本实用新型涉及半导体元件制备的技术领域，尤其涉及一种芯片玻璃钝化自动擦粉机。
背景技术：
玻璃钝化保护芯片，简称玻璃钝化芯片，就是用熔凝玻璃来保护p-n结，用于高压大功率整流器件。硅整流器件的p-n结保护，刚开始时是用有机硅树脂和硅橡胶涂层进行，后来用硅的氧化物作钝化膜用于平面器件，对小信号平面器件及集成电路而言，用氧化膜保护显著地提高了可靠性。但是硅-二氧化硅系统中存在的界面态、固定电荷、可动电荷以及电离陷阱等仍对器件的稳定性和可靠性有较大的影响，不能满足日益提高的需求，为了控制或减少二氧化硅的这种影响，采取的方法，一是改善氧化层的质量，比如氧化时掺氯或掺磷，二是用其它更好的钝化膜来替代氧化膜，比如氮化硅、三氧化二铝、玻璃体、半绝缘多晶硅、聚酰亚胺等，或是多种膜结合使用。对于台面结构的高压大功率硅整流芯片，裸露的p-n结经过清洗处理后在清洁的状态下进行钝化保护。
现有技术中，芯片玻璃钝化前的擦粉操作都是人工擦粉，但是人工擦粉的力度不容易掌握，因此对于玻璃的清洁度无法保持一致、良品率无法保证。操作人员擦拭效率低下，且擦拭步骤复杂。同时擦拭过程中，玻璃粉容易飘散在空气中，污染环境。
技术实现要素：
本实用新型的目的是为了解决现有技术的缺点，而提出了一种芯片玻璃钝化自动擦粉机。
一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，包括工作台，所述工作台设有传送带，所述工作台下方设有回收仓，所述工作台中间设有擦拭箱，真空吸附组件设在所述工作台中间且在所述擦拭箱下方，所述擦拭箱中间设有隔板，所述隔板上设有转动支撑板，所述转动支撑板中间设有转轴且穿出所述擦拭箱，所述擦拭箱在所述转轴处设有转动机构，所述转动支撑板顶部和底部垂直设有伸缩支撑杆，所述伸缩支撑杆端部设有擦拭机构，清理刷设在所述擦拭箱内顶部且所述清理刷设在所述擦拭机构的上方，所述隔板上设有吸粉机构和限位机构。
优选的，所述转动机构在所述转轴旁设有转动电机，所述转轴上设有转动传动轮，所述电机上设有转动驱动轮，所述转动驱动轮与所述转动驱动轮啮合。
优选的，所述擦拭机构设有毛刷辊轴，所述毛刷辊轴端部连接所述伸缩支撑杆且设有擦拭传动轮，所述伸缩支撑杆上设有擦拭电机，所述擦拭电机上设有擦拭驱动轮，所述擦拭传动轮和所述擦拭驱动轮啮合。
优选的，所述吸粉机构在所述隔板上设有集粉室，所述集粉室侧面设有抽风机，所述集粉室和所述抽风机之间设有滤网，所述集粉室顶部设有吸粉管道。
优选的，所述吸粉管道一端连接所述集粉室且另一端设在所述清理刷旁。
优选的，所述擦拭箱在所述吸粉机构处设有密封门，所述密封门上设有观察窗。
优选的，所述真空吸附组件与所述回收仓之间设有回收管道。
优选的，上方所述毛刷辊轴顶端到下方所述毛刷辊轴底端之间距离小于所述转动支撑板的侧面长度。
优选的，所述限位机构在所述隔板的顶部一侧设有螺纹杆且在另一侧设有滑杆，所述隔板上设有限位块，所述限位块垂直于所述螺纹杆和滑杆，所述螺纹杆穿过所述限位块一端且所述滑杆穿过所述限位块另一端，所述螺纹杆旁设有限位电机，所述螺纹杆和电机上设有限位齿轮且啮合。
优选的，所述螺纹杆关于所述转轴设有对称的螺纹段。
本实用新型的有益效果是:
通过转动支撑板上方和下方设有的擦拭机构，有效保证擦拭清洁度，在进行清理和替换毛刷同时保持不间断擦粉，提高了擦粉效率；通过清理刷和吸粉机构高效的清理毛刷，保证转动替换的擦拭机构清洁，提高了玻璃擦拭清洁度；通过转动支撑板，减少中断清理的时间，提高了清洁效率，保证长时间的擦拭。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一同用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型侧视图；
图3为擦拭箱放大示意图；
图4为隔板上方俯视结构示意图；
图5为图3中圈a放大示意图；
图6为图3中圈b放大示意图；
图中标记为：1-工作台，2-传送带，3-擦拭箱，4-回收仓，5-真空吸附组件，6-回收管道，7-擦拭机构，8-清理刷，9-吸粉管道，10-集粉室，11-抽风机，12-转动支撑板，13-隔板，14-限位机构，15-转动机构，16-毛刷辊轴，17-擦拭传动轮，18-擦拭驱动轮，19-擦拭电机，20-转动传动轮，21-转动驱动轮，22-转动电机，23-伸缩支撑杆，24-转轴。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
根据图1至图6所示，一种芯片玻璃钝化自动擦粉机包括工作台1，工作台1设有传送带2，工作台1下方设有回收仓4，工作台1中间设有擦拭箱3，真空吸附组件5设在工作台1中间且在擦拭箱3下方，擦拭箱3中间设有隔板13，隔板13上设有转动支撑板12，转动支撑板12中间设有转轴24且穿出擦拭箱3，擦拭箱3在转轴24处设有转动机构15，转动支撑板12顶部和底部垂直设有伸缩支撑杆23，伸缩支撑杆23端部设有擦拭机构7，清理刷8设在擦拭箱3内顶部且清理刷8设在擦拭机构7的上方，隔板13上设有吸粉机构和限位机构14。真空吸附组件5与回收仓4之间设有回收管道6。
转动机构15在转轴24旁设有转动电机22，转轴24上设有转动传动轮20，电机上设有转动驱动轮21，转动驱动轮21与转动驱动轮21啮合。
擦拭机构7设有毛刷辊轴16，毛刷辊轴16端部连接伸缩支撑杆23且设有擦拭传动轮17，伸缩支撑杆23上设有擦拭电机19，擦拭电机19上设有擦拭驱动轮18，擦拭传动轮17和擦拭驱动轮18啮合。
吸粉机构在隔板13上设有集粉室10，集粉室10侧面设有抽风机11，集粉室10和抽风机11之间设有滤网，集粉室10顶部设有吸粉管道9。
工作原理：将芯片玻璃放在传送带2上，传送带2将芯片玻璃送入擦拭箱3内。当芯片玻璃进入擦拭箱3内，真空吸附组件5对芯片玻璃产生吸附力。传送带2将芯片玻璃带到下方擦拭机构7处，擦拭机构7被芯片玻璃顶起，伸缩支撑杆23收缩。擦拭电机19带动擦拭驱动轮18转动，擦拭驱动轮18带动啮合的擦拭传动轮17转动，擦拭传动轮使得毛刷辊轴16转动。毛刷辊轴16擦拭芯片玻璃表面的玻璃粉，玻璃粉通过真空吸附组件5被吸入回收管道6在进入回收仓4。
当传出擦拭箱3的芯片玻璃被检测处清洁度不高时，传送带2停止，转动电机22通电通过转动驱动轮21带动转动传动轮20转动，转动传动轮20通过转轴24使得转动支撑板12翻转。下方的擦拭机构7转至上方，上方的擦拭机构7转至下方。原下方的擦拭机构7的毛刷辊轴16接触清理刷8，毛刷辊轴16转动且通过清理刷8使得毛刷辊轴16上吸附的玻璃粉飘散，抽风机11启动并通过吸粉管道9将飘散的玻璃粉吸入集粉室10。通过密封门上的观察窗集粉室10内玻璃粉是否需要清理。
再次转动清理毛刷辊轴16时，转动支撑板12反向翻转。
在翻转前，限位电机通电带动螺纹杆转动，使得限位块沿着滑杆相背运动，使得转动支撑板12处于活动状态。翻转后，限位电机通电带动螺纹杆转动，使得限位块沿着滑杆相向运动，使得转动支撑板12处于限位状态
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
1.一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，包括工作台，所述工作台设有传送带，所述工作台下方设有回收仓，所述工作台中间设有擦拭箱，真空吸附组件设在所述工作台中间且在所述擦拭箱下方，所述擦拭箱中间设有隔板，所述隔板上设有转动支撑板，所述转动支撑板中间设有转轴且穿出所述擦拭箱，所述擦拭箱在所述转轴处设有转动机构，所述转动支撑板顶部和底部垂直设有伸缩支撑杆，所述伸缩支撑杆端部设有擦拭机构，清理刷设在所述擦拭箱内顶部且所述清理刷设在所述擦拭机构的上方，所述隔板上设有吸粉机构和限位机构。
2.根据权利要求1所述的一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述转动机构在所述转轴旁设有转动电机，所述转轴上设有转动传动轮，所述电机上设有转动驱动轮，所述转动驱动轮与所述转动驱动轮啮合。
3.根据权利要求1所述的一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述擦拭机构设有毛刷辊轴，所述毛刷辊轴端部连接所述伸缩支撑杆且设有擦拭传动轮，所述伸缩支撑杆上设有擦拭电机，所述擦拭电机上设有擦拭驱动轮，所述擦拭传动轮和所述擦拭驱动轮啮合。
4.根据权利要求1所述的一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述吸粉机构在所述隔板上设有集粉室，所述集粉室侧面设有抽风机，所述集粉室和所述抽风机之间设有滤网，所述集粉室顶部设有吸粉管道。
5.根据权利要求4所述的一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述吸粉管道一端连接所述集粉室且另一端设在所述清理刷旁。
6.根据权利要求1所述的一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述擦拭箱在所述吸粉机构处设有密封门，所述密封门上设有观察窗。
7.根据权利要求1所述的一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述真空吸附组件与所述回收仓之间设有回收管道。
8.根据权利要求3所述的一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，上方所述毛刷辊轴顶端到下方所述毛刷辊轴底端之间距离小于所述转动支撑板的侧面长度。
9.根据权利要求1所述的一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述限位机构在所述隔板的顶部一侧设有螺纹杆且在另一侧设有滑杆，所述隔板上设有限位块，所述限位块垂直于所述螺纹杆和滑杆，所述螺纹杆穿过所述限位块一端且所述滑杆穿过所述限位块另一端，所述螺纹杆旁设有限位电机，所述螺纹杆和电机上设有限位齿轮且啮合。
10.根据权利要求9所述的一种芯片玻璃钝化自动擦粉机，其特征在于，所述螺纹杆关于所述转轴设有对称的螺纹段。
技术总结