本发明涉及金属镀膜技术领域，特别涉及一种改善dfb激光器金属覆盖的方法及装置。
背景技术：
光通信网络采用光作为信号传输的载体，相比于采用铜缆作为传输介质的电通信网络，信息互联的速度、容量和抗干扰能力得到显着提高，因而得到广泛应用。半导体激光器是光通信网络的主要光源，近期云计算、视频传输、物联网、5g需求的出现及快速商业化，市场对半导体激光器的需求急剧增加。半导体激光器的制备，代表了先进微纳加工和器件集成工艺的发展方向，得到了国际上各个国家的高度重视。目前光通信用半导体激光器主要应用inp衬底片进行外延生长及后端加工，在后端加工中金属镀膜工艺是保证激光器参数的关键工序。
边发射激光器的光从两个端面出射，为了提高电流注入密度，往往采用脊波导的芯片结构。然而，脊波导处做金属接触，镀膜时脊波导表面和侧面台阶覆盖较差使用电子束蒸发设备镀膜时，金属台阶覆盖不好；有人采用磁控溅射设备镀膜，可以实现较好的台阶覆盖，但成本高。
金属镀膜设备应用最广泛且成本最低的为电子束蒸镀设备，但金属覆盖不良是其主要的缺点之一，目前主要的解决方案是使用行星式转盘来达到改善台阶覆盖的目的，但是效果不是很理想。
目前使用的方法是行星式转盘，即公转自转一起，可以改善台阶覆盖，但是台阶顶部拐角区域，由于水平垂直方向镀膜过程膜料堆积速率及方向影响，会出现一条缝隙，如图1。
所以，针对现有技术存在的不足，有必要设计一种改善dfb激光器金属覆盖的方法及装置，以解决上述问题。
技术实现要素：
为克服上述现有技术中的不足，本发明目的在于提供一种改善dfb激光器金属覆盖的方法及装置。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供的技术方案是：一种改善dfb激光器金属覆盖的方法,提供一个可置入镀膜机内并使得镀膜片子呈一定倾斜角度放置的夹具，配合行星式转盘进行电子束蒸镀，改善水平及垂直方向镀膜过程中，因膜料堆积速率及方向影响，而出现的缝隙问题。
一种改善dfb激光器金属覆盖的装置，所述装置包括可放置于镀膜机内的载片台，所述载片台上设有盖板，所述载片台与所述盖板可拆卸式紧固连接；所述载片台的中部开设有用于放置镀膜片子的放片槽，所述放片槽的深度低于所述镀膜片子的厚度并呈一定角度倾斜设置；所述放片槽的下端开设有用于镀膜的镀膜孔。
优选的技术方案为：所述盖板的形状与所述载片台的形状对应。
优选的技术方案为：所述放片槽的外侧设有若干第一螺纹孔，所述盖板上设有和所述第一螺纹孔对应的第二螺纹孔，上下对应的第一螺纹孔与第二螺纹孔内设有可拆卸的螺栓。
优选的技术方案为：所述载片台与所述盖板均由不锈钢制成。
优选的技术方案为：所述放片槽的深度与所述镀膜片子的厚度差为50μm。
优选的技术方案为：所述盖板的厚度为2mm。
由于上述技术方案运用，本发明具有的有益效果为：
本申请通过将镀膜片子呈一定倾斜角度放置，解决水平及垂直方向镀膜过程中，因膜料堆积速率及方向影响，而出现的缝隙问题。
附图说明
图1为背景技术示意图。
图2为本发明载片台俯视图。
图3为本发明载片台剖视图。
图4为本发明盖板俯视图。
图5为本发明剖视图。
以上附图中，1、载片台；11、放片槽；12、镀膜孔；13、第一螺纹孔；2、盖板；21、第二螺纹孔。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。
请参阅图1-图5。须知，在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例：
本申请提供一种改善dfb激光器金属覆盖的方法。
具体措施为：提供一个可置入镀膜机内并使得镀膜片子呈一定倾斜角度放置的夹具，夹具配合行星式转盘进行电子束蒸镀，以改善水平及垂直方向镀膜过程中，因膜料堆积速率及方向影响，而出现的缝隙问题。
本申请还提供一种改善dfb激光器金属覆盖的装置。
该装置包括可放置于镀膜机内的载片台1，在载片台1上设有盖板2（2mm），载片台1与盖板2可拆卸式紧固连接。
在载片台1的中部开设有用于放置镀膜片子的放片槽11，设计放片槽11的深度低于镀膜片子的厚度并呈一定角度倾斜设置。（放片槽11的深度低于镀膜片子的厚度，可使得镀膜片子和盖板紧密贴合，方便镀膜片子散热；放片槽11呈一定角度倾斜设置可使得镀膜片子呈倾斜角度进行电子束蒸镀，从而解决在水平及垂直方向镀膜过程中，因膜料堆积速率及方向影响，出现的缝隙问题）。
进一步的，放片槽11的下端开设有用于镀膜的镀膜孔12。
进一步的，盖板2的形状与载片台1的形状对应，在放片槽11的外侧设有若干第一螺纹孔13，在盖板2上设有和第一螺纹孔13对应的第二螺纹孔21，上下对应的第一螺纹孔13与第二螺纹孔21内设有可拆卸的螺栓（图中未画出），以实现可拆卸式紧固连接。
进一步的，载片台1与盖板2均由不锈钢制成。载片台1的形状可以按镀膜机来设置，本申请以圆形为例，如图2-图5，圆形尺寸可以按镀膜设备规定尺寸定义，放片槽11尺寸可以按待镀膜片子尺寸定义。其中，放片槽11槽深根据镀膜片子厚度来定义，放片槽11槽深一般低于镀膜片子厚度50um；倾斜角度根据产品台阶高度进行调整，一般为5°-10°。
所以，本发明具有以下优点：
本申请通过将镀膜片子呈一定倾斜角度放置，解决水平及垂直方向镀膜过程中，因膜料堆积速率及方向影响，而出现的缝隙问题
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神和技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
1.一种改善dfb激光器金属覆盖的方法,其特征在于：提供一个可置入镀膜机内并使得镀膜片子呈一定倾斜角度放置的夹具，配合行星式转盘进行电子束蒸镀，改善水平及垂直方向镀膜过程中，因膜料堆积速率及方向影响，而出现的缝隙问题。
2.一种改善dfb激光器金属覆盖的装置，其特征在于：所述装置包括可放置于镀膜机内的载片台，所述载片台上设有盖板，所述载片台与所述盖板可拆卸式紧固连接；所述载片台的中部开设有用于放置镀膜片子的放片槽，所述放片槽的深度低于所述镀膜片子的厚度并呈一定角度倾斜设置；所述放片槽的下端开设有用于镀膜的镀膜孔。
3.根据权利要求2所述的一种改善dfb激光器金属覆盖的装置，其特征在于：所述盖板的形状与所述载片台的形状对应。
4.根据权利要求2所述的一种改善dfb激光器金属覆盖的装置，其特征在于：所述放片槽的外侧设有若干第一螺纹孔，所述盖板上设有和所述第一螺纹孔对应的第二螺纹孔，上下对应的第一螺纹孔与第二螺纹孔内设有可拆卸的螺栓。
5.根据权利要求2所述的一种改善dfb激光器金属覆盖的装置，其特征在于：所述载片台与所述盖板均由不锈钢制成。
6.根据权利要求2所述的一种改善dfb激光器金属覆盖的装置，其特征在于：所述放片槽的深度与所述镀膜片子的厚度差为50μm。
7.根据权利要求2所述的一种改善dfb激光器金属覆盖的装置，其特征在于：所述盖板的厚度为2mm。
技术总结