本发明涉及芯片制作设备领域，特别涉及一种用于芯片贴装工序的高精度测量设备。
背景技术：
芯片是半导体元件产品的统称，又称微电路、微芯片、集成电路。而芯片在封装过程中，需要将晶片通过胶贴装在基板上，晶片贴装完毕后，需要对晶片贴装位置进行抽检，而测量显微镜则是测量晶片位置的设备。
现有的测量显微镜在使用过程中，受到振动时易导致镜头与晶片之间产生相对移动，从而降低了测量的精确度，不仅如此，测量显微镜长期使用后，镜头上会产生灰尘，而灰尘则会对镜头造成遮挡，降低了实用性。
技术实现要素：
本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种用于芯片贴装工序的高精度测量设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于芯片贴装工序的高精度测量设备，包括工作台、平移板和镜头，所述工作台水平设置，所述平移板水平设置在工作台的顶部，所述平移板的底部设有平移装置，所述镜头的形状为圆柱形，所述镜头竖向设置在平移板的上方，所述镜头上设有升降装置，所述镜头上设有辅助机构和清洁机构；
所述辅助机构包括支撑环、两个气缸和两个辅助组件，所述支撑环与镜头同轴设置，所述镜头穿过支撑环且与支撑环滑动连接，所述气缸以镜头的轴线为中心周向均匀分布在支撑环的上方，所述气缸固定在镜头上且驱动支撑环沿着镜头升降，所述辅助组件与气管一一对应且设置在支撑环上；
所述辅助组件包括移动管、移动盘、吸盘、第一弹簧、安装孔和两个传动单元，所述安装孔设置在支撑环上，所述移动管竖向穿过安装孔且与安装孔的内壁滑动连接，所述吸盘安装在移动管的底端且位于平移板的上方，所述移动盘和第一弹簧均设置在移动管内，所述移动盘与移动管的内壁滑动且密封连接，所述第一弹簧设置在移动盘的顶部，所述移动盘通过第一弹簧与移动管的内壁连接，所述传动单元以移动管的轴线为中心周向均匀分布；
所述传动单元包括限位块、导杆、第二弹簧、定滑轮、连接线和导孔，所述定滑轮固定在移动管的顶端，所述导孔设置在支撑环上，所述导杆与移动管平行且穿过导孔，所述导杆与导孔的内壁滑动连接，所述导杆的顶端与移动管固定连接，所述限位块固定在导杆的顶端且与支撑环抵靠，所述支撑环的底部通过第二弹簧与导杆的底端连接，所述连接线的一端固定在移动盘的顶部，所述连接线的另一端绕过定滑轮固定在支撑环的顶部；
所述清洁机构包括两个清洁组件，所述清洁组件与移动管一一对应且位于移动管和镜头之间；
所述清洁组件包括气管、齿条、齿轮、扇叶、单向轴承、传动轴、连接轴承、连接环和至少两个过滤单元，所述气管的轴线与镜头的轴线垂直且相交，所述气管位于镜头和平移板之间且与镜头固定连接，所述扇叶、连接轴承和连接环均设置在气管内，所述传动轴和连接环均与气管同轴设置，所述扇叶安装在传动轴的靠近镜头轴线的一端，所述单向轴承的内圈安装在传动轴的另一端，所述齿轮安装在单向轴承外圈且与齿条啮合，所述齿条固定在支撑环的底部，所述连接轴承的内圈安装在传动轴上，所述连接轴承的外圈与气管的内壁固定连接，所述传动轴穿过连接环，所述传动轴与连接环固定且密封连接，所述连接环与气管的内壁滑动且密封连接，所述过滤单元以传动轴的轴线为中心周向均匀分布在连接环上；
所述过滤单元包括滤网、辅助盘、辅助杆、第一滑块、第三弹簧、连杆、滤孔和至少两个导向单元，所述滤孔设置在连接环上，所述滤孔的轴线与传动轴平行，所述滤网安装在滤孔内，所述辅助盘与滤孔同轴设置，所述辅助盘设置在滤孔内且与滤孔的内壁滑动连接，所述辅助盘的靠近镜头轴线的一侧涂有胶水且与滤网抵靠，所述辅助杆的轴线与传动轴的轴线垂直且相交，所述辅助杆位于连接环的远离镜头轴线的一侧，所述辅助杆固定在传动轴上，所述第一滑块套设在辅助杆上，所述第三弹簧位于第一滑块和传动轴之间，所述第一滑块通过第三弹簧与传动轴连接，所述第一滑块通过连杆与辅助盘铰接，所述连杆的靠近辅助盘的一端与传动轴之间的距离小于连杆的另一端与传动轴之间的距离，所述导向单元以滤孔的轴线为中心周向均匀分布在连接环的远离镜头轴线的一侧；
所述导线单元包括支撑杆和第二滑块，所述支撑杆与传动轴平行且固定在连接环上，所述第二滑块套设在支撑杆上且与辅助盘固定连接。
作为优选，为了提高连接线的可靠性，所述连接线为钢丝绳。
作为优选，为了减小移动管与移动盘之间的间隙，所述移动管的内壁上涂有密封脂。
作为优选，为了减小导杆与导孔内壁之间的摩擦力，所述导杆上涂有润滑油。
作为优选，为了实现缓冲和减振，所述限位块的制作材料为橡胶。
作为优选，为了便于导杆的安装，所述导杆的两端均设有倒角。
作为优选，为了延长工作台的使用寿命，所述工作台上设有防腐镀锌层。
作为优选，为了降噪，所述工作台上设有吸音板。
作为优选，为了节能，所述镜头的顶部设有光伏板。
作为优选，为了提高传动轴与连接环连接的可靠性，所述传动轴与连接环为一体成型结构。
本发明的有益效果是，该用于芯片贴装工序的高精度测量设备通过辅助机构提高了测量的精确度，与现有的辅助机构相比，该辅助机构还可以驱动扇叶转动，与清洁机构实现了一体式联动结构，实用性更强，不仅如此，还通过清洁机构实现了除尘的功能，与现有的清洁机构相比，该清洁机构还可以实现气管内空气的定向流动，防止滤网的靠近镜头轴线的一侧截留灰尘而随着空气作用到镜头上，除尘效果更好。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的用于芯片贴装工序的高精度测量设备的结构示意图；
图2是本发明的用于芯片贴装工序的高精度测量设备的辅助组件的结构示意图；
图3是本发明的用于芯片贴装工序的高精度测量设备的清洁组件的结构示意图；
图4是本发明的用于芯片贴装工序的高精度测量设备的过滤单元的结构示意图；
图中：1.工作台，2.平移板，3.镜头，4.支撑环，5.气缸，6.移动管，7.移动盘，8.吸盘，9.第一弹簧，10.限位块，11.导杆，12.第二弹簧，13.定滑轮，14.连接线，15.气管，16.齿条，17.齿轮，18.单向轴承，19.传动轴，20.连接轴承，21.连接环，22.滤网，23.辅助盘，24.辅助杆，25.第一滑块，26.第三弹簧，27.连杆，28.支撑杆，29.第二滑块，30.吸音板，31.光伏板，32.扇叶。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1-2所示，一种用于芯片贴装工序的高精度测量设备，包括工作台1、平移板2和镜头3，所述工作台1水平设置，所述平移板2水平设置在工作台1的顶部，所述平移板2的底部设有平移装置，所述镜头3的形状为圆柱形，所述镜头3竖向设置在平移板2的上方，所述镜头3上设有升降装置，所述镜头3上设有辅助机构和清洁机构；
所述辅助机构包括支撑环4、两个气缸5和两个辅助组件，所述支撑环4与镜头3同轴设置，所述镜头3穿过支撑环4且与支撑环4滑动连接，所述气缸5以镜头3的轴线为中心周向均匀分布在支撑环4的上方，所述气缸5固定在镜头3上且驱动支撑环4沿着镜头3升降，所述辅助组件与气管15一一对应且设置在支撑环4上；
所述辅助组件包括移动管6、移动盘7、吸盘8、第一弹簧9、安装孔和两个传动单元，所述安装孔设置在支撑环4上，所述移动管6竖向穿过安装孔且与安装孔的内壁滑动连接，所述吸盘8安装在移动管6的底端且位于平移板2的上方，所述移动盘7和第一弹簧9均设置在移动管6内，所述移动盘7与移动管6的内壁滑动且密封连接，所述第一弹簧9设置在移动盘7的顶部，所述移动盘7通过第一弹簧9与移动管6的内壁连接，所述传动单元以移动管6的轴线为中心周向均匀分布；
所述传动单元包括限位块10、导杆11、第二弹簧12、定滑轮13、连接线14和导孔，所述定滑轮13固定在移动管6的顶端，所述导孔设置在支撑环4上，所述导杆11与移动管6平行且穿过导孔，所述导杆11与导孔的内壁滑动连接，所述导杆11的顶端与移动管6固定连接，所述限位块10固定在导杆11的顶端且与支撑环4抵靠，所述支撑环4的底部通过第二弹簧12与导杆11的底端连接，所述连接线14的一端固定在移动盘7的顶部，所述连接线14的另一端绕过定滑轮13固定在支撑环4的顶部；
该设备使用期间，将贴装有晶片的基板放置在平移板2顶部，随后通过移动平移装置使晶片位于镜头3的正下方，且通过升降装置调节镜头3的高度，便于调节测量晶片的焦距，随后，通过气缸5使支撑环4向下移动，即可以实现吸盘8与平移板2抵靠，且随着支撑环4的继续下降，即可以使支撑环4在导杆11上下降，并使第二弹簧12压缩，且可以通过支撑环4使连接线14拉动移动盘7在移动管6内向上移动，即可以使吸盘8内的气压降低，使吸盘8吸附平移板2，同时使第一弹簧9压缩，通过吸盘8吸附平移板2，使镜头3与平移板2保持相对静止的位置关系，即可以实现同步振动，防止振动影响测量精度，测量完毕后，则通过气缸5使支撑环4向上移动实现复位，且通过第一弹簧9和第二弹簧12则可以使支撑环4和移动盘7复位，即可以使吸盘8停止吸附平移板2。
如图3-4所示，所述清洁机构包括两个清洁组件，所述清洁组件与移动管6一一对应且位于移动管6和镜头3之间；
所述清洁组件包括气管15、齿条16、齿轮17、扇叶32、单向轴承18、传动轴19、连接轴承20、连接环21和至少两个过滤单元，所述气管15的轴线与镜头3的轴线垂直且相交，所述气管15位于镜头3和平移板2之间且与镜头3固定连接，所述扇叶32、连接轴承20和连接环21均设置在气管15内，所述传动轴19和连接环21均与气管15同轴设置，所述扇叶32安装在传动轴19的靠近镜头3轴线的一端，所述单向轴承18的内圈安装在传动轴19的另一端，所述齿轮17安装在单向轴承18外圈且与齿条16啮合，所述齿条16固定在支撑环4的底部，所述连接轴承20的内圈安装在传动轴19上，所述连接轴承20的外圈与气管15的内壁固定连接，所述传动轴19穿过连接环21，所述传动轴19与连接环21固定且密封连接，所述连接环21与气管15的内壁滑动且密封连接，所述过滤单元以传动轴19的轴线为中心周向均匀分布在连接环21上；
所述过滤单元包括滤网22、辅助盘23、辅助杆24、第一滑块25、第三弹簧26、连杆27、滤孔和至少两个导向单元，所述滤孔设置在连接环21上，所述滤孔的轴线与传动轴19平行，所述滤网22安装在滤孔内，所述辅助盘23与滤孔同轴设置，所述辅助盘23设置在滤孔内且与滤孔的内壁滑动连接，所述辅助盘23的靠近镜头3轴线的一侧涂有胶水且与滤网22抵靠，所述辅助杆24的轴线与传动轴19的轴线垂直且相交，所述辅助杆24位于连接环21的远离镜头3轴线的一侧，所述辅助杆24固定在传动轴19上，所述第一滑块25套设在辅助杆24上，所述第三弹簧26位于第一滑块25和传动轴19之间，所述第一滑块25通过第三弹簧26与传动轴19连接，所述第一滑块25通过连杆27与辅助盘23铰接，所述连杆27的靠近辅助盘23的一端与传动轴19之间的距离小于连杆27的另一端与传动轴19之间的距离，所述导向单元以滤孔的轴线为中心周向均匀分布在连接环21的远离镜头3轴线的一侧；
所述导线单元包括支撑杆28和第二滑块29，所述支撑杆28与传动轴19平行且固定在连接环21上，所述第二滑块29套设在支撑杆28上且与辅助盘23固定连接。
支撑环4继续向下移动时，则可以通过齿条16带动齿轮17转动，即可以使单向轴承18的外圈转动，因单向轴承18是在一个方向上可以自由转动，而在另一个方向上锁死的一种轴承，且此时，单向轴承18的外圈带动单向轴承18的外圈竖向同步转动，即可以使传动轴19在连接轴承20的支撑作用下带动扇叶32转动，且传动轴19的转动通过辅助杆24带动第一滑块25实现同步转动，在离心力的作用下则可以使第一滑块25向着远离传动轴19方向移动，并使第三弹簧26拉伸，即可以通过连杆27带动辅助盘23向着远离滤网22方向移动并与滤孔分离，且使第二滑块29在支撑杆28杆上实现同步移动，这里，通过扇叶32的转动，则可以使气管15内的空气向着靠近镜头3轴线方向移动，在气流的作用下则可以将镜头3底部的灰尘吹离，实现了除尘的功能，而通过滤网22则可以截留空气中的灰尘，而当传动轴19停止转动后，在第三弹簧26的弹性作用下则可以使第一滑块25复位，即可以使辅助盘23复位，通过胶水可以粘住滤网22上的截留的灰尘，防止滤网22因灰尘而堵塞，且当支撑环4向上移动时，单向轴承18的外圈无法带动单向轴承18的内圈转动，使扇叶32无法反向转动而使灰尘截留在滤网22的靠近镜头3轴线的一侧，提升了除尘效果。
作为优选，为了提高连接线14的可靠性，所述连接线14为钢丝绳。
钢丝绳具有强度高、不易断等特点，从而可以提高连接线14的可靠性。
作为优选，为了减小移动管6与移动盘7之间的间隙，所述移动管6的内壁上涂有密封脂。
密封脂的作用是减小移动管6与移动盘7之间的间隙，提高了密封性。
作为优选，为了减小导杆11与导孔内壁之间的摩擦力，所述导杆11上涂有润滑油。
润滑油的作用是减小导杆11与导孔内壁之间的摩擦力，提高了支撑环4移动的流畅性。
作为优选，为了实现缓冲和减振，所述限位块10的制作材料为橡胶。
橡胶质地较为柔软，可以减小限位块10与支撑环4抵靠时产生的冲击力，实现了缓冲和减振。
作为优选，为了便于导杆11的安装，所述导杆11的两端均设有倒角。
倒角的作用是减小导杆11穿过导孔时的口径，起到了便于安装的效果。
作为优选，为了延长工作台1的使用寿命，所述工作台1上设有防腐镀锌层。
防腐镀锌层的作用是提升工作台1的防锈能力，延长工作台1的使用寿命。
作为优选，为了降噪，所述工作台1上设有吸音板30。
吸音板30可以吸收噪音，实现了降噪。
作为优选，为了节能，所述镜头3的顶部设有光伏板31。
光伏板31可以吸收光线进行光伏发电，实现了节能。
作为优选，为了提高传动轴19与连接环21连接的可靠性，所述传动轴19与连接环21为一体成型结构。
一体成型结构具有强度高的特点，从而可以提高传动轴19与连接环21连接的可靠性。
该设备使用期间，将贴装有晶片的基板放置在平移板2顶部，随后通过移动平移装置使晶片位于镜头3的正下方，且通过升降装置调节镜头3的高度，便于调节测量晶片的焦距，随后，通过气缸5使支撑环4向下移动，即可以实现吸盘8与平移板2抵靠，且随着支撑环4的继续下降，即可以使支撑环4在导杆11上下降，并使第二弹簧12压缩，且可以通过支撑环4使连接线14拉动移动盘7在移动管6内向上移动，即可以使吸盘8内的气压降低，使吸盘8吸附平移板2，同时使第一弹簧9压缩，通过吸盘8吸附平移板2，使镜头3与平移板2保持相对静止的位置关系，即可以实现同步振动，防止振动影响测量精度，测量完毕后，则通过气缸5使支撑环4向上移动实现复位，且通过第一弹簧9和第二弹簧12则可以使支撑环4和移动盘7复位，即可以使吸盘8停止吸附平移板2，并且，支撑环4继续向下移动时，则可以通过齿条16带动齿轮17转动，即可以使单向轴承18的外圈转动，因单向轴承18是在一个方向上可以自由转动，而在另一个方向上锁死的一种轴承，且此时，单向轴承18的外圈带动单向轴承18的外圈竖向同步转动，即可以使传动轴19在连接轴承20的支撑作用下带动扇叶32转动，且传动轴19的转动通过辅助杆24带动第一滑块25实现同步转动，在离心力的作用下则可以使第一滑块25向着远离传动轴19方向移动，并使第三弹簧26拉伸，即可以通过连杆27带动辅助盘23向着远离滤网22方向移动并与滤孔分离，且使第二滑块29在支撑杆28杆上实现同步移动，这里，通过扇叶32的转动，则可以使气管15内的空气向着靠近镜头3轴线方向移动，在气流的作用下则可以将镜头3底部的灰尘吹离，实现了除尘的功能，而通过滤网22则可以截留空气中的灰尘，而当传动轴19停止转动后，在第三弹簧26的弹性作用下则可以使第一滑块25复位，即可以使辅助盘23复位，通过胶水可以粘住滤网22上的截留的灰尘，防止滤网22因灰尘而堵塞，且当支撑环4向上移动时，单向轴承18的外圈无法带动单向轴承18的内圈转动，使扇叶32无法反向转动而使灰尘截留在滤网22的靠近镜头3轴线的一侧，提升了除尘效果。
与现有技术相比，该用于芯片贴装工序的高精度测量设备通过辅助机构提高了测量的精确度，与现有的辅助机构相比，该辅助机构还可以驱动扇叶32转动，与清洁机构实现了一体式联动结构，实用性更强，不仅如此，还通过清洁机构实现了除尘的功能，与现有的清洁机构相比，该清洁机构还可以实现气管15内空气的定向流动，防止滤网22的靠近镜头3轴线的一侧截留灰尘而随着空气作用到镜头3上，除尘效果更好。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
1.一种用于芯片贴装工序的高精度测量设备，包括工作台(1)、平移板(2)和镜头(3)，所述工作台(1)水平设置，所述平移板(2)水平设置在工作台(1)的顶部，所述平移板(2)的底部设有平移装置，所述镜头(3)的形状为圆柱形，所述镜头(3)竖向设置在平移板(2)的上方，所述镜头(3)上设有升降装置，其特征在于，所述镜头(3)上设有辅助机构和清洁机构；
所述辅助机构包括支撑环(4)、两个气缸(5)和两个辅助组件，所述支撑环(4)与镜头(3)同轴设置，所述镜头(3)穿过支撑环(4)且与支撑环(4)滑动连接，所述气缸(5)以镜头(3)的轴线为中心周向均匀分布在支撑环(4)的上方，所述气缸(5)固定在镜头(3)上且驱动支撑环(4)沿着镜头(3)升降，所述辅助组件与气管(15)一一对应且设置在支撑环(4)上；
所述辅助组件包括移动管(6)、移动盘(7)、吸盘(8)、第一弹簧(9)、安装孔和两个传动单元，所述安装孔设置在支撑环(4)上，所述移动管(6)竖向穿过安装孔且与安装孔的内壁滑动连接，所述吸盘(8)安装在移动管(6)的底端且位于平移板(2)的上方，所述移动盘(7)和第一弹簧(9)均设置在移动管(6)内，所述移动盘(7)与移动管(6)的内壁滑动且密封连接，所述第一弹簧(9)设置在移动盘(7)的顶部，所述移动盘(7)通过第一弹簧(9)与移动管(6)的内壁连接，所述传动单元以移动管(6)的轴线为中心周向均匀分布；
所述传动单元包括限位块(10)、导杆(11)、第二弹簧(12)、定滑轮(13)、连接线(14)和导孔，所述定滑轮(13)固定在移动管(6)的顶端，所述导孔设置在支撑环(4)上，所述导杆(11)与移动管(6)平行且穿过导孔，所述导杆(11)与导孔的内壁滑动连接，所述导杆(11)的顶端与移动管(6)固定连接，所述限位块(10)固定在导杆(11)的顶端且与支撑环(4)抵靠，所述支撑环(4)的底部通过第二弹簧(12)与导杆(11)的底端连接，所述连接线(14)的一端固定在移动盘(7)的顶部，所述连接线(14)的另一端绕过定滑轮(13)固定在支撑环(4)的顶部；
所述清洁机构包括两个清洁组件，所述清洁组件与移动管(6)一一对应且位于移动管(6)和镜头(3)之间；
所述清洁组件包括气管(15)、齿条(16)、齿轮(17)、扇叶(32)、单向轴承(18)、传动轴(19)、连接轴承(20)、连接环(21)和至少两个过滤单元，所述气管(15)的轴线与镜头(3)的轴线垂直且相交，所述气管(15)位于镜头(3)和平移板(2)之间且与镜头(3)固定连接，所述扇叶(32)、连接轴承(20)和连接环(21)均设置在气管(15)内，所述传动轴(19)和连接环(21)均与气管(15)同轴设置，所述扇叶(32)安装在传动轴(19)的靠近镜头(3)轴线的一端，所述单向轴承(18)的内圈安装在传动轴(19)的另一端，所述齿轮(17)安装在单向轴承(18)外圈且与齿条(16)啮合，所述齿条(16)固定在支撑环(4)的底部，所述连接轴承(20)的内圈安装在传动轴(19)上，所述连接轴承(20)的外圈与气管(15)的内壁固定连接，所述传动轴(19)穿过连接环(21)，所述传动轴(19)与连接环(21)固定且密封连接，所述连接环(21)与气管(15)的内壁滑动且密封连接，所述过滤单元以传动轴(19)的轴线为中心周向均匀分布在连接环(21)上；
所述过滤单元包括滤网(22)、辅助盘(23)、辅助杆(24)、第一滑块(25)、第三弹簧(26)、连杆(27)、滤孔和至少两个导向单元，所述滤孔设置在连接环(21)上，所述滤孔的轴线与传动轴(19)平行，所述滤网(22)安装在滤孔内，所述辅助盘(23)与滤孔同轴设置，所述辅助盘(23)设置在滤孔内且与滤孔的内壁滑动连接，所述辅助盘(23)的靠近镜头(3)轴线的一侧涂有胶水且与滤网(22)抵靠，所述辅助杆(24)的轴线与传动轴(19)的轴线垂直且相交，所述辅助杆(24)位于连接环(21)的远离镜头(3)轴线的一侧，所述辅助杆(24)固定在传动轴(19)上，所述第一滑块(25)套设在辅助杆(24)上，所述第三弹簧(26)位于第一滑块(25)和传动轴(19)之间，所述第一滑块(25)通过第三弹簧(26)与传动轴(19)连接，所述第一滑块(25)通过连杆(27)与辅助盘(23)铰接，所述连杆(27)的靠近辅助盘(23)的一端与传动轴(19)之间的距离小于连杆(27)的另一端与传动轴(19)之间的距离，所述导向单元以滤孔的轴线为中心周向均匀分布在连接环(21)的远离镜头(3)轴线的一侧；
所述导线单元包括支撑杆(28)和第二滑块(29)，所述支撑杆(28)与传动轴(19)平行且固定在连接环(21)上，所述第二滑块(29)套设在支撑杆(28)上且与辅助盘(23)固定连接。
2.如权利要求1所述的用于芯片贴装工序的高精度测量设备，其特征在于，所述连接线(14)为钢丝绳。
3.如权利要求1所述的用于芯片贴装工序的高精度测量设备，其特征在于，所述移动管(6)的内壁上涂有密封脂。
4.如权利要求1所述的用于芯片贴装工序的高精度测量设备，其特征在于，所述导杆(11)上涂有润滑油。
5.如权利要求1所述的用于芯片贴装工序的高精度测量设备，其特征在于，所述限位块(10)的制作材料为橡胶。
6.如权利要求1所述的用于芯片贴装工序的高精度测量设备，其特征在于，所述导杆(11)的两端均设有倒角。
7.如权利要求1所述的用于芯片贴装工序的高精度测量设备，其特征在于，所述工作台(1)上设有防腐镀锌层。
8.如权利要求1所述的用于芯片贴装工序的高精度测量设备，其特征在于，所述工作台(1)上设有吸音板(30)。
9.如权利要求1所述的用于芯片贴装工序的高精度测量设备，其特征在于，所述镜头(3)的顶部设有光伏板(31)。
10.如权利要求1所述的用于芯片贴装工序的高精度测量设备，其特征在于，所述传动轴(19)与连接环(21)为一体成型结构。
技术总结