本发明涉及镀膜玻璃生产线冷阱设备领域，尤其涉及一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式和工作方法。
背景技术：
真空磁控溅射镀膜在玻璃镀膜领域应用广泛，低辐射镀膜玻璃(low-e)，其核心就是利用磁控溅射镀膜技术在玻璃基底上制备多层复合膜，使其具有高透过率低辐射性能，从而具备节能保温性能。磁控溅射设备包含腔体、传输、镀膜工艺、真空获得、冷却等部分。真空获得在整个镀膜设备中具有重要作用。
冷阱作为真空获得设备的一个重要组成部分，对快速获得高真空提高生产节拍，减少腔体内水分子量提高成膜质量具有重要意义。磁控溅射镀膜工艺对真空度要求高，本底一般可达到10-4pa。当真空度到达10-2pa时，水汽往往成为制约真空度降低的关键因素，同时，水汽的存在也会对镀膜工艺产生一定影响，如：影响薄膜附着力和相关的光学和力学性能。为此通常设备都会添加冷阱用于提高本底真空、提高成膜质量、加快抽气速度、提高生产节拍。
目前，连续式磁控溅射真空镀膜线使用的冷阱直接放置在工艺室内，镀膜前真空获得时，冷阱直接进行低温制冷捕集水汽，从而实现快速实现高真空的获得。当冷阱功率一定，工艺室本底真空一定的情况下，冷阱盘管长度往往是确定的，即盘管的表面积基本确定。冷阱盘管表面积直接限制了冷阱的最大制冷量，当盘管表面吸附水汽结霜达到一定厚度后，冷阱制冷效果大大降低，捕集水汽能力大幅度下降，此时冷阱盘管表面必须进行除霜才能使冷阱继续高效使用。有限的盘管面积要求冷阱设备必须定期进行除霜，从而保证冷阱工作效率和工作效果，但在工艺室内直接进行除霜，会在短时间内迅速降低腔室的真空度，从而导致产品质量下降、工艺室真空泵的损坏等问题。
实际生产时，整条镀膜线需要定期破空，对冷阱盘管进行高温除霜，尤其在高湿度地区，空气湿度大，冷阱盘管极易结霜，需要经常进行破空除霜，单次破空除霜维护再抽真空至本底压强至少需要半天，极大的降低了生产效率。
针对现有设备冷阱存在的问题，基于冷阱低温制冷高效捕集水汽的特性，需要一种将冷阱和镀膜生产工艺室分开设置，冷阱盘管可独立破空除霜的分布方式和工作方法。
技术实现要素：
本发明为解决现有技术中的冷阱盘管需要经常破空除霜，导致镀膜生产线需要整线破空，降低生产效率的问题，提供一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式和工作方法。
本发明的第一方面，本发明提供了一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式，该布置方式将冷阱系统安装于镀膜工艺室外的外侧，且通过管路与镀膜工艺室连通；
冷阱系统包括冷阱和与冷阱连接的冷阱盘管；将冷阱盘管通过加热固定装置固定于冷阱盘管腔室内；在冷阱盘管腔室上设置一复合真空规，用以检测冷阱盘管腔室的真空度；
冷阱盘管腔室的一端连接于镀膜工艺室，另一端连接于一前级泵抽系统；
在冷阱盘管腔室与前级泵抽系统连接的管道上、冷阱盘管腔室与镀膜工艺室连接的管道上分别设置第一阀门和第二阀门；
在冷阱盘管腔室与外界大气连接的管道上设置第三阀门。
进一步地，在冷阱盘管腔室的内壁上均匀的设置保温层。
进一步地，保温层的材料为聚四氟乙烯。
进一步地，前级泵抽系统包括逐级连接的螺杆泵、第四阀门、罗茨泵和第五阀门。
进一步地，第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门和第五阀门选自角阀和蝶阀中的一种。
进一步地，冷阱盘管腔室截面的宽为400～1200mm，高度为300～1000mm；冷阱盘管腔室的长度为1500～5000mm。
进一步地，冷阱盘管为铜管，直径为8～16mm。
进一步地，镀膜工艺室上设置有至少一个气体隔离室。
本发明的第二方面，本发明提供了一种新型连续镀膜线，该新型连续镀膜线使用上述的布置方式。
本发明的第三方面，本发明还提供了上述新型连续镀膜线的工作方法，该工作方法包括以下步骤：
一，打开第一阀门，使用前级泵抽系统对冷阱盘管腔室进行预抽气；
二，当冷阱盘管腔室内部真空度到达5pa时，打开第二阀门，使冷阱盘管腔室与镀膜工艺室连通，使用镀膜工艺室内的抽真空系统对冷阱盘管腔室进行高真空抽气，使冷阱盘管腔室获得真空；
三，开启冷阱对冷阱盘管进行制冷，冷阱盘管腔室内的冷阱盘管进行高效吸附水汽，对镀膜工艺室进行快速降低本底真空；
四，当冷阱盘管内吸附水汽较多结霜较多时，关闭第一阀门和第二阀门，打开第三阀门，对冷阱盘管腔室进行破空，将冷阱调整到加热工作模式，并打开加热固定装置对冷阱盘管高温除霜。
本发明采用上述技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：
本发明提供的一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式和工作方法，通过设置前级泵抽系统、合理接管和阀门配合实现冷阱盘管腔室真空获得和单独破空，使冷阱盘管的除霜工作进行单独破空，无需对连续镀膜生产线整线破空，不影响镀膜生产线的生产效率，具有着结构简单、成本低廉、维护方便、不占用工艺腔室空间、不影响镀膜工艺、制冷盘管长度可调节等优点，适用于不同宽度规格的镀膜线，避免定期整线破空除霜，保证生产的连续性和工艺的稳定性，降低维护成本，大大提高了生产效率，对实际生产具有重大意义。
附图说明
图1是本发明提供的布置方式的原理示意图；
图2是本发明提供的布置方式中冷阱盘管腔室和镀膜工艺室连接剖面示意图；
图3是图2中箭头方向冷阱盘管腔室的剖面示意图；
图4是本发明提供的布置方式中前级泵抽系统与冷阱盘管腔室连接的原理示意图；
其中的附图标记为：1-前级泵抽系统，11-螺杆泵，12-罗茨泵，13-第四阀门，14-第五阀门，2-冷阱盘管腔室，21-加热固定装置，22-保温层，3-冷阱，4-第一阀门，5-第三阀门，6-第二阀门，7-气体隔离室，8-镀膜工艺室，9-复合真空规，10-冷阱盘管。
具体实施方式
本发明提供了一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式和工作方法。
下面通过结合附图和具体实施例对本发明进行详细和具体的介绍，以使更好的理解本发明，但是下述实施例并不限制本发明范围。
实施例1
参照图1～图4所示，本实施例提供一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式，该布置方式包括将冷阱系统安装于镀膜工艺室外8的外侧，且通过管路与镀膜工艺室8连通；
冷阱系统包括冷阱3和与冷阱3连接的冷阱盘管10；将冷阱盘管10通过加热固定装置21固定于冷阱盘管腔室2内；在冷阱盘管腔室2上设置一复合真空规9，用以检测所述冷阱盘管腔室2的真空度；冷阱盘管10采取裙带蚊香式连续铺设放射铺设于冷阱盘管腔室2内；
冷阱盘管腔室2的一端连接于镀膜工艺室8，另一端连接于一前级泵抽系统1；
在冷阱盘管腔室2与前级泵抽系统1连接的管道上、冷阱盘管腔室2与镀膜工艺室8连接的管道上分别设置第一阀门4和第二阀门6；
在冷阱盘管腔室2与外界大气连接的管道上设置第三阀门5。
冷阱盘管腔室2制真空的步骤为：首先，打开第一阀门4，使用前级泵抽系统1对冷阱盘管腔室2进行粗抽；然后，打开第二阀门6，使冷阱盘管腔室2与镀膜工艺室8连通，通过镀膜工艺室8的抽真空系统对冷阱盘管腔室2抽高真空。
在冷阱盘管腔室2的内壁上均匀的设置保温层22，保温层22的材料为聚四氟乙烯。防止冷阱盘管腔室2内温度过低，避免冷阱盘管腔室2与其他部分连接管道和阀门密闭性降低。
前级泵抽系统1包括逐级连接的螺杆泵11、第四阀门13、罗茨泵12和第五阀门14。通过前级泵抽系统1对冷阱盘管腔室2进行粗抽。
第一阀门4、第二阀门6、第三阀门5、第四阀门13和第五阀门14选自角阀和蝶阀中的一种，阀门的选择具体根据管道直径以及成本考虑，均起到阀门的作用。
冷阱盘管腔室2截面的宽为400～1200mm，高度为300～1000mm；冷阱盘管腔室2的长度为1500～5000mm；冷阱盘管10为铜管，直径为8～16mm。由于该布置方式使冷阱盘管腔室2设置在镀膜工艺室8外，不占用镀膜工艺室8的空间，因此冷阱盘管腔室2的长度可根据需求进行设置，根据不同的不同镀膜玻璃生产线的生产工艺和真空度需求，可选择不同长度的冷阱盘管10和冷阱盘管腔室2。
镀膜工艺室8上设置有至少一个气体隔离室7，气体隔离室7用于不同工艺腔室之间气体隔离，保证镀膜生产的质量。
实施例2
本实施例提供了一种新型连续镀膜线及其工作方法，该新型连续镀膜线采用实施例1的布置方式，该工作方法由至少一个循环组成，循环包括如下步骤：
步骤一，打开第一阀门4，使用前级泵抽系统1对冷阱盘管腔室2进行预抽气；
步骤二，当冷阱盘管腔室2内部真空度到达5pa时，打开第二阀门6，使冷阱盘管腔室2与镀膜工艺室8连通，使用镀膜工艺室8内的抽真空系统对冷阱盘管腔2室进行高真空抽气，使冷阱盘管腔室2获得真空；
步骤三，开启冷阱3对冷阱盘管10进行制冷，冷阱盘管腔室2内的冷阱盘管10进行高效吸附水汽，对镀膜工艺室8进行快速降低本底真空；
步骤四，当冷阱盘管10上吸附水汽较多结霜较多时，关闭第一阀门4和第二阀门6，打开第三阀门5，对冷阱盘管腔室2进行破空，将冷阱3调整到加热工作模式，并打开加热固定装置21对冷阱盘管10高温除霜。
以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本发明并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本发明进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本发明的范围内。
1.一种新型连续镀膜线真空冷阱的布置方式，其特征在于，将冷阱系统安装于镀膜工艺室外(8)的外侧，且通过管路与所述镀膜工艺室(8)连通；
所述冷阱系统包括冷阱(3)和与所述冷阱(3)连接的冷阱盘管(10)；将所述冷阱盘管(10)通过加热固定装置(21)固定于冷阱盘管腔室(2)内；在所述冷阱盘管腔室(2)上设置一复合真空规(9)，用以检测所述冷阱盘管腔室(2)的真空度；
所述冷阱盘管腔室(2)的一端连接于所述镀膜工艺室(8)，另一端连接于一前级泵抽系统(1)；
在所述冷阱盘管腔室(2)与所述前级泵抽系统(1)连接的管道上、所述冷阱盘管腔室(2)与所述镀膜工艺室(8)连接的管道上分别设置第一阀门(4)和第二阀门(6)；
在所述冷阱盘管腔室(2)与外界大气连接的管道上设置第三阀门(5)。
2.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，在所述冷阱盘管腔室(2)的内壁上均匀的设置保温层(22)。
3.根据权利要求2所述的布置方式，其特征在于，所述保温层(22)的材料为聚四氟乙烯。
4.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述前级泵抽系统(1)包括逐级连接的螺杆泵(11)、第四阀门(13)、罗茨泵(12)和第五阀门(14)。
5.根据权利要求4所述的布置方式，其特征在于，所述第一阀门(4)、第二阀门(6)、第三阀门(5)、第四阀门(13)和第五阀门(14)选自角阀和蝶阀中的一种。
6.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述冷阱盘管腔室(2)截面的宽为400～1200mm，高度为300～1000mm；所述冷阱盘管腔室(2)的长度为1500～5000mm。
7.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述冷阱盘管(10)为铜管，直径为8～16mm。
8.根据权利要求1所述的布置方式，其特征在于，所述镀膜工艺室(8)上设置有至少一个气体隔离室(7)。
9.一种新型连续镀膜线，其特征在于，所述真空镀膜线采用如权利要求1～8任一项所述的布置方式。
10.一种如权利要求9所述的新型连续镀膜线的工作方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，打开所述第一阀门(4)，使用所述前级泵抽系统(1)对冷阱盘管腔室(2)进行预抽气；
步骤二，当所述冷阱盘管腔室(2)内部真空度到达5pa时，打开第二阀门(6)，使所述冷阱盘管腔室(2)与所述镀膜工艺室(8)连通，使用所述镀膜工艺室(8)内的抽真空系统对所述冷阱盘管腔(2)室进行高真空抽气，使冷阱盘管腔室(2)获得真空；
步骤三，开启冷阱(3)对冷阱盘管(10)进行制冷，所述冷阱盘管腔室(2)内的冷阱盘管(10)进行高效吸附水汽，对镀膜工艺室(8)进行快速降低本底真空；
步骤四，当所述冷阱盘管(10)上吸附水汽较多结霜较多时，关闭所述第一阀门(4)和所述第二阀门(6)，打开第三阀门(5)，对所述冷阱盘管腔室(2)进行破空，将冷阱(3)调整到加热工作模式，并打开所述加热固定装置(21)对所述冷阱盘管(10)高温除霜。
技术总结