装板；331、第一定位柱；332、第二定位柱；34、第四安装板；40、旋转夹持组件；50、第一连接板；51、第二连接板；52、第一导向杆；53、第二导向杆；60、第一导轨；61、第二导轨。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
参照图1所示，本实用新型的公开了一种取放花篮兼取放压杆机构，包括多轴机械手和设置在多轴机械手上的安装板，安装板上设置有花篮限位组件、升降组件和旋转夹持组件40。
花篮限位组件包括第一定位柱331和第二定位柱332，第一定位柱331和第二定位柱332皆与花篮上的定位槽配合设置，第一定位柱331和第二定位柱332位于花篮两侧。通过多轴机械手，可以实现花篮限位组件移动，从而带动第一定位柱331和第二定位柱332塞入花篮的定位槽中，之后通过多轴机械手即可带动花篮移动，实现花篮的取放。花篮上的定位槽为侧向开槽，如此，第一定位柱331和第二定位柱332即可从花篮一侧移动至定位槽中，之后，多轴机械手即可带动花篮移动。
升降组件包括升降驱动源20、顶升板30、第一安装板31和第二安装板32，升降驱动源20与顶升板30连接以驱动顶升板30上下运动，第一安装板31和第二安装板32分别设置在顶升板30的两端。通过升降驱动源20，即可实现顶升板30上下运动，如此，即可实现第一安装板31和第二安装板32同步升降。
旋转夹持组件40用于夹持与转动压杆，第一安装板31和第二安装板32上皆设置有旋转夹持组件40。通过旋转夹持组件40，能够对压杆两端进行夹持与旋转，配合多轴机械手动作，可以实现压杆的取放。而升降组件即可带动两组旋转夹持组件40同步升降，稳定性好，效率高。
其中，多轴机械手在图中未示出，多轴机械手为现有技术，在此不做详细介绍。例如，本实施例中可使用三轴机械手。
本实用新型的工作原理是：当需要取放花篮时，升降驱动源20带动顶升板30上升，即实现旋转夹持组件40上升，闲置，之后，多轴机械手即带动花篮限位组件移动，从而移送花篮；当需要取放压杆时，升降驱动源20带动顶升板30下降，从而实现旋转夹持组件40下降，如此，多轴机械手移动时，旋转夹持组件40夹持压杆并旋转，即可实现在花篮上取放压杆。
顶升板30为π形结构，如此，对称性好，结构稳固，两个旋转夹持组件40运动同步。
在安装板上竖直设置有第一导向杆52和第二导向杆53，顶升板30套设在第一导向杆52和第二导向杆53上。第一导向杆52和第二导向杆53可以对顶升板30的运动进行导向。顶升板30相对升降驱动源20对称设置，第一导向杆52和第二导向杆53相对升降驱动源20对称设置，如此，结构稳定。顶升板30与第一安装板31通过第一连接板50连接，第一连接板50可为浮动连接板，如此，便于调节第一安装板31与安装板10之间的距离。第一连接板50上开设有长槽，顶升板30的一端卡设在长槽内，通过调整顶升板30在长槽中的位置并固定，从而可以调整第一安装板31与顶升板30之间的距离。第二安装板10与顶升板30通过第二连接板51连接，第二连接板51也可为浮动连接板，第二连接板51与第一连接板50结构一样，功能类似，在此不做详细介绍。
花篮限位组件还包括位于安装板两侧的第三安装板33和第四安装板34，第一定位柱331设置在第三安装板33上，第二定位柱332设置在第四安装板34上。安装板10、第三安装板33和第四安装板34组成n型结构。第一定位柱331和第二定位柱332皆具有两个。
第一安装板31与第三安装板33之间设置有第一导向组件。第一导向组件包括第一导轨60，第一导轨60位于第三安装板33上，第一安装板31与第一导轨60配合设置。第二安装板32与第四安装板34之间设置有第二导向组件，第二导向组件包括第二导轨61，第二导轨61位于第四安装板34上，第二安装板32与第二导轨61配合设置。第一导轨60可以对第一安装板31的运动进行导向，第二导轨61可以对第二安装板32的运动进行导向。
升降驱动源20为气缸。
顶升板30位于安装板10的上侧，花篮限位组件位于安装板10的下侧，这种设置方式，结构更为稳定。
旋转夹持组件40包括旋转夹持气缸。旋转夹持气缸带动夹爪夹持压杆并旋转，如此，便于取放压杆。
以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
1.一种取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，包括多轴机械手和设置在多轴机械手上的安装板，所述安装板上设置有：
花篮限位组件，所述花篮限位组件包括第一定位柱和第二定位柱，所述第一定位柱和第二定位柱皆与所述花篮上的定位槽配合设置，所述第一定位柱和第二定位柱位于花篮两侧；
升降组件，所述升降组件包括升降驱动源、顶升板、第一安装板和第二安装板，所述升降驱动源与顶升板连接以驱动顶升板上下运动，所述第一安装板和第二安装板分别设置在所述顶升板的两端；
旋转夹持组件，其用于夹持与转动压杆，所述第一安装板和第二安装板上皆设置有旋转夹持组件。
2.如权利要求1所述的取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，所述安装板上竖直设置有第一导向杆和第二导向杆，所述顶升板套设在所述第一导向杆和第二导向杆上。
3.如权利要求2所述的取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，所述顶升板相对所述升降驱动源对称设置，所述第一导向杆和第二导向杆相对所述升降驱动源对称设置。
4.如权利要求1所述的取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，所述花篮限位组件还包括位于所述安装板两侧的第三安装板和第四安装板，所述第一定位柱设置在所述第三安装板上，所述第二定位柱设置在所述第四安装板上。
5.如权利要求4所述的取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，所述第一定位柱和第二定位柱皆具有两个。
6.如权利要求4所述的取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，所述第一安装板与第三安装板之间设置有第一导向组件；所述第一导向组件包括第一导轨，所述第一导轨位于所述第三安装板上，所述第一安装板与所述第一导轨配合设置。
7.如权利要求4所述的取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，所述第二安装板与所述第四安装板之间设置有第二导向组件，所述第二导向组件包括第二导轨，所述第二导轨位于所述第四安装板上，所述第二安装板与第二导轨配合设置。
8.如权利要求4所述的取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，所述升降驱动源为气缸。
9.如权利要求1所述的取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，所述顶升板位于所述安装板的上侧，所述花篮限位组件位于所述安装板的下侧。
10.如权利要求1所述的取放花篮兼取放压杆机构，其特征在于，所述旋转夹持组件包括旋转夹持气缸。
技术总结