本申请涉及蒸镀领域，特别涉及一种防喷溅蒸镀机构。
背景技术：
现有技术中，坩埚上方是开放式的，通过缠绕在坩埚外部的加热装置对坩埚进行电加热，坩埚中容纳的蒸镀物蒸发时产生的蒸汽移动至基板上，因为开口部内外侧急剧的温度变化，蒸镀物质在开口部周围凝缩，就可能会发生堵塞开口部的现象。
另外，蒸镀物质受坩埚内的热熔化，坩埚内蒸镀物质的蒸发面中有部分蒸镀物喷溅到坩埚上部，或是发生以非分子单位而是以小颗粒单位蒸发的现象(即喷溅)，部分蒸镀物质可能会附着在坩埚上方的开口部位周围。
在上述情况下，由于开口部被蒸镀物质堵住，蒸镀物质的蒸发率会不稳定，且蒸镀物会喷溅到基板上，从而存在难以确保基板上形成的膜厚的再现性的问题。
技术实现要素：
本申请提供了一种防喷溅蒸镀机构，可以有效地减少开口部被蒸镀物堵塞的情况发生，还可以防止蒸镀物喷溅到基板上，以提高蒸镀在基板上薄膜的均匀性。
为了达到上述目的，本申请提供了一种防喷溅蒸镀机构，包括：
坩埚，所述坩埚内设有用于容纳蒸镀物的容纳腔，所述容纳腔一端具有开口；
多个内置板组，多个所述内置板组位置可调地设在所述容纳腔中、且多个所述内置板组沿所述容纳腔的底部向其开口端间隔分布，每个所述内置板组包括多个间隔设置的内置板，至少一个所述内置板上的移动通道与另外至少一个所述内置板上的移动通道在所述容纳腔开口端的投影不相互重叠。
本申请中的防喷溅蒸镀机构，多个内置板组沿容纳腔的底部向其开口端间隔分布，每个内置板组中，间隔设置多个内置板，至少一个内置板上的移动通道与另外至少一个内置板上的移动通道在容纳腔开口端的投影不相互重叠。由此，坩埚中的蒸镀物在急剧蒸发时，被蒸发的蒸镀物会以小颗粒的形式向坩埚开口端移动，因多个内置板的移动通道在坩埚内部的容纳腔中为非垂直的通道，在移动的过程中被蒸发的蒸镀物质会与内置板产生撞击后分裂成分子单位，然后继续向容纳腔的开口端移动，从而防止蒸镀物喷溅到基板上。另外，当蒸镀物的量及工艺条件的变化时，调节内置板组安装在容纳腔中的位置，使坩埚内部与外部的压力差稳定，以减少容纳腔的开口部被蒸镀物堵塞的情况发生。
与现有技术相对比，现有技术中将一个内置板固定在容纳腔的内部，当容纳腔内部蒸镀物的量及工艺温度条件改变时，依旧会存在喷溅及堵塞的现象，本申请中的防喷溅蒸镀机构能够调节内置板组在容纳腔中的位置，减少容纳腔堵塞情况发生，且每个内置板组中的内置板上移动通道的设置方式能够防止蒸镀物喷溅到基板上。
优选地，每个所述内置板组包括：
第一内置板，所述第一内置板与所述容纳腔的内壁密封连接，所述第一内置板上设有第一移动通道；
第二内置板，所述第二内置板设在所述第一内置板与所述容纳腔的开口端之间，且所述第二内置板与容纳腔的内壁密封连接，所述第二内置板上设有多个第二移动通道。
优选地，所述第一移动通道位于所述第一内置板的中心，多个所述第二移动通道均匀分布在所述第二内置板的边沿。
优选地，在所述容纳腔开口端的投影上，所述第一移动通道的面积大于多个所述第二移动通道的面积之和。
优选地，所述内置板组还包括用于安装所述内置板的放置环；
所述放置环位置可调的设在所容纳腔的内部、且所述放置环与所述容纳腔密封连接。
优选地，所述放置环内设有用于安装所述内置板的卡槽或台阶面。
优选地，所述放置环为开口环。
优选地，所述放置环为弹性环。
优选地，还包括设置于所述坩埚外侧以对所述坩埚进行加热的加热组件。
优选地，还包括设置于所述加热组件周侧的冷却单元。
附图说明
图1为本申请实施例的一种防喷溅蒸镀机构的剖视图；
图2为本申请实施例的一种防喷溅蒸镀机构的内置板组件的剖视图；
图3为本申请实施例的一种防喷溅蒸镀机构的内置板组件的爆炸图；
图4为本申请实施例的一种防喷溅蒸镀机构的内置板组件的结构示意图；
图5为本申请实施例的一种防喷溅蒸镀机构的结构示意图；
图6为本申请实施例的一种防喷溅蒸镀机构上设有夹具的剖视图。
图标：10-坩埚；20-第一内置板；21-第一移动通道；30-第二内置板；31-第二移动通道；40-放置环；50-蒸镀物；60-第一加热体；70-第二加热体；80-热反射板；90-冷却单元；100-夹具。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参考图1和图5-图6，本申请实施例提供了一种防喷溅蒸镀机构，包括：
坩埚10，所述坩埚10内设有用于容纳蒸镀物50的容纳腔，所述容纳腔一端具有开口；
多个内置板组，多个所述内置板组位置可调地设在所述容纳腔中、且多个所述内置板组沿所述容纳腔的底部向其开口端间隔分布，每个所述内置板组包括多个间隔设置的内置板，至少一个所述内置板上的移动通道与另外至少一个所述内置板上的移动通道在所述容纳腔开口端的投影不相互重叠。
其中，内置板组在安装时，可先将内置板组定位在容纳腔的开口处，选用需要的夹具100，通过夹具100按压内置板组，使内置板组移动到容纳腔内预定的位置。
本申请中的防喷溅蒸镀机构，多个内置板组沿容纳腔的底部向其开口端间隔分布，每个内置板组中，间隔设置多个内置板，至少一个内置板上的移动通道与另外至少一个内置板的移动通道在容纳腔开口端的投影不相互重叠。由此，坩埚10中的蒸镀物50在急剧蒸发时，被蒸发的蒸镀物50会以小颗粒的形式向坩埚10开口端移动，因多个内置板的移动通道在坩埚10内部的容纳腔中为非垂直的通道，在移动的过程中被蒸发的蒸镀物50质会与内置板产生撞击后分裂成分子单位，然后继续向容纳腔的开口端移动，从而防止蒸镀物50喷溅到基板上。另外，当蒸镀物50的量及工艺条件的变化时，调节内置板组安装在容纳腔中的位置，以减少容纳腔的开口部被蒸镀物50堵塞的情况发生。
与现有技术相对比，现有技术中将一个内置板固定在容纳腔的内部，当容纳腔内部蒸镀物50的量及工艺温度条件改变时，依旧会存在喷溅及堵塞的现象，本申请中的防喷溅蒸镀机构能够调节内置板组在容纳腔中的位置，减少容纳腔堵塞情况发生，且每个内置板组中的内置板上移动通道的设置方式能够防止蒸镀物50喷溅到基板上。
作为一种可选方式，请继续参考图2-图4，每个所述内置板组包括：第一内置板20，所述第一内置板20与所述容纳腔的内壁密封连接，所述第一内置板20上设有第一移动通道21；第二内置板30，所述第二内置板30设在所述第一内置板20与所述容纳腔的开口端之间，且所述第二内置板30与容纳腔的内壁密封连接，所述第二内置板30上设有多个第二移动通道31。
其中，第一移动通道21的形状可为圆形或矩形等任意形状，且第一移动通道21可位于靠近第一内置板20的边沿处，多个第二移动通道31只要沿竖直方向不与第一移动通道21重叠即可。
优选地，第一移动通道21位于第一内置板20的中心，多个第二移动通道31均匀分布在第二内置板30的边沿。
另外，内置板组还可包括第三内置板、第四内置板或第五内置板，内置板的数量根据具体的工艺要求进行调整。
本实施例中，第一内置板20和第二内置板30均与容纳腔的内壁密封连接，用于限制容纳腔中的蒸镀物50在蒸发时移动的路径，由容纳腔的开口端向其底部观测，因第一移动通道21和第二移动通道31的设置，观察时无法看到坩埚10内部，这样被蒸发的蒸镀物50也无法直接的移动到容纳腔的开口处，进而可防止蒸镀物50喷溅到基板上。
作为一种可选方式，在所述容纳腔开口端的投影上，所述第一移动通道21的面积大于多个所述第二移动通道31的面积之和。
本实施例中，第一内置板20靠近容纳腔的底部，第一内置板20上的开口即为第一移动通道21，第二内置板30上的多个开口即为多个第二移动通道31，第一内置板20上开口大于第二内置板30上的开口，这样在更换的时候便于操作。
作为一种可选方式，所述内置板组还包括用于安装所述内置板的放置环40；所述放置环40位置可调的设在所容纳腔的内部、且所述放置环40与所述容纳腔密封连接。
进一步地，所述放置环40内设有用于安装所述内置板的卡槽或台阶面。
其中，放置环40为开口环或为弹性环，以便于放置环40能够快捷的设置在容纳腔的内部，且便于调节放置环40的位置。
本实施例中，放置环40与容纳腔密封连接，能够更好的限制蒸镀物50在被蒸镀时的移动路径，而且内置板通过放置环40内设在的卡槽或台阶面可拆卸的安装在放置环40中，调节放置环40的位置即可调节内置板在容纳腔中的位置，从而能快捷的调节内置板与蒸镀物50之间的间距。
作为一种可选方式，还包括设置于所述坩埚10外侧以对所述坩埚10进行加热的加热组件。
其中，加热组件包括第一加热体60和第二加热体70；第一加热体60和第二加热体70沿坩埚10的延伸方向间隔分布，第一加热体60与坩埚10内蒸镀物50所在的位置对应，第二加热体70用于与内置板组所在的位置对应、且在第一加热体60和第二加热体70远离坩埚10的一端还设有热反射板80，热反射板80用于将第一加热体60和第二加热体70朝向热反射板80方向散发的部分热量反射至坩埚10，从而减少第一加热体60和第二加热体70的热量损失。本实施例中，第一加热体60用于对蒸镀物50进行加热，第二加热体70对内置板组所在的位置进行加热，当第一加热体60温度过高，使坩埚10内的蒸镀物50急剧蒸发时，被蒸镀物50会进入到内置板组中，第二加热体70能够对被蒸镀物50进行二次加热，以使急剧蒸镀的被蒸镀物50形成的小颗粒能够转化成分子，从而提高基板上薄膜的均匀性。
作为一种可选方式，还包括设置于所述加热组件周侧的冷却单元90。冷却单元90的设置用于使蒸镀完成后的坩埚10快速降温。
显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
1.一种防喷溅蒸镀机构，其特征在于，包括：
坩埚，所述坩埚内设有用于容纳蒸镀物的容纳腔，所述容纳腔一端具有开口；
多个内置板组，多个所述内置板组位置可调地设在所述容纳腔中、且多个所述内置板组沿所述容纳腔的底部向其开口端间隔分布，每个所述内置板组包括多个间隔设置的内置板，至少一个所述内置板上的移动通道与另外至少一个所述内置板上的移动通道在所述容纳腔开口端的投影不相互重叠。
2.根据权利要求1所述的防喷溅蒸镀机构，其特征在于，每个所述内置板组包括：
第一内置板，所述第一内置板与所述容纳腔的内壁密封连接，所述第一内置板上设有第一移动通道；
第二内置板，所述第二内置板设在所述第一内置板与所述容纳腔的开口端之间，且所述第二内置板与容纳腔的内壁密封连接，所述第二内置板上设有多个第二移动通道。
3.根据权利要求2所述的防喷溅蒸镀机构，其特征在于，所述第一移动通道位于所述第一内置板的中心，多个所述第二移动通道均匀分布在所述第二内置板的边沿。
4.根据权利要求2所述的防喷溅蒸镀机构，其特征在于，在所述容纳腔开口端的投影上，所述第一移动通道的面积大于多个所述第二移动通道的面积之和。
5.根据权利要求1所述的防喷溅蒸镀机构，其特征在于，所述内置板组还包括用于安装所述内置板的放置环；
所述放置环位置可调的设在所容纳腔的内部、且所述放置环与所述容纳腔密封连接。
6.根据权利要求5所述的防喷溅蒸镀机构，其特征在于，所述放置环内设有用于安装所述内置板的卡槽或台阶面。
7.根据权利要求5所述的防喷溅蒸镀机构，其特征在于，所述放置环为开口环。
8.根据权利要求5所述的防喷溅蒸镀机构，其特征在于，所述放置环为弹性环。
9.根据权利要求1所述的防喷溅蒸镀机构，其特征在于，还包括设置于所述坩埚外侧以对所述坩埚进行加热的加热组件。
10.根据权利要求9所述的防喷溅蒸镀机构，其特征在于，还包括设置于所述加热组件周侧的冷却单元。
技术总结