本发明属于退火炉技术领域,具体涉及一种便于传送和退火的不锈钢退火炉。
背景技术:
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底,退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。
目前,现有的退火炉在实际使用,往往需要人工将材料搬运至台面上,由于台体的高度较高,导致物料的抬运较为耗费人力,并且物料堆积在台面上,导致退火冷却效果不太好,不能满足企业需求。
技术实现要素:
本发明的目的在于提供一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,包括支撑台、顶箱、退火箱和固定板,所述支撑台的底部四角处阵列设有支撑腿,所述支撑台的上表面设有传送带,所述传送带上设有多个阻挡件;
所述阻挡件包括相互滑动连接滑动阻隔板、固定板,所述固定板与滑动阻隔板交错滑动相连,且固定板朝向滑动阻隔板的面上开设有两个与滑动阻隔板滑动方向平齐的滑动槽,所述滑动槽的内部嵌入固定安装有滑杆,所述滑杆的两端均固定连接滑动槽的内壁,所述滑动阻隔板朝向固定板的面上凸出设有两个连接块,两个所述连接块对称且间隔设置,所述连接块与滑动槽为位置平齐,所述连接块背离滑动阻隔板的一端伸入滑动槽得到内部并套设在滑杆外部的滑动环固定连接;
所述支撑台的上表面设有退火箱,所述退火箱的上表面还设有顶箱,所述顶箱与退火箱连通,所述退火箱的内部顶端面焊接竖直设置的固定杆一端,固定杆的另一端固定连接吊架的上表面;
所述吊架的内部转动设有两根传动轮,两根所述传动轮与固定杆垂直分布,且传动轮的两端面均转动连接在吊架的内壁,所述吊架的内部设有滑道,两根传动轮的外部分别套设传动链条的一端,所述传动链条上固定连接连接板的一端,所述连接板与传动链条同步移动且背离传动链条的一端与滑动阻隔板扣接。
优选的,所述连接板沿滑道移动,所述连接板在传动链条上等距排列有多块,所述退火箱的外部与传动轮位置平齐处安装有电机,电机通过传动轴与传动轮相连驱动传动轮旋转。
优选的,所述连接板背离传动链条的一端设有限位块,所述限位块位于连接板朝向滑动阻隔板翻转的一面,所述滑动阻隔板上开设有与限位块适配的连接槽。
优选的,所述滑动环为空心圆环结构,且外壁与连接块的一端固定连接,所述滑动环与滑杆滑动连接。
优选的,所述退火箱的两侧外壁上均安装有风管,所述风管与安装在退火箱内侧壁上的通风板位置平齐并与其连通。
优选的,所述退火箱的侧壁上开设有将风管与通风板连通的通孔。
优选的,所述通风板的内部阵列安装有多个风扇,且通风板共对称设有两个,通风板的一侧外壁上焊接有与退火箱内壁螺纹连接的安装块,两个所述通风板的风向相反。
优选的,所述退火箱的上表面安装有通风网。
本发明的技术效果和优点:该便于传送和退火的不锈钢退火炉,通过滑动阻隔板与固定板的设置可将物料分隔进行退火作业,提升物料的退火效率,依靠滑动阻隔板与固定板的滑动连接,随着传送带的移动可拉伸至最大尺寸状态,进而提升进料的面积,并且在随着移动会自动下滑收起,不会占用空间,实用性强,通过滑动阻隔板与连接板的配合使得物料在经过退火箱时被限位分隔,不会受到风力的影响而相互乱串,保持物料的独立性,该便于传送和退火的不锈钢退火炉,结构合理,退火高效,稳定可靠性高,可广泛推广。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为本发明的退火箱内部结构示意图;
图3为本发明的固定板结构示意图;
图4为本发明的通风板安装位置结构示意图;
图5为本发明的图1中a处放大结构示意图。
图中:1风管、2支撑台、3顶箱、4退火箱、5支撑腿、6固定板、7滑动阻隔板、8传送带、9固定杆、10连接板、11吊架、12限位块、14传动链条、15通风网、16连接槽、17连接块、18滑动环、19通风板、20通孔、21滑动槽、22滑杆、23安装块、24传动轮。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明提供了如图1-5所示的一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,包括支撑台2、顶箱3、退火箱4和固定板6,所述支撑台2的底部四角处阵列设有支撑腿5,所述支撑台2的上表面设有传送带8,所述传送带8上设有多个阻挡件;
所述阻挡件包括相互滑动连接滑动阻隔板7、固定板6,所述固定板6与滑动阻隔板7交错滑动相连,且固定板6朝向滑动阻隔板7的面上开设有两个与滑动阻隔板7滑动方向平齐的滑动槽21,所述滑动槽21的内部嵌入固定安装有滑杆22,所述滑杆22的两端均固定连接滑动槽21的内壁,所述滑动阻隔板7朝向固定板6的面上凸出设有两个连接块17,两个所述连接块17对称且间隔设置,所述连接块17与滑动槽21为位置平齐,所述连接块17背离滑动阻隔板7的一端伸入滑动槽21得到内部并套设在滑杆22外部的滑动环18固定连接;
所述支撑台2的上表面设有退火箱4,所述退火箱4的上表面还设有顶箱3,所述顶箱3与退火箱4连通,所述退火箱4的内部顶端面焊接竖直设置的固定杆9一端,固定杆9的另一端固定连接吊架11的上表面;
所述吊架11的内部转动设有两根传动轮24,两根所述传动轮24与固定杆9垂直分布,且传动轮24的两端面均转动连接在吊架11的内壁,所述吊架11的内部设有滑道,两根传动轮24的外部分别套设传动链条14的一端,所述传动链条14上固定连接连接板10的一端,所述连接板10与传动链条14同步移动且背离传动链条14的一端与滑动阻隔板7扣接。
具体的,所述连接板10沿滑道移动,所述连接板10在传动链条14上等距排列有多块,所述退火箱4的外部与传动轮24位置平齐处安装有电机,电机通过传动轴与传动轮24相连驱动传动轮24旋转,传动轮24与传动链条14为传动连接结构,也可以替换成本领域技术人员熟知的其他结构。
具体的,所述连接板10背离传动链条14的一端设有限位块12,所述限位块12位于连接板10朝向滑动阻隔板7翻转的一面,所述滑动阻隔板7上开设有与限位块12适配的连接槽16,连接板10上的限位块12嵌入开设在滑动阻隔板7上的连接槽16。
具体的,所述滑动环18为空心圆环结构,且外壁与连接块17的一端固定连接,所述滑动环18与滑杆22滑动连接,通过滑动环18与滑杆22的配合使得滑动阻隔板7与固定板6具有可伸缩性。
具体的,所述退火箱4的两侧外壁上均安装有风管1,所述风管1与安装在退火箱4内侧壁上的通风板19位置平齐并与其连通。
具体的,所述退火箱4的侧壁上开设有将风管1与通风板19连通的通孔20,风管1起到保护环境的作用,对烟气进行引流。
具体的,所述通风板19的内部阵列安装有多个风扇,且通风板19共对称设有两个,通风板19的一侧外壁上焊接有与退火箱4内壁螺纹连接的安装块23,两个所述通风板19的风向相反。
具体的,所述退火箱4的上表面安装有通风网15,退火箱4与顶箱3连通,顶箱3的内部也设有风冷机构。
工作原理:该便于传送和退火的不锈钢退火炉,在使用时,首先启动传动带,传送带8在支撑台2内侧转动,工作原理与现有技术中的流水线一致,滑动阻隔板7随着传动带的移动在支撑台2的底部时,依靠滑动连接的方式与固定板6展开至最大尺寸,并且随着传动带移动至支撑台2的侧边时,也就是固定板6与滑动阻隔板7转动至水平状态时,将需要退火的物料放置在滑动阻隔板7的表面,进而无需人工将物料搬运至支撑台2上,有效提升物料的搬运便捷性,位于滑动阻隔板7表面的物料随着传动带的移动而进入支撑台2的上表面,此时受到重力的影响,滑动阻隔板7滑落,与固定板6缩小至最小尺寸,此时物料在多个固定板6之间隔开,并且移动至退火箱4的内部;
当滑动阻隔板7移动进入退火箱4的同时,连接板10随着传动链条14的移动与滑动阻隔板7接触,连接板10上的限位块12嵌入开设在滑动阻隔板7上的连接槽16,进而物料被隔离分开在独立的空间内,退火箱4侧壁上的通风板19工作,其中一个通风板19吹风,另一个通风板19抽风,将物料上的热量带走,通过分隔的方式,避免物料收到风力的影响串在一起,使得移出退火箱4的物料依然保持独立,实用性强,有效提升物料的退火便捷性,传动轮24受电机驱动转动,物料移出退火箱4之后从传送带8上滑落进入下一工序,该便于传送和退火的不锈钢退火炉,结构合理,退火高效,稳定可靠性高,可广泛推广。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
1.一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,包括支撑台(2)、顶箱(3)、退火箱(4)和固定板(6),其特征在于:所述支撑台(2)的底部四角处阵列设有支撑腿(5),所述支撑台(2)的上表面设有传送带(8),所述传送带(8)上设有多个阻挡件;
所述阻挡件包括相互滑动连接滑动阻隔板(7)、固定板(6),所述固定板(6)与滑动阻隔板(7)交错滑动相连,且固定板(6)朝向滑动阻隔板(7)的面上开设有两个与滑动阻隔板(7)滑动方向平齐的滑动槽(21),所述滑动槽(21)的内部嵌入固定安装有滑杆(22),所述滑杆(22)的两端均固定连接滑动槽(21)的内壁,所述滑动阻隔板(7)朝向固定板(6)的面上凸出设有两个连接块(17),两个所述连接块(17)对称且间隔设置,所述连接块(17)与滑动槽(21)为位置平齐,所述连接块(17)背离滑动阻隔板(7)的一端伸入滑动槽(21)得到内部并套设在滑杆(22)外部的滑动环(18)固定连接;
所述支撑台(2)的上表面设有退火箱(4),所述退火箱(4)的上表面还设有顶箱(3),所述顶箱(3)与退火箱(4)连通,所述退火箱(4)的内部顶端面焊接竖直设置的固定杆(9)一端,固定杆(9)的另一端固定连接吊架(11)的上表面;
所述吊架(11)的内部转动设有两根传动轮(24),两根所述传动轮(24)与固定杆(9)垂直分布,且传动轮(24)的两端面均转动连接在吊架(11)的内壁,所述吊架(11)的内部设有滑道,两根传动轮(24)的外部分别套设传动链条(14)的一端,所述传动链条(14)上固定连接连接板(10)的一端,所述连接板(10)与传动链条(14)同步移动且背离传动链条(14)的一端与滑动阻隔板(7)扣接。
2.根据权利要求1所述的一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,其特征在于:所述连接板(10)沿滑道移动,所述连接板(10)在传动链条(14)上等距排列有多块,所述退火箱(4)的外部与传动轮(24)位置平齐处安装有电机,电机通过传动轴与传动轮(24)相连驱动传动轮(24)旋转。
3.根据权利要求1所述的一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,其特征在于:所述连接板(10)背离传动链条(14)的一端设有限位块(12),所述限位块(12)位于连接板(10)朝向滑动阻隔板(7)翻转的一面,所述滑动阻隔板(7)上开设有与限位块(12)适配的连接槽(16)。
4.根据权利要求1所述的一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,其特征在于:所述滑动环(18)为空心圆环结构,且外壁与连接块(17)的一端固定连接,所述滑动环(18)与滑杆(22)滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,其特征在于:所述退火箱(4)的两侧外壁上均安装有风管(1),所述风管(1)与安装在退火箱(4)内侧壁上的通风板(19)位置平齐并与其连通。
6.根据权利要求1所述的一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,其特征在于:所述退火箱(4)的侧壁上开设有将风管(1)与通风板(19)连通的通孔(20)。
7.根据权利要求5所述的一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,其特征在于:所述通风板(19)的内部阵列安装有多个风扇,且通风板(19)共对称设有两个,通风板(19)的一侧外壁上焊接有与退火箱(4)内壁螺纹连接的安装块(23),两个所述通风板(19)的风向相反。
8.根据权利要求1所述的一种便于传送和退火的不锈钢退火炉,其特征在于:所述退火箱(4)的上表面安装有通风网(15)。
技术总结