本发明涉及晶圆检测技术领域，具体为一种晶圆检测双镜头模组。
背景技术：
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。
目前的晶圆检测用镜头模组结构单一，使用便利性差，因此，有必要进行改进。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种晶圆检测双镜头模组，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆检测双镜头模组,包括安装座、第一连接座和第二连接座，所述安装座下端面分别安装第一安装孔和第二安装孔，所述第一连接座、第二连接座分别通过装夹机构固定于第一安装孔和第二安装孔，所述第一连接座螺纹连接第一镜头套筒安装座，所述第一镜头套筒安装座上安装第一镜头套筒，所述第一镜头套筒上安装第一镜头，所述第二连接座螺纹连接第二镜头套筒安装座，所述第二镜头套筒安装座上安装第二镜头套筒，所述第二镜头套筒上安装第二镜头。
优选的，本申请提供的一种晶圆检测双镜头模组，其中，所述装机构包括第一装夹块、第二装夹块、第三装夹块和第四装夹块，所述第一装夹块与安装孔侧壁之间连接第一顶紧气缸，所述第二装夹块与安装孔侧壁之间连接第二顶紧气缸，所述第三装夹块与安装孔侧壁之间连接第三顶紧气缸，所述第四装夹块与安装孔侧壁之间连接第四顶紧气缸。
优选的，本申请提供的一种晶圆检测双镜头模组，其中，所述第一装夹块、第二装夹块、第三装夹块和第四装夹块均采用弧形结构。
优选的，本申请提供的一种晶圆检测双镜头模组，其中，所述安装座一侧固定安装板，所述安装座上端面开设镜筒安装孔。
优选的，本申请提供的一种晶圆检测双镜头模组，其中，所述安装座侧壁还安装信号插接孔。
优选的，本申请提供的一种晶圆检测双镜头模组，其中，所述第一镜头一侧固定安装第一光源，所述第二镜头一侧固定安装第二光源。
优选的，本申请提供的一种晶圆检测双镜头模组，其中，所述第一装夹块、第二装夹块、第三装夹块和第四装夹块内侧壁分别安装橡胶垫。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明结构设计新颖，采用双镜头检测，能够提高检测精度，此外，双镜头便于拆装和保养，延长了其使用寿命；其中，本发明采用的装夹机构装夹效率高，稳定性好，能够提高镜头安装筒的拆装效率。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明装夹机构结构示意图；
图中：安装座1、第一连接座2、第二连接座3、第一安装孔4、第二安装孔5、第一镜头套筒安装座6、第一镜头套筒7、第一镜头8、第二镜头套筒安装座9、第二镜头套筒10、第二镜头11、第一装夹块12、第二装夹块13、第三装夹块14、第四装夹块15、第一顶紧气缸16、第二顶紧气缸17、第三顶紧气缸18、第四顶紧气缸19、安装板20、镜筒安装孔21、信号插接孔22、第一光源23、第二光源24、橡胶垫25。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：一种晶圆检测双镜头模组,包括安装座1、第一连接座2和第二连接座3，所述安装座1下端面分别安装第一安装孔4和第二安装孔5，所述第一连接座2、第二连接座3分别通过装夹机构固定于第一安装孔4和第二安装孔5，所述第一连接座2螺纹连接第一镜头套筒安装座6，所述第一镜头套筒安装座6上安装第一镜头套筒7，所述第一镜头套筒7上安装第一镜头8，所述第二连接座3螺纹连接第二镜头套筒安装座9，所述第二镜头套筒安装座9上安装第二镜头套筒10，所述第二镜头套筒10上安装第二镜头11；第一镜头8一侧固定安装第一光源23，所述第二镜头11一侧固定安装第二光源24。
本发明中，装夹机构包括第一装夹块12、第二装夹块13、第三装夹块14和第四装夹块15，所述第一装夹块12与安装孔侧壁之间连接第一顶紧气缸16，所述第二装夹块13与安装孔侧壁之间连接第二顶紧气缸17，所述第三装夹块14与安装孔侧壁之间连接第三顶紧气缸18，所述第四装夹块15与安装孔侧壁之间连接第四顶紧气缸19；第一装夹块12、第二装夹块13、第三装夹块14和第四装夹块15均采用弧形结构；第一装夹块12、第二装夹块13、第三装夹块14和第四装夹块15内侧壁分别安装橡胶垫25。
此外，本发明中，安装座1一侧固定安装板20，所述安装座1上端面开设镜筒安装孔21；安装座1侧壁还安装信号插接孔22。
综上所述，本发明结构设计新颖，采用双镜头检测，能够提高检测精度，此外，双镜头便于拆装和保养，延长了其使用寿命；其中，本发明采用的装夹机构装夹效率高，稳定性好，能够提高镜头安装筒的拆装效率。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
1.一种晶圆检测双镜头模组,包括安装座（1）、第一连接座（2）和第二连接座（3），其特征在于：所述安装座（1）下端面分别安装第一安装孔（4）和第二安装孔（5），所述第一连接座（2）、第二连接座（3）分别通过装夹机构固定于第一安装孔（4）和第二安装孔（5），所述第一连接座（2）螺纹连接第一镜头套筒安装座（6），所述第一镜头套筒安装座（6）上安装第一镜头套筒（7），所述第一镜头套筒（7）上安装第一镜头（8），所述第二连接座（3）螺纹连接第二镜头套筒安装座（9），所述第二镜头套筒安装座（9）上安装第二镜头套筒（10），所述第二镜头套筒（10）上安装第二镜头（11）。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测双镜头模组，其特征在于：所述装夹机构包括第一装夹块（12）、第二装夹块（13）、第三装夹块（14）和第四装夹块（15），所述第一装夹块（12）与安装孔侧壁之间连接第一顶紧气缸（16），所述第二装夹块（13）与安装孔侧壁之间连接第二顶紧气缸（17），所述第三装夹块（14）与安装孔侧壁之间连接第三顶紧气缸（18），所述第四装夹块（15）与安装孔侧壁之间连接第四顶紧气缸（19）。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测双镜头模组，其特征在于：所述第一装夹块（12）、第二装夹块（13）、第三装夹块（14）和第四装夹块（15）均采用弧形结构。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测双镜头模组，其特征在于：所述安装座（1）一侧固定安装板（20），所述安装座（1）上端面开设镜筒安装孔（21）。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测双镜头模组，其特征在于：所述安装座（1）侧壁还安装信号插接孔（22）。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆检测双镜头模组，其特征在于：所述第一镜头（8）一侧固定安装第一光源（23），所述第二镜头（11）一侧固定安装第二光源（24）。
7.根据权利要求2所述的一种晶圆检测双镜头模组，其特征在于：所述第一装夹块（12）、第二装夹块（13）、第三装夹块（14）和第四装夹块（15）内侧壁分别安装橡胶垫（25）。
技术总结